Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives
Ceramic Si₃N₄ samples with Мо and AI admixtures have been investigated by spectroellipsometry. The influence of admixtures on the ceramics optical properties have been studied. The local defects of Si₃N₄ crystal structure are responsible for the band gap reduction. The silicone oxynitride amount in...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Functional Materials |
|---|---|
| Datum: | 2005 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2005
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137699 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives / V.M. Prokopets', I.A. Shaykevich, L.Y. Robur // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 2. — С. 371-374. — Бібліогр.: 18 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860005366147842048 |
|---|---|
| author | Prokopets', V.M. Shaykevich, I.A. Robur, L.Y. |
| author_facet | Prokopets', V.M. Shaykevich, I.A. Robur, L.Y. |
| citation_txt | Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives / V.M. Prokopets', I.A. Shaykevich, L.Y. Robur // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 2. — С. 371-374. — Бібліогр.: 18 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Functional Materials |
| description | Ceramic Si₃N₄ samples with Мо and AI admixtures have been investigated by spectroellipsometry. The influence of admixtures on the ceramics optical properties have been studied. The local defects of Si₃N₄ crystal structure are responsible for the band gap reduction. The silicone oxynitride amount in the studied samples has been estimated numerically by Bruggeman effective medium approximation.
Методом спектроэллипсометрии исследованы керамические образцы Si₃N₄ с добавками Мо и AI. Изучено влияние добавок на оптические свойства керамики. 3а сужение запрещенной зоны ответственны локальные дефекты кристаллической структуры Si₃N₄. Количество оксинитрида кремния в исследованных образцах численно оценено с применением приближения эффективной среды по Брюггеману.
