Effect of time parameters of pulsed bias potential on intrinsic stress in TiN coating deposited from inclined ion beam
In the model of the nonlocal thermoelastic peak of low-energy ion, the formation of intrinsic stress in the coating deposited from inclined ion beam at the pulsed bias potential with different values of pulse frequency f and duration tₚ is analyzed. The stress in the TiN coating deposited from Ti io...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2018 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137375 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Effect of time parameters of pulsed bias potential on intrinsic stress in TiN coating deposited from inclined ion beam / A.I. Kalinichenko, S.S. Perepelkin, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 114-117. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862591969470971904 |
|---|---|
| author | Kalinichenko, A.I. Perepelkin, S.S. Reshetnyak, E.N. Strel’nitskij, V.E. |
| author_facet | Kalinichenko, A.I. Perepelkin, S.S. Reshetnyak, E.N. Strel’nitskij, V.E. |
| citation_txt | Effect of time parameters of pulsed bias potential on intrinsic stress in TiN coating deposited from inclined ion beam / A.I. Kalinichenko, S.S. Perepelkin, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 114-117. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | In the model of the nonlocal thermoelastic peak of low-energy ion, the formation of intrinsic stress in the coating deposited from inclined ion beam at the pulsed bias potential with different values of pulse frequency f and duration tₚ is analyzed. The stress in the TiN coating deposited from Ti ion flux in the mode of the pulsed bias potential at various angles of incidence α and different values of time parameter τ = f tₚ is calculated. It is established that in the region 0.01 < τ < 0.2 the stress σ varies nonmonotonically with increasing α, decreasing up to angles of incidence α ~ 70º with subsequent growth. The calculated curve σ(τ) coincides with the experimental data at U = 1.5 kV and α = 0.
У моделі нелокального термопружного піку низькоенергетичного іона проаналізовано формування внутрішніх напружень в покритті, що осаджується з похилого пучка іонів при імпульсному потенціалі зміщення з різними значеннями частоти f і тривалості tₚ імпульсів. Проведено розрахунок напружень в TiN-покритті, що осідає з потоку іонів Ti в режимі імпульсного потенціалу при різних кутах падіння іонів α і різних значеннях часового параметра τ = f tₚ. Установлено, що в області 0,01 < τ < 0,2 при збільшенні α напруга σ змінюється немонотонно, зменшуючись аж до кутів падіння α ~ 70º з наступним ростом, причому при U = 1,5 кВ і α = 0 хід розрахункової кривої σ(τ) збігається з експериментальними даними.
В модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона проанализировано формирование внутренних напряжений в покрытии, осаждаемом из наклонного пучка ионов при импульсном потенциале смещения с различными значениями частоты f и длительности tₚ импульсов. Проведен расчет напряжений σ в TiN-покрытии, осаждаемом из потока ионов Ti в режиме импульсного потенциала при различных углах падения ионов α и различных значениях временного параметра τ = f tₚ. Установлено, что в области 0,01 < τ <0,2 при увеличении α напряжение σ изменяется немонотонно, уменьшаясь вплоть до углов падения α ~ 70º с последующим ростом, причем при U = 1,5 кВ и α = 0 ход расчетной кривой σ(τ) совпадает с экспериментальными данными.
|
| first_indexed | 2025-11-27T07:15:35Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-137375 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-27T07:15:35Z |
| publishDate | 2018 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Kalinichenko, A.I. Perepelkin, S.S. Reshetnyak, E.N. Strel’nitskij, V.E. 2018-06-17T10:41:35Z 2018-06-17T10:41:35Z 2018 Effect of time parameters of pulsed bias potential on intrinsic stress in TiN coating deposited from inclined ion beam / A.I. Kalinichenko, S.S. Perepelkin, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 114-117. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 61.80.Az, 81.65.-b https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137375 In the model of the nonlocal thermoelastic peak of low-energy ion, the formation of intrinsic stress in the coating deposited from inclined ion beam at the pulsed bias potential with different values of pulse frequency f and duration tₚ is analyzed. The stress in the TiN coating deposited from Ti ion flux in the mode of the pulsed bias potential at various angles of incidence α and different values of time parameter τ = f tₚ is calculated. It is established that in the region 0.01 < τ < 0.2 the stress σ varies nonmonotonically with increasing α, decreasing up to angles of incidence α ~ 70º with subsequent growth. The calculated curve σ(τ) coincides with the experimental data at U = 1.5 kV and α = 0. У моделі нелокального термопружного піку низькоенергетичного іона