Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives

Ceramic Si₃N₄ samples with Мо and AI admixtures have been investigated by spectroellipsometry. The influence of admixtures on the ceramics optical properties have been studied. The local defects of Si₃N₄ crystal structure are responsible for the band gap reduction. The silicone oxynitride amount in...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Functional Materials
Datum:2005
Hauptverfasser: Prokopets', V.M., Shaykevich, I.A., Robur, L.Y.
Format: Artikel
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2005
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137699
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives / V.M. Prokopets', I.A. Shaykevich, L.Y. Robur // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 2. — С. 371-374. — Бібліогр.: 18 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1860005366147842048
author Prokopets', V.M.
Shaykevich, I.A.
Robur, L.Y.
author_facet Prokopets', V.M.
Shaykevich, I.A.
Robur, L.Y.
citation_txt Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives / V.M. Prokopets', I.A. Shaykevich, L.Y. Robur // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 2. — С. 371-374. — Бібліогр.: 18 назв. — англ.
collection DSpace DC
container_title Functional Materials
description Ceramic Si₃N₄ samples with Мо and AI admixtures have been investigated by spectroellipsometry. The influence of admixtures on the ceramics optical properties have been studied. The local defects of Si₃N₄ crystal structure are responsible for the band gap reduction. The silicone oxynitride amount in the studied samples has been estimated numerically by Bruggeman effective medium approximation. Методом спектроэллипсометрии исследованы керамические образцы Si₃N₄ с добавками Мо и AI. Изучено влияние добавок на оптические свойства керамики. 3а сужение запрещенной зоны ответственны локальные дефекты кристаллической структуры Si₃N₄. Количество оксинитрида кремния в исследованных образцах численно оценено с применением приближения эффективной среды по Брюггеману. Методом спектроелiпсометрiї дослiджено керамiчнi зразки Si₃N₄ з домiшками Мо i AI. Вивчено вплив домiшок на оптичнi властивостi керамiки. 3а звуження забороненої зони вiдповiдають локальнi дефекти кристалiчної структури Si₃N₄. Кiлькiсть оксинiтриду кремнiю у дослiджених зразках оцiнено з застосуванням наближення ефективного середовища за Брюггеманом.