Методом спектроелiпсометрiї дослiджено керамiчнi зразки Si₃N₄ з домiшками Мо i AI. Вивчено вплив домiшок на оптичнi властивостi керамiки. 3а звуження забороненої зони вiдповiдають локальнi дефекти кристалiчної структури Si₃N₄. Кiлькiсть оксинiтриду кремнiю у дослiджених зразках оцiнено з застосуванням наближення ефективного середовища за Брюггеманом.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:38:53Z |
| format | Article |
| fulltext |
(OOLSVRPHWULF�LQYHVWLJDWLRQ�RI�E�6L�1� FHUDPLFVZLWK�0R DQG�$O DGGLWLYHV
9�0�3URNRSHWV���,�$�6KD\NHYLFK��/�<�5REXU
3K\VLFV�'HSDUWPHQW��7�6KHYFKHQNR�.\LY�1DWLRQDO�8QLYHUVLW\�
��$FDG��*OXVKNRY�$YH���������.\LY��8NUDLQH
&HUDPLF�6L�1��VDPSOHV�ZLWK�0R�DQG�$O�DGPL[WXUHV�KDYH�EHHQ�LQYHVWLJDWHG�E\�VSHFWURHO�OLSVRPHWU\�� 7KH� LQIOXHQFH� RI� DGPL[WXUHV� RQ� WKH� FHUDPLFV� RSWLFDO� SURSHUWLHV� KDYH� EHHQ
VWXGLHG�� 7KH� ORFDO� GHIHFWV� RI� 6L�1�� FU\VWDO� VWUXFWXUH� DUH� UHVSRQVLEOH� IRU� WKH� EDQG� JDSUHGXFWLRQ�� 7KH� VLOLFRQH� R[\QLWULGH� DPRXQW� LQ� WKH� VWXGLHG� VDPSOHV� KDV� EHHQ� HVWLPDWHG
QXPHULFDOO\�E\�%UXJJHPDQ�HIIHFWLYH�PHGLXP�DSSUR[LPDWLRQ�
lË�º�ºä�°¹Ë}�¯ºªããÒ¹°ºäË�¯ÒÒ�Ò°°ãË�ºmÈÓ©�}˯ÈäÒ�˰}ÒË�º¯ÈÏ�©�6L�1��°��ºÈm}È�äÒ�0R� Ò�$O��jÏ��ËÓº� mãÒ«ÓÒË��ºÈmº}�ÓÈ� º¹�Ò�˰}ÒË� °mº®°�mÈ� }˯ÈäÒ}Ò��~È� °�ÎËÓÒË
Ïȹ¯Ë�ËÓÓº®�Ϻө�º�mË�°�mËÓÓ©�ãº}Èã Ó©Ë��ËÁË}�©�}¯Ò°�ÈããÒ�˰}º®�°�¯�}��¯©�6L�1��zºãÒ�˰�mº�º}°ÒÓÒ�¯Ò�È�}¯ËäÓÒ«�m�Ò°°ãË�ºmÈÓÓ©²�º¯ÈÏ�Ȳ��Ò°ãËÓÓº�º�ËÓËÓº�°�¹¯Ò�
äËÓËÓÒËä�¹¯ÒãÒÎËÓÒ«�ªÁÁË}�ÒmÓº®�°¯Ë�©�¹º�r¯
��ËäÈÓ��
6LOLFRQH�QLWULGH��6L�1���LV�D�VWUXFWXUDO�FH�UDPLFV� RI� LPSRUWDQFH� LQ� QXPHURXV� PRGHUQ
DSSOLFDWLRQV��6L�1��LV�XVHG�LQ�DXWRPRWLYH�HQ�JLQH� SDUWV�� FXWWLQJ� WRROV�� PDFKLQH� FRPSR�
QHQWV�� HWF�� 6LOLFRQH� QLWULGH� DQG� VLOLFRQH
R[\QLWULGH� SOD\� DQ� LQFUHDVLQJO\� LPSRUWDQW
SDUW� LQ� HOHFWURQLF� LQGXVWU\� >�@� DQG� LQ� RS�
WRHOHFWURQLFV� >����@�� 6L�1�� LV� XVXDOO\� SUH�SDUHG�E\�KLJK�WHPSHUDWXUH�UHDFWLRQ�ELQGLQJ
RU�KRW�SUHVVLQJ�VLQWHULQJ�SURFHVV�DQG�WKHUH�
IRUH� LW� LV� DOZD\V� LQ� SRO\FU\VWDOOLQH� IRUP
ZLWK� PDQ\� GHIHFWV� DQG� LPSHUIHFWLRQV�
2IWHQ��YDULRXV�VLQWHULQJ�DGPL[WXUHV�RI�PHW�
DOV�DQG�R[LGHV�DUH�RIWHQ�DGGHG�WR�WKH�LQLWLDO
