Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2018
• Main Authors: Лучанинов, А.А., Омаров, А.О., Стрельницкий, В.Е., Василенко, Р.Л.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2018
• Subjects: Физика и технология конструкционных материалов
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137372
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола / А.А. Лучанинов, А.О. Омаров, В.Е. Стрельницкий, Р.Л. Василенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 110-113. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Разработан процесс синтеза композитных TiC-aC:H-покрытий методом совместного осаждения из плазмы вакуумно-дугового источника с титановым катодом и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола. В рамановских спектрах покрытий присутствуют пики, соответствующие карбиду титана TiC, а также пики D- и G-алмазоподоб...