first_indexed 2025-12-07T16:38:53Z
format Article
fulltext (OOLSVRPHWULF�LQYHVWLJDWLRQ�RI�E�6L�1� FHUDPLFVZLWK�0R DQG�$O DGGLWLYHV 9�0�3URNRSHWV���,�$�6KD\NHYLFK��/�<�5REXU 3K\VLFV�'HSDUWPHQW��7�6KHYFKHQNR�.\LY�1DWLRQDO�8QLYHUVLW\� ��$FDG��*OXVKNRY�$YH���������.\LY��8NUDLQH &HUDPLF�6L�1��VDPSOHV�ZLWK�0R�DQG�$O�DGPL[WXUHV�KDYH�EHHQ�LQYHVWLJDWHG�E\�VSHFWURHO�OLSVRPHWU\�� 7KH� LQIOXHQFH� RI� DGPL[WXUHV� RQ� WKH� FHUDPLFV� RSWLFDO� SURSHUWLHV� KDYH� EHHQ VWXGLHG�� 7KH� ORFDO� GHIHFWV� RI� 6L�1�� FU\VWDO� VWUXFWXUH� DUH� UHVSRQVLEOH� IRU� WKH� EDQG� JDSUHGXFWLRQ�� 7KH� VLOLFRQH� R[\QLWULGH� DPRXQW� LQ� WKH� VWXGLHG� VDPSOHV� KDV� EHHQ� HVWLPDWHG QXPHULFDOO\�E\�%UXJJHPDQ�HIIHFWLYH�PHGLXP�DSSUR[LPDWLRQ� lË�º�ºä�°¹Ë}�¯ºªããÒ¹°ºäË�¯ÒÒ�Ò°°ãË�ºmÈÓ©�}˯ÈäÒ�˰}ÒË�º­¯ÈÏ�©�6L�1��°��º­Èm}È�äÒ�0R� Ò�$O��jÏ��ËÓº� mãÒ«ÓÒË��º­Èmº}�ÓÈ� º¹�Ò�˰}ÒË� °mº®°�mÈ� }˯ÈäÒ}Ò��~È� °�ÎËÓÒË Ïȹ¯Ë�ËÓÓº®�Ϻө�º�mË�°�mËÓÓ©�ãº}Èã Ó©Ë��ËÁË}�©�}¯Ò°�ÈããÒ�˰}º®�°�¯�}��¯©�6L�1��zºãÒ�˰�mº�º}°ÒÓÒ�¯Ò�È�}¯ËäÓÒ«�m�Ò°°ãË�ºmÈÓÓ©²�º­¯ÈÏ�Ȳ��Ò°ãËÓÓº�º�ËÓËÓº�°�¹¯Ò� äËÓËÓÒËä�¹¯Ò­ãÒÎËÓÒ«�ªÁÁË}�ÒmÓº®�°¯Ë�©�¹º�r¯ ��ËäÈÓ�� 6LOLFRQH�QLWULGH��6L�1���LV�D�VWUXFWXUDO�FH�UDPLFV� RI� LPSRUWDQFH� LQ� QXPHURXV� PRGHUQ DSSOLFDWLRQV��6L�1��LV�XVHG�LQ�DXWRPRWLYH�HQ�JLQH� SDUWV�� FXWWLQJ� WRROV�� PDFKLQH� FRPSR� QHQWV�� HWF�� 6LOLFRQH� QLWULGH� DQG� VLOLFRQH R[\QLWULGH� SOD\� DQ� LQFUHDVLQJO\� LPSRUWDQW SDUW� LQ� HOHFWURQLF� LQGXVWU\� >�@� DQG� LQ� RS� WRHOHFWURQLFV� >����@�� 6L�1�� LV� XVXDOO\� SUH�SDUHG�E\�KLJK�WHPSHUDWXUH�UHDFWLRQ�ELQGLQJ RU�KRW�SUHVVLQJ�VLQWHULQJ�SURFHVV�DQG�WKHUH� IRUH� LW� LV� DOZD\V� LQ� SRO\FU\VWDOOLQH� IRUP ZLWK� PDQ\� GHIHFWV� DQG� LPSHUIHFWLRQV� 2IWHQ��YDULRXV�VLQWHULQJ�DGPL[WXUHV�RI�PHW� DOV�DQG�R[LGHV�DUH�RIWHQ�DGGHG�WR�WKH�LQLWLDO 6L�1�� SRZGHU�� 7KRVH� DGPL[WXUHV� DUH� QHFHV�VDU\�WR�SURYLGH�VWDEOH�LQWHUJUDQXODU�MRLQLQJ LQ� WKH� FRXUVH� RI� VLQWHULQJ�� 7KRVH�PD\� JLYH ULVH� WR� DGGLWLRQDO� LQWHUJUDQXODU� SKDVH� RU VROLG�VROXWLRQ�RI�WKH�DGPL[WXUH�LQ�WKH�6L�1�SKDVH�>�@��6LOLFRQH�QLWULGH�ILOPV�SUHSDUHG�E\ FKHPLFDO� YDSRU� GHSRVLWLRQ� DUH� OLNHO\� WR� EH DPRUSKRXV��7KH�SRO\FU\VWDOOLQH�6L�1��H[LVWVLQ� WZR� IRUPV�� D� DQG� E�� ZLWK� E�6L�1�� WR� EHWKHUPRG\QDPLFDOO\�PRUH�VWDEOH�LQ�WKH�ODWWHU >�@��%RWK�WKH�D�DQG�E�SKDVHV�KDYH�WKH�VDPH EDVLF� VWUXFWXUDO� XQLWV� ZLWK� D� WHWUDKHGUDO