Effect of time parameters of pulsed bias potential on intrinsic stress in TiN coating deposited from inclined ion beam
In the model of the nonlocal thermoelastic peak of low-energy ion, the formation of intrinsic stress in the coating deposited from inclined ion beam at the pulsed bias potential with different values of pulse frequency f and duration tₚ is analyzed. The stress in the TiN coating deposited from Ti io...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2018 |
| Автори: | Kalinichenko, A.I., Perepelkin, S.S., Reshetnyak, E.N., Strel’nitskij, V.E. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137375 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Effect of time parameters of pulsed bias potential on intrinsic stress in TiN coating deposited from inclined ion beam / A.I. Kalinichenko, S.S. Perepelkin, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 114-117. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Intrinsic stress formation in multi-component coatings produced by plasma ion deposition in modes of DC and pulse bias potentials
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2016)
Intrinsic stresses in multi-component nitride coatings produced by plasma immersion ion implantation
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2017)
Characteristics of TiN coating deposited by vacuum-arc method on rotating cylindrical sample
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2019)
Synthesis of Ti-Si and Ti-Si-N coatings by condensation of filtered vacuum-arc plasma
за авторством: Aksyonov, D.S., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Aksyonov, D.S., та інші
Опубліковано: (2009)
Surface nanorelief modification of constructional materials at low energy ion bombardment
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2016)
Structure and stress state of TiN and Ti₀.₅₋xAl₀.₅YxN coatings prepared by the PIII&D technique from filtered vacuum-arc plasma
за авторством: Reshetnyak, E.N.
Опубліковано: (2014)
за авторством: Reshetnyak, E.N.
Опубліковано: (2014)
Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter
за авторством: Aksyonov, D.S., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Aksyonov, D.S., та інші
Опубліковано: (2011)
Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply
за авторством: Koshevoy, K.I., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Koshevoy, K.I., та інші
Опубліковано: (2021)
Optimization of diamond-like carbon coatings for mechanical and tribological applications. Review
за авторством: Reshetnyak, E.N., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Reshetnyak, E.N., та інші
Опубліковано: (2023)
Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc
за авторством: Zavaleyev, V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Zavaleyev, V., та інші
Опубліковано: (2014)
Radiation-acoustic effects at diamond-like coating deposition from the flow of hydrocarbon ions and their influence on kinetic processes
за авторством: Kalinichenko, O.I., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Kalinichenko, O.I., та інші
Опубліковано: (2023)
High-productive source of the cathodic vacuum-arc plasma with the rectilinear filter
за авторством: Vasylyev, V.V., та інші
Опубліковано: (2013-10-23)
за авторством: Vasylyev, V.V., та інші
Опубліковано: (2013-10-23)
Growth rate of diamond-like coatings synthesized in RF discharge at various ratios of the concentrations of Ar and C₆H₆
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2021)
Durability of the multicomponent nitride coatings based on TiN and (Ti,Al)N deposited by PIII&D method
за авторством: Vasyliev, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Vasyliev, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)
Deposition of TiN-based coatings using vacuum arc plasma in increased negative substrate bias voltage
за авторством: Kuprin, A.S., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Kuprin, A.S., та інші
Опубліковано: (2019)
Comparison of characteristics of vacuum-arc nano-structure TIN coatings deposited under hv pulse substrate bias
за авторством: V. M. Shulaev, та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: V. M. Shulaev, та інші
Опубліковано: (2007)
Properties of composite vacuum-arc coatings of the TiN-Ti/TiON structure
за авторством: Andreev, А., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Andreev, А., та інші
Опубліковано: (2018)
Modelling of plasma flow in curvilinear duct
за авторством: Moiseenko, V.E., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Moiseenko, V.E., та інші
Опубліковано: (2002)
Investigation of the abrasive durability of the multilayer diamond-like coatings for the ring-shaped dry gaseous seals made of SiC
за авторством: Vasyliev, V.V., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Vasyliev, V.V., та інші
Опубліковано: (2019)
The Effect of Constant Negative Bias Potential on the Structure, Substructure and Stressedly Deformed State of the TiN Coatings
за авторством: O. V. Sobol, та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: O. V. Sobol, та інші
Опубліковано: (2013)