6L�1�� SRZGHU�� 7KRVH� DGPL[WXUHV� DUH� QHFHV�VDU\�WR�SURYLGH�VWDEOH�LQWHUJUDQXODU�MRLQLQJ
LQ� WKH� FRXUVH� RI� VLQWHULQJ�� 7KRVH�PD\� JLYH
ULVH� WR� DGGLWLRQDO� LQWHUJUDQXODU� SKDVH� RU
VROLG�VROXWLRQ�RI�WKH�DGPL[WXUH�LQ�WKH�6L�1�SKDVH�>�@��6LOLFRQH�QLWULGH�ILOPV�SUHSDUHG�E\
FKHPLFDO� YDSRU� GHSRVLWLRQ� DUH� OLNHO\� WR� EH
DPRUSKRXV��7KH�SRO\FU\VWDOOLQH�6L�1��H[LVWVLQ� WZR� IRUPV�� D� DQG� E�� ZLWK� E�6L�1�� WR� EHWKHUPRG\QDPLFDOO\�PRUH�VWDEOH�LQ�WKH�ODWWHU
>�@��%RWK�WKH�D�DQG�E�SKDVHV�KDYH�WKH�VDPH
EDVLF� VWUXFWXUDO� XQLWV� ZLWK� D� WHWUDKHGUDO
ELQGLQJ� IRU�6L� �6L±1��� DQG� D� ELQGLQJ� IRU�1�1±6L����7KH�XQLW�FHOO�RI�WKH�D�6L�1��LV�WZLFHDV� ODUJH� DV� WKDW� RI� WKH� E�SKDVH�� DQG� WKH
SKDVHV� GLIIHU� LQ� WKH� VWDFNLQJ� VHTXHQFH� RI
OD\HU�VXEXQLWV�DORQJ�WKH�F�D[LV��7KH�6L�1�2FU\VWDO�FDQ�EH�FRQVLGHUHG�DV�DQ�LQWHUPHGLDWH
SKDVH� EHWZHHQ� 6L2�� DQG�6L�1�� >�@�� 6LOLFRQHR[\QLWULGH�PD\�DSSHDU�DV�D�VHFRQGDU\�SKDVH
LQ�WKH�LQWHUIDFLDO�JUDLQ�ERXQGDU\�RI�E�6L�1��DQG� DV� D� UHVXOW� RI� R[\JHQ� VXEVWLWXWLRQ� IRU
QLWURJHQ� GXULQJ� VLQWHULQJ� SURFHVV�� 7KLV
SKDVH� LQIOXHQFHV� KHDYLO\� WKH� RYHUDOO� SHU�
IRUPDQFH� RI� VLOLFRQH� QLWULGH�EDVHG� VWUXF�
WXUDO�FHUDPLFV��
7KH�FHUDPLF�VDPSOHV�RI�E�6L�1��ZHUH�SUH�SDUHG� E\� KRW� SUHVVLQJ� DW� ���������&� DQG
���03D��$O�DQG�0R�ZHUH�XVHG�DV�WKH�VLQWHU�
LQJ�DGGLWLYHV��7KH�0R�DPRXQW�ZDV�WKH�VDPH
IRU�DOO�VDPSOHV��DERXW�������WKH�$O�RQH�ZDV
YDULHG� �IURP� ���� �� WR� ���� ���� 7KH� SKDVH
VWUXFWXUH� ZDV� VWXGLHG� E\� ;�UD\� GLIIUDF�
WRPHWU\�� $OO� VDPSOHV�� H[FHSW� IRU� 6L�1���������$O��ZHUH�LGHQWLFDO�LQ�WKH�SKDVH�VWUXF�
WXUH� FRQVLVWLQJ�RI�E�6L�1�� DQG�PRO\EGHQXPGLVLOLFLGH�0R6L���7KH�DOXPLQXP�GLG�QRW�SUR�GXFH�D�VHSDUDWH�SKDVH��EXW�IRUPHG�DQ�LQWHU�
VWLWLDO� VROLG� VROXWLRQ� LQ� VLOLFRQH� QLWULGH�� ,Q
WKH� VDPSOH�ZLWK� ������$O�� WKH� WKLUG� SKDVH
RI� VLOLFRQH� R[\QLWULGH� LV� SUHVHQW�� WRR�� 7KH
RSWLFDO�FRQVWDQWV�RI�E�6L�1��FHUDPLFV�LQ�YLV�LEOH� DQG� XOWUDYLROHW� UHJLRQ� ZHUH� PHDVXUHG
E\� HOOLSVRPHWU\� �%HDWW\� PHWKRG�� >�@� LQ
)XQFWLRQDO�0DWHULDOV�����1R��������� ��������,QVWLWXWH�IRU�6LQJOH�&U\VWDOV