ELQGLQJ� IRU�6L� �6L±1��� DQG� D� ELQGLQJ� IRU�1�1±6L����7KH�XQLW�FHOO�RI�WKH�D�6L�1��LV�WZLFHDV� ODUJH� DV� WKDW� RI� WKH� E�SKDVH�� DQG� WKH SKDVHV� GLIIHU� LQ� WKH� VWDFNLQJ� VHTXHQFH� RI OD\HU�VXEXQLWV�DORQJ�WKH�F�D[LV��7KH�6L�1�2FU\VWDO�FDQ�EH�FRQVLGHUHG�DV�DQ�LQWHUPHGLDWH SKDVH� EHWZHHQ� 6L2�� DQG�6L�1�� >�@�� 6LOLFRQHR[\QLWULGH�PD\�DSSHDU�DV�D�VHFRQGDU\�SKDVH LQ�WKH�LQWHUIDFLDO�JUDLQ�ERXQGDU\�RI�E�6L�1��DQG� DV� D� UHVXOW� RI� R[\JHQ� VXEVWLWXWLRQ� IRU QLWURJHQ� GXULQJ� VLQWHULQJ� SURFHVV�� 7KLV SKDVH� LQIOXHQFHV� KHDYLO\� WKH� RYHUDOO� SHU� IRUPDQFH� RI� VLOLFRQH� QLWULGH�EDVHG� VWUXF� WXUDO�FHUDPLFV�� 7KH�FHUDPLF�VDPSOHV�RI�E�6L�1��ZHUH�SUH�SDUHG� E\� KRW� SUHVVLQJ� DW� ����Ü�����&� DQG ���03D��$O�DQG�0R�ZHUH�XVHG�DV�WKH�VLQWHU� LQJ�DGGLWLYHV��7KH�0R�DPRXQW�ZDV�WKH�VDPH IRU�DOO�VDPSOHV��DERXW�������WKH�$O�RQH�ZDV YDULHG� �IURP� ���� �� WR� ���� ���� 7KH� SKDVH VWUXFWXUH� ZDV� VWXGLHG� E\� ;�UD\� GLIIUDF� WRPHWU\�� $OO� VDPSOHV�� H[FHSW� IRU� 6L�1���������$O��ZHUH�LGHQWLFDO�LQ�WKH�SKDVH�VWUXF� WXUH� FRQVLVWLQJ�RI�E�6L�1�� DQG�PRO\EGHQXPGLVLOLFLGH�0R6L���7KH�DOXPLQXP�GLG�QRW�SUR�GXFH�D�VHSDUDWH�SKDVH��EXW�IRUPHG�DQ�LQWHU� VWLWLDO� VROLG� VROXWLRQ� LQ� VLOLFRQH� QLWULGH�� ,Q WKH� VDPSOH�ZLWK� ������$O�� WKH� WKLUG� SKDVH RI� VLOLFRQH� R[\QLWULGH� LV� SUHVHQW�� WRR�� 7KH RSWLFDO�FRQVWDQWV�RI�E�6L�1��FHUDPLFV�LQ�YLV�LEOH� DQG� XOWUDYLROHW� UHJLRQ� ZHUH� PHDVXUHG E\� HOOLSVRPHWU\� �%HDWW\� PHWKRG�� >�@� LQ )XQFWLRQDO�0DWHULDOV�����1R��������� �������Û�,QVWLWXWH�IRU�6LQJOH�&U\VWDOV )XQFWLRQDO�PDWHULDOV������������� ��� ZDYHOHQJWK� UDQJH� RI� ����� PP� WR� ���� PP ���WR���H9���7KH�PHDVXUHPHQWV�ZHUH�FDUULHG QHDU�WKH�PDLQ�DQJOH�RI�LQFLGHQFH�DERXW����� 7KH�SRODUL]DWLRQ� D]LPXWK�ZDV�\$� ������ LQ�VWHDG� RI� ����� EHFDXVH� RI�ZHDN� UHIOHFWLRQ� RI WKH�S�FRPSRQHQW��7KH� UHIOHFWHG� OLJKW� LQWHQ� VLW\� ZDV�PHDVXUHG� DW� WKUHH� IL[HG� SRVLWLRQV RI�WKH�SRODUL]HU�����������DQG������8VLQJ�WKH UHFHLYHG�OLJKW�LQWHQVLW\�,���,����,����WKH�DP�SOLWXGH� UDWLR� DQG� SKDVH� GLIIHUHQFH� EHWZHHQ S�� DQG� V�SRODUL]HG� UHIOHFWHG� OLJKW� ZHUH� FDO� FXODWHG��2SWLFDO� FRQVWDQWV�� UHIUDFWLYH� LQGH[ Q� DQG� H[WLQFWLRQ� FRHIILFLHQW� N� ZHUH� FDOFX� ODWHG� XVLQJ� PHWDOORJUDSKLF� IRUPXODV� >�@� 7KHQ��XVLQJ� WKH� FRUUHODWLRQ� DPRQJ� WKH� UHDO