Structure and properties of the (Cr, Al)N coatings deposited by PIII&D method
за авторством: Vasyliev, V.V., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Vasyliev, V.V., та інші
Опубліковано: (2016)
Mechanisms affecting the speed and direction of vacuum arc cathode spots movement in a magnetic field
за авторством: Vasyliev, V.V., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Vasyliev, V.V., та інші
Опубліковано: (2023)
Errata: The Effect of Constant Negative Bias Potential on the Structure, Substructure and Stressedly Deformed State of the TiN Coatings
за авторством: O. V. Sobol, та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: O. V. Sobol, та інші
Опубліковано: (2013)
Composition adjustment of vacuum-arc Ti-Al-N films, deposited with use of two-channel filter
за авторством: Aksyonov, D.S., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Aksyonov, D.S., та інші
Опубліковано: (2011)
Corrosion durability of nanostructured TiAlYN coatings, deposited by PIII&D method from filtered vacuum-arc cathodic plasma
за авторством: Vasyliev, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Vasyliev, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)
Effect of pulsed substrate biasing on macroparticle in vacuum arc
за авторством: Romashchenko, E.V., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Romashchenko, E.V., та інші
Опубліковано: (2019)
PVD Ti coating on Sm-Co magnets
за авторством: Bovda, O.M., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Bovda, O.M., та інші
Опубліковано: (2008)
Dc glow discharge for synthesis diamond films with high growth rate
за авторством: Gritsyna, V.I., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Gritsyna, V.I., та інші
Опубліковано: (2019)
Influence of high temperature annealing on the structure and the intrinsic absorption edge of thin-film silicon doped with tin
за авторством: R. M. Rudenko, та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: R. M. Rudenko, та інші
Опубліковано: (2013)
Influence of high temperature annealing on the structure and the intrinsic absorption edge of thin-film silicon doped with tin
за авторством: R. M. Rudenko, та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: R. M. Rudenko, та інші
Опубліковано: (2013)
Cavitation resistance of TiN coatings
за авторством: A. D. Pogrebnjak, та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: A. D. Pogrebnjak, та інші
Опубліковано: (2011)
Circular Waveguide Slotted Antenna with Inclined Beam
за авторством: Sekretarov, S. S., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Sekretarov, S. S., та інші
Опубліковано: (2012)
Intrinsic defects in nonstoichiometric b-SiC nanoparticles studied by pulsed magnetic resonance methods
за авторством: D. V. Savchenko, та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: D. V. Savchenko, та інші
Опубліковано: (2010)
Electrohydraulic pulse grinding of radioactive solid NF waste simulation materials
за авторством: Vinnikov, D.V., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Vinnikov, D.V., та інші
Опубліковано: (2016)
The Use of Pulsed Ion Stimulation to Modify the Stressed Structure State and Mechanical Properties of Vacuum—Arc TiN Coatings
за авторством: A. A. Andreev, та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: A. A. Andreev, та інші
Опубліковано: (2013)
Growth and structure of WC/Si multilayer x-ray mirror
за авторством: Pershyn, Y.P., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Pershyn, Y.P., та інші
Опубліковано: (2018)
Functional electrolytic coatings of tin—nickel alloys
за авторством: V. M. Nikitenko, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: V. M. Nikitenko, та інші
Опубліковано: (2015)
Errata: The Use of Pulsed Ion Stimulation to Modify the Stressed Structure State and Mechanical Properties of Vacuum—Arc TiN Coatings
за авторством: A. A. Andreev, та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: A. A. Andreev, та інші
Опубліковано: (2013)
Effect of substrate bias voltage parameters on surface properties of ta-C coatings
за авторством: Safonov, V., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Safonov, V., та інші
Опубліковано: (2017)
Deposition of superhard vacuum-arc TiN coatings
за авторством: A. A. Andreev, та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: A. A. Andreev, та інші
Опубліковано: (2006)
Схожі ресурси
-
Intrinsic stress formation in multi-component coatings produced by plasma ion deposition in modes of DC and pulse bias potentials
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2016) -
Intrinsic stresses in multi-component nitride coatings produced by plasma immersion ion implantation
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2017) -
Characteristics of TiN coating deposited by vacuum-arc method on rotating cylindrical sample
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2019) -
Synthesis of Ti-Si and Ti-Si-N coatings by condensation of filtered vacuum-arc plasma
за авторством: Aksyonov, D.S., та інші
Опубліковано: (2009) -
Surface nanorelief modification of constructional materials at low energy ion bombardment
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2016)