)XQFWLRQDO�PDWHULDOV������������� ���
ZDYHOHQJWK� UDQJH� RI� ����� PP� WR� ���� PP
���WR���H9���7KH�PHDVXUHPHQWV�ZHUH�FDUULHG
QHDU�WKH�PDLQ�DQJOH�RI�LQFLGHQFH�DERXW�����
7KH�SRODUL]DWLRQ� D]LPXWK�ZDV�\$� ������ LQ�VWHDG� RI� ����� EHFDXVH� RI�ZHDN� UHIOHFWLRQ� RI
WKH�S�FRPSRQHQW��7KH� UHIOHFWHG� OLJKW� LQWHQ�
VLW\� ZDV�PHDVXUHG� DW� WKUHH� IL[HG� SRVLWLRQV
RI�WKH�SRODUL]HU�����������DQG������8VLQJ�WKH
UHFHLYHG�OLJKW�LQWHQVLW\�,���,����,����WKH�DP�SOLWXGH� UDWLR� DQG� SKDVH� GLIIHUHQFH� EHWZHHQ
S�� DQG� V�SRODUL]HG� UHIOHFWHG� OLJKW� ZHUH� FDO�
FXODWHG��2SWLFDO� FRQVWDQWV�� UHIUDFWLYH� LQGH[
Q� DQG� H[WLQFWLRQ� FRHIILFLHQW� N� ZHUH� FDOFX�
ODWHG� XVLQJ� PHWDOORJUDSKLF� IRUPXODV� >�@�
7KHQ��XVLQJ� WKH� FRUUHODWLRQ� DPRQJ� WKH� UHDO
DQG� LPDJLQDU\� SDUWV� RI� GLHOHFWULF� IXQFWLRQ�
WKH�UHIUDFWLYH�LQGH[�Q�DQG�H[WLQFWLRQ�FRHIIL�
FLHQW� N�� WKH� GLHOHFWULF� IXQFWLRQ� ZDV� GHWHU�
PLQHG�
7KH� H[SHULPHQWDO� VSHFWUD� RI� UHIUDFWLYH
LQGH[�� UHDO� SDUWV� RI� GLHOHFWULF� IXQFWLRQ� DQG
RSWLFDO� FRQGXFWLYLW\� DUH� SUHVHQWHG� LQ� )LJV�
��� ��� ���$V� LV� VHHQ� IURP�)LJ���� DQG�)LJ����
WKH� GHSHQGHQFHV�Q�KQ�� DQG� Hc�KQ�� DUH� UDWKHU
VLPLODU�WR�HDFK�RWKHU�DQG�LQFUHDVH�ZLWK�SKR�
WRQ�HQHUJ\��,Q�WKH�,5�UHJLRQ��Hc�!����DQG�WKH
ORZ� YDOXH� RI� RSWLFDO� FRQGXFWLYLW\� HYLGHQFHV
WKDW�0R�DQG�$O�IUHH�HOHFWURQV�LQ�WKH�FHUDP�
LFV� LQIOXHQFH�RQO\� VOLJKWO\� WKH�RSWLFDO�SURS�
HUWLHV�� 0R� DQG� $O� DGPL[WXUHV� SURYLGH� ORZ
IUHH� HOHFWURQ� FRQFHQWUDWLRQ� LQ� WKH� FRQGXF�
WLYH�EDQG��$�PD[LPXP�DW��������H9�LV�SUH�
VHQW� LQ� Q�KQ�� DQG� Hc�KQ�� GLDJUDPV� �)LJ����
)LJ������ ,Q� WKLV� UHJLRQ�� WKH� KH[DJRQDO� PR�
O\EGHQXP� GLVLOLFLGH� VKRZV� D� PD[LPXP� >�@
DQG�ZH�FDQ�DVVXPH�WKDW�WKLV�LV�WKH�FDXVH�RI
WKH�DERYH�PHQWLRQHG�PD[LPXP��,Q�WKH�VSHF�
WUD� RI� VDPSOHV� 6L�1������ �� $O�� 6L�1���������$O�� DQG�6L�1����������$O�� WKH� EDQGV
DW� ���� H9� DQG� ���� H9� DUH� REVHUYHG�� 7KRVH
DUH� UHODWHG� WR� KH[DJRQDO�0R6L�� WRR�� 7KRVHEDQGV� DUH� DEVHQW� LQ� WKH� VSHFWUD� RI� RWKHU
VDPSOHV��7KLV�FDQ�EH�H[SODLQHG�E\�IRUPDWLRQ
RI�D�GLVLOLFLGH�PRGLILFDWLRQ�ZLWK�GHIHFW�FU\V�
WDO� VWUXFWXUH� �DOPRVW� DPRUSKRXV�� GXULQJ