DQG� LPDJLQDU\� SDUWV� RI� GLHOHFWULF� IXQFWLRQ� WKH�UHIUDFWLYH�LQGH[�Q�DQG�H[WLQFWLRQ�FRHIIL� FLHQW� N�� WKH� GLHOHFWULF� IXQFWLRQ� ZDV� GHWHU� PLQHG� 7KH� H[SHULPHQWDO� VSHFWUD� RI� UHIUDFWLYH LQGH[�� UHDO� SDUWV� RI� GLHOHFWULF� IXQFWLRQ� DQG RSWLFDO� FRQGXFWLYLW\� DUH� SUHVHQWHG� LQ� )LJV� ��� ��� ���$V� LV� VHHQ� IURP�)LJ���� DQG�)LJ���� WKH� GHSHQGHQFHV�Q�KQ�� DQG� Hc�KQ�� DUH� UDWKHU VLPLODU�WR�HDFK�RWKHU�DQG�LQFUHDVH�ZLWK�SKR� WRQ�HQHUJ\��,Q�WKH�,5�UHJLRQ��Hc�!����DQG�WKH ORZ� YDOXH� RI� RSWLFDO� FRQGXFWLYLW\� HYLGHQFHV WKDW�0R�DQG�$O�IUHH�HOHFWURQV�LQ�WKH�FHUDP� LFV� LQIOXHQFH�RQO\� VOLJKWO\� WKH�RSWLFDO�SURS� HUWLHV�� 0R� DQG� $O� DGPL[WXUHV� SURYLGH� ORZ IUHH� HOHFWURQ� FRQFHQWUDWLRQ� LQ� WKH� FRQGXF� WLYH�EDQG��$�PD[LPXP�DW����Ü����H9�LV�SUH� VHQW� LQ� Q�KQ�� DQG� Hc�KQ�� GLDJUDPV� �)LJ���� )LJ������ ,Q� WKLV� UHJLRQ�� WKH� KH[DJRQDO� PR� O\EGHQXP� GLVLOLFLGH� VKRZV� D� PD[LPXP� >�@ DQG�ZH�FDQ�DVVXPH�WKDW�WKLV�LV�WKH�FDXVH�RI WKH�DERYH�PHQWLRQHG�PD[LPXP��,Q�WKH�VSHF� WUD� RI� VDPSOHV� 6L�1������ �� $O�� 6L�1���������$O�� DQG�6L�1����������$O�� WKH� EDQGV DW� ���� H9� DQG� ���� H9� DUH� REVHUYHG�� 7KRVH DUH� UHODWHG� WR� KH[DJRQDO�0R6L�� WRR�� 7KRVHEDQGV� DUH� DEVHQW� LQ� WKH� VSHFWUD� RI� RWKHU VDPSOHV��7KLV�FDQ�EH�H[SODLQHG�E\�IRUPDWLRQ RI�D�GLVLOLFLGH�PRGLILFDWLRQ�ZLWK�GHIHFW�FU\V� WDO� VWUXFWXUH� �DOPRVW� DPRUSKRXV�� GXULQJ VLQWHULQJ�� 6XFK� PRGLILFDWLRQV� VKRZ� QR� H[� SOLFLW� PD[LPD�� $OXPLQXP� H[KLELWV� D� PD[L� PXP� DW� ���� H9� ZKLFK� LV� RQO\� REVHUYHG� LQ WKH�VSHFWUD�RI�VDPSOHV�6L�1����������$O�DQG 6L�1����������$O� 7KH�VSHFWUDO�GHSHQGHQFH�RI�H[WLQFWLRQ�FRHI� ILFLHQW�FDQ�EH�ILWWHG�E\�HPSLULFDO�IRUPXOD�>�@� �SN O KQ����KQ���(J�N�� ��� ZKHUH�O�LV�ZDYHOHQJWK��(J��EDQG�JDS��N�YDU�LHV� IURP� �� WR� �� GHSHQGLQJ� RQ� WKH� VDPSOH PDWHULDO�� )RU� VLOLFRQH� QLWULGH�� N� ZDV� DF� )LJ����� 5HDO� SDUW� RI� GLHOHFWULF� IXQFWLRQ� RI 6�1��FHUDPLF�VDPSOHV� )LJ����� 2SWLFDO� FRQGXFWLYLW\� RI�6�1�� FHUDPLFVDPSOHV� )LJ�����5HIUDFWLYH�LQGH[�RI�6�1�� 9�0�3URNRSHWV��HW�DO����(OOLSVRPHWULF�LQYHVWLJDWLRQ�RI��� ��� )XQFWLRQDO�PDWHULDOV������������� FHSWHG� WR� EH� �� >��@�� 8VLQJ� WKH� FRUUHODWLRQ �����WKH�EDQG�JDS�YDOXHV�IRU�VLOLFRQH�QLWULGH FHUDPLFV�KDYH�EHHQ�GHWHUPLQHG�� 7KH� EDQG� JDS� ZLGWK� IRU� 6L�1���������$O��6L�1��������$O��6L�1����������$�O�6L�1����� �� $O�� 6L�1�������� �� $O�� DQG� 6L�1�������$O� VDPSOHV� LV� WKH�VDPH�ZLWKLQ� WKH�FDO� FXODWLRQ� HUURU� DQG� DPRXQWV� ���� H9�� 