проаналізовано формування внутрішніх напружень в покритті, що осаджується з похилого пучка іонів при імпульсному потенціалі зміщення з різними значеннями частоти f і тривалості tₚ імпульсів. Проведено розрахунок напружень в TiN-покритті, що осідає з потоку іонів Ti в режимі імпульсного потенціалу при різних кутах падіння іонів α і різних значеннях часового параметра τ = f tₚ. Установлено, що в області 0,01 < τ < 0,2 при збільшенні α напруга σ змінюється немонотонно, зменшуючись аж до кутів падіння α ~ 70º з наступним ростом, причому при U = 1,5 кВ і α = 0 хід розрахункової кривої σ(τ) збігається з експериментальними даними. В модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона проанализировано формирование внутренних напряжений в покрытии, осаждаемом из наклонного пучка ионов при импульсном потенциале смещения с различными значениями частоты f и длительности tₚ импульсов. Проведен расчет напряжений σ в TiN-покрытии, осаждаемом из потока ионов Ti в режиме импульсного потенциала при различных углах падения ионов α и различных значениях временного параметра τ = f tₚ. Установлено, что в области 0,01 < τ <0,2 при увеличении α напряжение σ изменяется немонотонно, уменьшаясь вплоть до углов падения α ~ 70º с последующим ростом, причем при U = 1,5 кВ и α = 0 ход расчетной кривой σ(τ) совпадает с экспериментальными данными. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика и технология конструкционных материалов Effect of time parameters of pulsed bias potential on intrinsic stress in TiN coating deposited from inclined ion beam Вплив часових параметрів імпульсного потенціалу зміщення на внутрішню напругу в покритті TiN, що осаджується з похилого пучка іонів Влияние временных параметров импульсного потенциала смещения на внутренние напряжения в покрытии TiN, осаждаемом из наклонного пучка ионов Article published earlier |
| spellingShingle | Effect of time parameters of pulsed bias potential on intrinsic stress in TiN coating deposited from inclined ion beam Kalinichenko, A.I. Perepelkin, S.S. Reshetnyak, E.N. Strel’nitskij, V.E. Физика и технология конструкционных материалов |
| title | Effect of time parameters of pulsed bias potential on intrinsic stress in TiN coating deposited from inclined ion beam |
| title_alt | Вплив часових параметрів імпульсного потенціалу зміщення на внутрішню напругу в покритті TiN, що осаджується з похилого пучка іонів Влияние временных параметров импульсного потенциала смещения на внутренние напряжения в покрытии TiN, осаждаемом из наклонного пучка ионов |
| title_full | Effect of time parameters of pulsed bias potential on intrinsic stress in TiN coating deposited from inclined ion beam |
| title_fullStr | Effect of time parameters of pulsed bias potential on intrinsic stress in TiN coating deposited from inclined ion beam |
| title_full_unstemmed | Effect of time parameters of pulsed bias potential on intrinsic stress in TiN coating deposited from inclined ion beam |
| title_short | Effect of time parameters of pulsed bias potential on intrinsic stress in TiN coating deposited from inclined ion beam |
| title_sort | effect of time parameters of pulsed bias potential on intrinsic stress in tin coating deposited from inclined ion beam |
| topic | Физика и технология конструкционных материалов |
| topic_facet | Физика и технология конструкционных материалов |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137375 |
| work_keys_str_mv | AT kalinichenkoai effectoftimeparametersofpulsedbiaspotentialonintrinsicstressintincoatingdepositedfrominclinedionbeam AT perepelkinss effectoftimeparametersofpulsedbiaspotentialonintrinsicstressintincoatingdepositedfrominclinedionbeam AT reshetnyaken effectoftimeparametersofpulsedbiaspotentialonintrinsicstressintincoatingdepositedfrominclinedionbeam AT strelnitskijve effectoftimeparametersofpulsedbiaspotentialonintrinsicstressintincoatingdepositedfrominclinedionbeam AT kalinichenkoai vplivčasovihparametrívímpulʹsnogopotencíaluzmíŝennânavnutríšnûnapruguvpokrittítinŝoosadžuêtʹsâzpohilogopučkaíonív AT perepelkinss vplivčasovihparametrívímpulʹsnogopotencíaluzmíŝennânavnutríšnûnapruguvpokrittítinŝoosadžuêtʹsâzpohilogopučkaíonív AT reshetnyaken vplivčasovihparametrívímpulʹsnogopotencíaluzmíŝennânavnutríšnûnapruguvpokrittítinŝoosadžuêtʹsâzpohilogopučkaíonív AT strelnitskijve vplivčasovihparametrívímpulʹsnogopotencíaluzmíŝennânavnutríšnûnapruguvpokrittítinŝoosadžuêtʹsâzpohilogopučkaíonív AT kalinichenkoai vliânievremennyhparametrovimpulʹsnogopotencialasmeŝeniânavnutrennienaprâženiâvpokrytiitinosaždaemomiznaklonnogopučkaionov AT perepelkinss vliânievremennyhparametrovimpulʹsnogopotencialasmeŝeniânavnutrennienaprâženiâvpokrytiitinosaždaemomiznaklonnogopučkaionov AT reshetnyaken vliânievremennyhparametrovimpulʹsnogopotencialasmeŝeniânavnutrennienaprâženiâvpokrytiitinosaždaemomiznaklonnogopučkaionov AT strelnitskijve vliânievremennyhparametrovimpulʹsnogopotencialasmeŝeniânavnutrennienaprâženiâvpokrytiitinosaždaemomiznaklonnogopučkaionov |