Особенности синтеза алмазных пленок в тлеющем разряде постоянного тока

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2018
• Main Authors: Грицына, В.И., Дудник, С.Ф., Опалев, О.А., Решетняк, Е.Н., Стрельницкий, В.Е.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2018
• Subjects: Физика и технология конструкционных материалов
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137348
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Особенности синтеза алмазных пленок в тлеющем разряде постоянного тока / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 96-100. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Приведены результаты исследований по кинетике роста алмазных пленок в тлеющем разряде постоянного тока на модернизированном оборудовании. Показано, что на подложкодержателе диаметром 41 мм и при нулевом потенциале на нем достигается максимальная скорость роста алмазной пленки на единицу вводимой в р...