7KH 6L�1�������� �� $O� VDPSOH� KDV� D� QDUURZHG EDQG�JDS��(J� �����H9��7KH�HVWLPDWHG�EDQGJDS�ZLGWK� LV� VPDOOHU� WKDQ� WKHRUHWLFDO�YDOXH FDOFXODWHG� IRU� SXUH� E�6L�1�� VLQJOH� FU\VWDO�7KH� PLQLPXP� EDQG� JDS� YDOXH� LV� ����� H9� ZKLFK� FRUUHVSRQGV� WR� LQGLUHFW� WUDQVLWLRQV IURP�WKH�YDOHQFH�EDQG�WRS�$�WR�WKH�FRQGXF� WLRQ� EDQG� ERWWRP� *�� WKH� GLUHFW� WUDQVLWLRQ *�o�*� HQHUJ\� EHLQJ� ����� H9�� 7KH� H[SHUL� PHQWDO� (J� YDOXH� IRU� E�6L�1�� VLQJOH� FU\VWDOREWDLQHG� E\� ;�UD\� VSHFWURVFRS\� LV� ���� H9 >��@�� 2XU� HVWLPDWLRQV� RI� (J� DUH� LQ� JRRGDJUHHPHQW� ZLWK� WKH� UHVXOWV� LQ� >������@ ZKHUH�WKH�EDQG�JDS�YDOXHV�ZHUH�GHWHUPLQHG IRU� FHUDPLF� DQG� VLOLFRQH� QLWULGH� SRZGHUV� ,QYHVWLJDWLQJ� RI� DPRUSKRXV� DQG� D�6L�1�ILOPV� VKRZV� WKDW� WKH� RSWLFDO� EDQG� JDS� LQ� FUHDVHV� VPRRWKO\� IURP� ����� H9� WR� ���� H9 GHSHQGLQJ� RQ� WKH� VWRLFKLRPHWU\� RI� 6L�±;1;>������@�� 7KH� EDQG� JDS� UHGXFWLRQ� LV� FDXVHG E\� WKH� SUHVHQFH� RI� EURNHQ�6L±1� DQG�ZURQJ 6L±6L� DQG�1±1�ERQGV��%RWK�6L� DQG�1�GHIHFW ERQGV� LQWURGXFH� ORFDOL]HG� VWDWHV� LQWR� WKH JDS�� $V� WKH� FHUDPLFV� ZDV� VLQWHUHG� DW� KLJK WHPSHUDWXUH� DQG�SUHVVXUH�� WKH�EURNHQ�FU\V� WDOOLQH� VWUXFWXUH� RI� VLOLFRQH�QLWULGH�ZDV�RE� WDLQHG�>�@� $V� LV� VHHQ� IURP� )LJ����� WKH� UHIUDFWLRQ LQGH[� RI� FHUDPLF� VDPSOHV� LQFUHDVHV� IURP �����XS�WR������7KH�SUHVHQFH�RI�DGPL[WXUHV KDV� D� OLWWOH� LQIOXHQFH� RQ� WKH� Q�KQ�� GHSHQG� HQFH� VKDSH�� 7KH� UHIUDFWLYH� LQGH[� YDOXH� LV ORZHU� WKDQ� WKDW� RI� SXUH� E�6L�1��� 7KH� SUHV�HQFH� RI� R[\JHQ� LQIOXHQFHV� VWURQJO\� WKH� UH� IUDFWLYH�LQGH[�>��@��7KH�VXEVWLWXWLRQ�RI�R[\� JHQ� IRU� QLWURJHQ� LQ� VLOLFRQH� QLWULGH� RFFXUV GXULQJ� WKH� VLQWHULQJ� SURFHVV�� VR� VLOLFRQH R[\QLWULGH� LV� IRUPHG��:H� XVHG� %UXJJHPDQ HIIHFWLYH�PHGLXP�DSSUR[LPDWLRQ� >��@� WR�HV� WLPDWH� WKH� VLOLFRQH� R[\QLWULGH� DPRXQW�� 7KH HIIHFWLYH� GLHOHFWULF� FRQVWDQW� H� RI� WKH�SK\VL� FDO�PL[WXUH�LV�GHVFULEHG�E\�WKH�HTXDWLRQ �����F� H����HH�����H � �F H���H�H�����H� ��� ZKHUH� F� LV� WKH� FRQFHQWUDWLRQ� RI� WKH� DGPL[� WXUHV�ZLWK�FRPSOH[�GLHOHFWULF�FRQVWDQW�H��LQWKH� PDWUL[� ZLWK� FRPSOH[� GLHOHFWULF� FRQ� VWDQW�H���7KH�UHIUDFWLYH�LQGH[�RI�SXUH�E�6L�1� DW�O� �������QP� LV������ZKLOH� IRU�6L�1�2� Q� ������ >�@�� 8VLQJ� WKH� HTXDWLRQ� ����� ZH KDYH� FDOFXODWHG� WKH� GHSHQGHQFH� RI� UHIUDFWLYH LQGH[�RQ�R[\QLWULGH�FRQFHQWUDWLRQ��7KH�UHVXOW