VLQWHULQJ�� 6XFK� PRGLILFDWLRQV� VKRZ� QR� H[�
SOLFLW� PD[LPD�� $OXPLQXP� H[KLELWV� D� PD[L�
PXP� DW� ���� H9� ZKLFK� LV� RQO\� REVHUYHG� LQ
WKH�VSHFWUD�RI�VDPSOHV�6L�1����������$O�DQG
6L�1����������$O�
7KH�VSHFWUDO�GHSHQGHQFH�RI�H[WLQFWLRQ�FRHI�
ILFLHQW�FDQ�EH�ILWWHG�E\�HPSLULFDO�IRUPXOD�>�@�
�SN
O KQ����KQ���(J�N�� ���
ZKHUH�O�LV�ZDYHOHQJWK��(J��EDQG�JDS��N�YDU�LHV� IURP� �� WR� �� GHSHQGLQJ� RQ� WKH� VDPSOH
PDWHULDO�� )RU� VLOLFRQH� QLWULGH�� N� ZDV� DF�
)LJ����� 5HDO� SDUW� RI� GLHOHFWULF� IXQFWLRQ� RI
6�1��FHUDPLF�VDPSOHV�
)LJ����� 2SWLFDO� FRQGXFWLYLW\� RI�6�1�� FHUDPLFVDPSOHV�
)LJ�����5HIUDFWLYH�LQGH[�RI�6�1��
9�0�3URNRSHWV��HW�DO����(OOLSVRPHWULF�LQYHVWLJDWLRQ�RI���
��� )XQFWLRQDO�PDWHULDOV�������������
FHSWHG� WR� EH� �� >��@�� 8VLQJ� WKH� FRUUHODWLRQ
�����WKH�EDQG�JDS�YDOXHV�IRU�VLOLFRQH�QLWULGH
FHUDPLFV�KDYH�EHHQ�GHWHUPLQHG��
7KH� EDQG� JDS� ZLGWK� IRU� 6L�1���������$O��6L�1��������$O��6L�1����������$�O�6L�1����� �� $O�� 6L�1�������� �� $O�� DQG� 6L�1�������$O� VDPSOHV� LV� WKH�VDPH�ZLWKLQ� WKH�FDO�
FXODWLRQ� HUURU� DQG� DPRXQWV� ���� H9�� 7KH
6L�1�������� �� $O� VDPSOH� KDV� D� QDUURZHG
EDQG�JDS��(J� �����H9��7KH�HVWLPDWHG�EDQGJDS�ZLGWK� LV� VPDOOHU� WKDQ� WKHRUHWLFDO�YDOXH
FDOFXODWHG� IRU� SXUH� E�6L�1�� VLQJOH� FU\VWDO�7KH� PLQLPXP� EDQG� JDS� YDOXH� LV� ����� H9�
ZKLFK� FRUUHVSRQGV� WR� LQGLUHFW� WUDQVLWLRQV
IURP�WKH�YDOHQFH�EDQG�WRS�$�WR�WKH�FRQGXF�
WLRQ� EDQG� ERWWRP� *�� WKH� GLUHFW� WUDQVLWLRQ
*�o�*� HQHUJ\� EHLQJ� ����� H9�� 7KH� H[SHUL�
PHQWDO� (J� YDOXH� IRU� E�6L�1�� VLQJOH� FU\VWDOREWDLQHG� E\� ;�UD\� VSHFWURVFRS\� LV� ���� H9
>��@�� 2XU� HVWLPDWLRQV� RI� (J� DUH� LQ� JRRGDJUHHPHQW� ZLWK� WKH� UHVXOWV� LQ� >������@
ZKHUH�WKH�EDQG�JDS�YDOXHV�ZHUH�GHWHUPLQHG
IRU� FHUDPLF� DQG� VLOLFRQH� QLWULGH� SRZGHUV�
,QYHVWLJDWLQJ� RI� DPRUSKRXV� DQG� D�6L�1�ILOPV� VKRZV� WKDW� WKH� RSWLFDO� EDQG� JDS� LQ�
FUHDVHV� VPRRWKO\� IURP� ����� H9� WR� ���� H9
GHSHQGLQJ� RQ� WKH� VWRLFKLRPHWU\� RI� 6L�±;1;>������@�� 7KH� EDQG� JDS� UHGXFWLRQ� LV� FDXVHG
E\� WKH� SUHVHQFH� RI� EURNHQ�6L±1� DQG�ZURQJ
6L±6L� DQG�1±1�ERQGV��%RWK�6L� DQG�1�GHIHFW