LV�SUHVHQWHG�DV�WKH�Q�F��GLDJUDP�LQ�)LJ���� 7KH� UHIUDFWLYH� LQGH[� DW� O� �������QP ZDV�ZLWKLQ�OLPLWV�RI����Ü����IRU�DOO�FHUDPLF VDPSOHV�� H[FHSW� IRU� 6L�1����������$O�� Q� �����DQG�IRU�6L�1��������$O��Q� �������7KH ORZHUHG� YDOXH� LQ� WKH� IRUPHU� FDVH� LV� FRQ� QHFWHG�ZLWK�DV�ODUJH�DPRXQW�RI�R[\JHQ��WKH VLOLFRQH�R[\QLWULGH�FRQFHQWUDWLRQ�ZDV������� ,W� ZDV� FRQILUPHG� E\� ;�UD\� GLIIUDFWRPHWU\� R[\QLWULGH�SKDVH�ZDV�GHWHFWHG��7KH�HOHYDWHG YDOXH�LQ�WKH�VHFRQG�FDVH�FDQ�EH�H[SODLQHG�E\ ORZ�FRQFHQWUDWLRQ�RI�R[\JHQ��F� ��������7KH RWKHU� FHUDPLF� VDPSOHV� FRQWDLQ� 6L�1�2� FRQ�FHQWUDWLRQV�ZLWKLQ�OLPLWV�RI�����Ü�����8VLQJ HOOLSVRPHWU\�DQG�HIIHFWLYH�PHGLXP�DSSUR[L� PDWLRQ��ZH�FDQ�HVWLPDWH�WKH�R[\JHQ�DPRXQW LQ�WKH�FHUDPLFV� 7KXV�� HOOLSVRPHWULF� LQYHVWLJDWLRQ� RI� VLOL� FRQH�QLWULGH�FHUDPLFV�DQG�EDQG�JDS�FDOFXOD� WLRQ�HQDEOH�XV� WR�FRQFOXGH� WKDW� WKH�JDS�GH� FUHDVH� LV� FRQQHFWHG� ZLWK� EURNHQ� FU\VWDOOLQH VWUXFWXUH�RI�E�6L�1��DQG�IRUPDWLRQ�RI�ZURQJLQWHUDWRPLF� ERQGV�� $QDO\]LQJ� WKH� H[SHUL� PHQWDO� GDWD� RQ� GLHOHFWULF� IXQFWLRQ� DQG� UH� IUDFWLYH� LQGH[�� ZH� KDYH� FRQFOXGHG� WKH� IRU� PDWLRQ�RI�D� FU\VWDOOLQH�PRGLILFDWLRQ�RI�PR� O\EGHQXP� GLVLOLFLGH� GXULQJ� WKH� VLQWHULQJ� 7KH�VLOLFRQH�R[\QLWULGH�DPRXQW�SUHVHQW�LQ�FH� UDPLF�VDPSOHV�KDV�EHHQ�HVWLPDWHG�E\�%UXJJH� PDQ�HIIHFWLYH�PHGLXP�DSSUR[LPDWLRQ� )LJ�����7KH�GHSHQGHQFH�RI�VLOLFRQH�QLWULGH�UH� IUDFWLYH� LQGH[� RQ� VLOLFRQH� R[\QLWULGH� FRQFHQ� WUDWLRQ�� 9�0�3URNRSHWV��HW�DO����(OOLSVRPHWULF�LQYHVWLJDWLRQ�RI��� )XQFWLRQDO�PDWHULDOV������������� ��� 5HIHUHQFHV � ���9�,�%HO\��/�/�9DVLO\HYD��9�$�*ULWVHQNR�HW�DO�� 6LOLFRQ�1LWULGH�LQ�(OHFWURQLFV��1DXND��1RYRVL� ELUVN��������>LQ�5XVVLDQ@� � ���7�6�(ULNVVRQ�� &�*�*UDQTXLVW�� -��$SSO��3K\V�� ���������������� � ���0�GHO� *LXGLFH�� )�%UXQR�� 7�&LFLQHOOL��0�9DOOL� $SSO��2SW������������������� � ���5�$�$QGULHYVN\�� ,�,�6SLYDN�� 6LOLFRQ� 1LWULGH DQG� 0DWHULDOV� RQ� LWV� %DVLV�� 0HWDOOXUJLD� 0RVNRZ��������>LQ�5XVVLDQ@� � ���7�<D�.RVRODSRYD�� 7�9�$QGUHHYD�� 7�%�%DUWQLW� VND\D� HW� DO��� 1RQ�0HWDO� +LJK�0HOWLQJ� &RP� SRXQGV��0HWDOOXUJLD��0RVNRZ��������>LQ�5XVVLDQ@� � ���<RQJ�1LDQ� ;X�� :�<�&KLQJ�� 3K\V��5HY��� ��� ������������� � ���$�9�5]KDQRY�� .�.�6YLWDVKHY�� $�,�6HPHQHQNR HW�DO���3ULQFLSOHV�RI�(OOLSVRPHWU\��1DXND��1R� YRVLELUVN��������>LQ�5XVVLDQ@� � ���0�9�%HORXV�� <X�9�.XGU\DYWVHY�� <X�1�0DNR� JRQ� HW� DO��� )L]�� 0HWDO��0HWDOORYHG��� ���� �� �������� � ���1�0RWW��(�'HYLV��(OHFWURQLF�3URFHVVHV�LQ�1RQ� FU\VWDOOLQH�6XEVWDQFHV��&ODUHGRQ�3UHVV��1HZ�<RUN ������� ����3�6�.LVOL\�� 6�$�$UWHP\XN�� %�$�$WDPDQHQNR HW� DO��� 6YHUNKWYHUG\H� 0DWHULDO\�� 1R���� �� �������� ����&�6HQHPDXG��0�'ULVV�.KRGMD��$�*KHRUJKLX�HW DO���-��$SSO��3K\V������������������� ����<X�1�9ROJLQ�� *�3�'XEURYVN\�� $�0�=\NRY� )L]��7HNKQ��3ROXSURY�������������������� ����+�.XUDWD�� 0�+LURVH�� <�2VDND�� -DS��-��$SSO� 3K\V�������/����������� ����/�0DUWLQ�0RUHQR�� (�0DUWLQH]�� -�$�9HUJHV� )�<QGXUDLQ��3K\V��5HY��%������������������ ����%�$�$WDPDQHQNR�� LQ� ERRN�� 6XSHUKDUG� DQG &RPSRVLWH� 0DWHULDOV�� &RDWLQJV�� DQG� $SSOLFD� WLRQV� 7KHUHRI�� &ROO��RI� 6FL��:RUNV�� ,QVWLWXWH IRU�6XSHUKDUG�0DWHULDOV�RI�1$68��.LHY������� >LQ�5XVVLDQ@� ����3K�-�5RXVVHO�� -�9DQKHOOHPRQW�� +�(�0DHV� 7KLQ�6ROLG�)LOPV������������������ ����=�<LQ�� )�:�6PLWK�� 3K\V��5HY��%�� ���� ���� ������� ����=�<LQ�� )�:�6PLWK�� 3K\V��5HY��%�� ���� ���� ������� pãL¹°ºäË�¯Ò�ÓË��º°ãL�ÎËÓÓ«�}˯ÈäL}Ò�E�6L�1��Ï��ºäL�}ÈäÒ�0R��È�$O {�l��¯º}º¹Ë� ��,�k�bÈ®}ËmÒ�����{�cº­�¯ lË�º�ºä�°¹Ë}�¯ºËãL¹°ºäË�¯L���º°ãL�ÎËÓº�}˯ÈäL�ÓL� ϯÈÏ}Ò�6L�1�� Ï��ºäL�}ÈäÒ�0R� � $O��{Òm�ËÓº�m¹ãÒm��ºäL�º}�ÓÈ�º¹�Ò�ÓL�mãȰ�Òmº°�L�}˯ÈäL}Ò��~È�Ïm�ÎËÓÓ«�ÏÈ­º¯ºÓËÓº� ϺÓÒ�mL�¹ºmL�È � � ãº}Èã ÓL��ËÁË}�Ò�}¯Ò°�ÈãL�Óº�� °�¯�}��¯Ò�6L�1���zLã }L°� � º}°ÒÓL��¯Ò���}¯ËäÓL ����º°ãL�ÎËÓÒ²�ϯÈÏ}Ȳ�º�LÓËÓº�Ï�ÏȰ�º°�mÈÓÓ«ä�ÓÈ­ãÒÎËÓÓ«�ËÁË}�ÒmÓº�º °Ë¯Ë�ºmÒ�È�ÏÈ�r¯ ��ËäÈÓºä� 9�0�3URNRSHWV��HW�DO����(OOLSVRPHWULF�LQYHVWLJDWLRQ�RI��� ��� )XQFWLRQDO�PDWHULDOV�������������
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-137699
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1027-5495
language English
last_indexed 2025-12-07T16:38:53Z
publishDate 2005
publisher НТК «Інститут монокристалів» НАН України
record_format dspace
spelling Prokopets', V.M.
Shaykevich, I.A.
Robur, L.Y.
2018-06-17T15:12:36Z
2018-06-17T15:12:36Z
2005
Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives / V.M. Prokopets', I.A. Shaykevich, L.Y. Robur // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 2. — С. 371-374. — Бібліогр.: 18 назв. — англ.
1027-5495
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137699
Ceramic Si₃N₄ samples with Мо and AI admixtures have been investigated by spectroellipsometry. The influence of admixtures on the ceramics optical properties have been studied. The local defects of Si₃N₄ crystal structure are responsible for the band gap reduction. The silicone oxynitride amount in the studied samples has been estimated numerically by Bruggeman effective medium approximation.
Методом спектроэллипсометрии исследованы керамические образцы Si₃N₄ с добавками Мо и AI. Изучено влияние добавок на оптические свойства керамики. 3а сужение запрещенной зоны ответственны локальные дефекты кристаллической структуры Si₃N₄. Количество оксинитрида кремния в исследованных образцах численно оценено с применением приближения эффективной среды по Брюггеману.
Методом спектроелiпсометрiї дослiджено керамiчнi зразки Si₃N₄ з домiшками Мо i AI. Вивчено вплив домiшок на оптичнi властивостi керамiки. 3а звуження забороненої зони вiдповiдають локальнi дефекти кристалiчної структури Si₃N₄. Кiлькiсть оксинiтриду кремнiю у дослiджених зразках оцiнено з застосуванням наближення ефективного середовища за Брюггеманом.
en
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
Functional Materials
Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives
Еліпсометричне дослідження кераміки β-Si₃N₄ з домішками Мо та АІ
Article
published earlier
spellingShingle Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives
Prokopets', V.M.
Shaykevich, I.A.
Robur, L.Y.
title Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives
title_alt Еліпсометричне дослідження кераміки β-Si₃N₄ з домішками Мо та АІ
title_full Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives
title_fullStr Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives
title_full_unstemmed Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives
title_short Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives
title_sort ellipsometric investigation of β-si₃n₄ ceramics with mo and al additives
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137699
work_keys_str_mv AT prokopetsvm ellipsometricinvestigationofβsi3n4ceramicswithmoandaladditives
AT shaykevichia ellipsometricinvestigationofβsi3n4ceramicswithmoandaladditives
AT roburly ellipsometricinvestigationofβsi3n4ceramicswithmoandaladditives
AT prokopetsvm elípsometričnedoslídžennâkeramíkiβsi3n4zdomíškamimotaaí
AT shaykevichia elípsometričnedoslídžennâkeramíkiβsi3n4zdomíškamimotaaí
AT roburly elípsometričnedoslídžennâkeramíkiβsi3n4zdomíškamimotaaí