ERQGV� LQWURGXFH� ORFDOL]HG� VWDWHV� LQWR� WKH
JDS�� $V� WKH� FHUDPLFV� ZDV� VLQWHUHG� DW� KLJK
WHPSHUDWXUH� DQG�SUHVVXUH�� WKH�EURNHQ�FU\V�
WDOOLQH� VWUXFWXUH� RI� VLOLFRQH�QLWULGH�ZDV�RE�
WDLQHG�>�@�
$V� LV� VHHQ� IURP� )LJ����� WKH� UHIUDFWLRQ
LQGH[� RI� FHUDPLF� VDPSOHV� LQFUHDVHV� IURP
�����XS�WR������7KH�SUHVHQFH�RI�DGPL[WXUHV
KDV� D� OLWWOH� LQIOXHQFH� RQ� WKH� Q�KQ�� GHSHQG�
HQFH� VKDSH�� 7KH� UHIUDFWLYH� LQGH[� YDOXH� LV
ORZHU� WKDQ� WKDW� RI� SXUH� E�6L�1��� 7KH� SUHV�HQFH� RI� R[\JHQ� LQIOXHQFHV� VWURQJO\� WKH� UH�
IUDFWLYH�LQGH[�>��@��7KH�VXEVWLWXWLRQ�RI�R[\�
JHQ� IRU� QLWURJHQ� LQ� VLOLFRQH� QLWULGH� RFFXUV
GXULQJ� WKH� VLQWHULQJ� SURFHVV�� VR� VLOLFRQH
R[\QLWULGH� LV� IRUPHG��:H� XVHG� %UXJJHPDQ
HIIHFWLYH�PHGLXP�DSSUR[LPDWLRQ� >��@� WR�HV�
WLPDWH� WKH� VLOLFRQH� R[\QLWULGH� DPRXQW�� 7KH
HIIHFWLYH� GLHOHFWULF� FRQVWDQW� H� RI� WKH�SK\VL�
FDO�PL[WXUH�LV�GHVFULEHG�E\�WKH�HTXDWLRQ
�����F� H����HH�����H
� �F H���H�H�����H�
���
ZKHUH� F� LV� WKH� FRQFHQWUDWLRQ� RI� WKH� DGPL[�
WXUHV�ZLWK�FRPSOH[�GLHOHFWULF�FRQVWDQW�H��LQWKH� PDWUL[� ZLWK� FRPSOH[� GLHOHFWULF� FRQ�
VWDQW�H���7KH�UHIUDFWLYH�LQGH[�RI�SXUH�E�6L�1�
DW�O� �������QP� LV������ZKLOH� IRU�6L�1�2�
Q� ������ >�@�� 8VLQJ� WKH� HTXDWLRQ� ����� ZH
KDYH� FDOFXODWHG� WKH� GHSHQGHQFH� RI� UHIUDFWLYH
LQGH[�RQ�R[\QLWULGH�FRQFHQWUDWLRQ��7KH�UHVXOW
LV�SUHVHQWHG�DV�WKH�Q�F��GLDJUDP�LQ�)LJ����
7KH� UHIUDFWLYH� LQGH[� DW� O� �������QP
ZDV�ZLWKLQ�OLPLWV�RI��������IRU�DOO�FHUDPLF
VDPSOHV�� H[FHSW� IRU� 6L�1����������$O�� Q�
�����DQG�IRU�6L�1��������$O��Q� �������7KH
ORZHUHG� YDOXH� LQ� WKH� IRUPHU� FDVH� LV� FRQ�
QHFWHG�ZLWK�DV�ODUJH�DPRXQW�RI�R[\JHQ��WKH
VLOLFRQH�R[\QLWULGH�FRQFHQWUDWLRQ�ZDV�������
,W� ZDV� FRQILUPHG� E\� ;�UD\� GLIIUDFWRPHWU\�
R[\QLWULGH�SKDVH�ZDV�GHWHFWHG��7KH�HOHYDWHG
YDOXH�LQ�WKH�VHFRQG�FDVH�FDQ�EH�H[SODLQHG�E\
ORZ�FRQFHQWUDWLRQ�RI�R[\JHQ��F� ��������7KH
RWKHU� FHUDPLF� VDPSOHV� FRQWDLQ� 6L�1�2� FRQ�FHQWUDWLRQV�ZLWKLQ�OLPLWV�RI����������8VLQJ
HOOLSVRPHWU\�DQG�HIIHFWLYH�PHGLXP�DSSUR[L�
PDWLRQ��ZH�FDQ�HVWLPDWH�WKH�R[\JHQ�DPRXQW
LQ�WKH�FHUDPLFV�
7KXV�� HOOLSVRPHWULF� LQYHVWLJDWLRQ� RI� VLOL�
FRQH�QLWULGH�FHUDPLFV�DQG�EDQG�JDS�FDOFXOD�
WLRQ�HQDEOH�XV� WR�FRQFOXGH� WKDW� WKH�JDS�GH�
FUHDVH� LV� FRQQHFWHG� ZLWK� EURNHQ� FU\VWDOOLQH
VWUXFWXUH�RI�E�6L�1��DQG�IRUPDWLRQ�RI�ZURQJLQWHUDWRPLF� ERQGV�� $QDO\]LQJ� WKH� H[SHUL�
PHQWDO� GDWD� RQ� GLHOHFWULF� IXQFWLRQ� DQG� UH�
IUDFWLYH� LQGH[�� ZH� KDYH� FRQFOXGHG� WKH� IRU�
PDWLRQ�RI�D� FU\VWDOOLQH�PRGLILFDWLRQ�RI�PR�
O\EGHQXP� GLVLOLFLGH� GXULQJ� WKH� VLQWHULQJ�
7KH�VLOLFRQH�R[\QLWULGH�DPRXQW�SUHVHQW�LQ�FH�
UDPLF�VDPSOHV�KDV�EHHQ�HVWLPDWHG�E\�%UXJJH�
PDQ�HIIHFWLYH�PHGLXP�DSSUR[LPDWLRQ�
)LJ�����7KH�GHSHQGHQFH�RI�VLOLFRQH�QLWULGH�UH�
IUDFWLYH� LQGH[� RQ� VLOLFRQH� R[\QLWULGH� FRQFHQ�
WUDWLRQ��
9�0�3URNRSHWV��HW�DO����(OOLSVRPHWULF�LQYHVWLJDWLRQ�RI���
)XQFWLRQDO�PDWHULDOV������������� ���
5HIHUHQFHV
� ���9�,�%HO\��/�/�9DVLO\HYD��9�$�*ULWVHQNR�HW�DO��
6LOLFRQ�1LWULGH�LQ�(OHFWURQLFV��1DXND��1RYRVL�
ELUVN��������>LQ�5XVVLDQ@�
� ���7�6�(ULNVVRQ�� &�*�*UDQTXLVW�� -��$SSO��3K\V��
����������������
� ���0�GHO� *LXGLFH�� )�%UXQR�� 7�&LFLQHOOL��0�9DOOL�
$SSO��2SW�������������������
� ���5�$�$QGULHYVN\�� ,�,�6SLYDN�� 6LOLFRQ� 1LWULGH
DQG� 0DWHULDOV� RQ� LWV� %DVLV�� 0HWDOOXUJLD�
0RVNRZ��������>LQ�5XVVLDQ@�
� ���7�<D�.RVRODSRYD�� 7�9�$QGUHHYD�� 7�%�%DUWQLW�
VND\D� HW� DO��� 1RQ�0HWDO� +LJK�0HOWLQJ� &RP�
SRXQGV��0HWDOOXUJLD��0RVNRZ��������>LQ�5XVVLDQ@�
� ���<RQJ�1LDQ� ;X�� :�<�&KLQJ�� 3K\V��5HY��� ���
�������������
� ���$�9�5]KDQRY�� .�.�6YLWDVKHY�� $�,�6HPHQHQNR
HW�DO���3ULQFLSOHV�RI�(OOLSVRPHWU\��1DXND��1R�
YRVLELUVN��������>LQ�5XVVLDQ@�
� ���0�9�%HORXV�� <X�9�.XGU\DYWVHY�� <X�1�0DNR�
JRQ� HW� DO��� )L]�� 0HWDO��0HWDOORYHG��� ���� ��
��������
� ���1�0RWW��(�'HYLV��(OHFWURQLF�3URFHVVHV�LQ�1RQ�
FU\VWDOOLQH�6XEVWDQFHV��&ODUHGRQ�3UHVV��1HZ�<RUN
�������
����3�6�.LVOL\�� 6�$�$UWHP\XN�� %�$�$WDPDQHQNR
HW� DO��� 6YHUNKWYHUG\H� 0DWHULDO\�� 1R���� ��
��������
����&�6HQHPDXG��0�'ULVV�.KRGMD��$�*KHRUJKLX�HW
DO���-��$SSO��3K\V�������������������
����<X�1�9ROJLQ�� *�3�'XEURYVN\�� $�0�=\NRY�
)L]��7HNKQ��3ROXSURY��������������������
����+�.XUDWD�� 0�+LURVH�� <�2VDND�� -DS��-��$SSO�
3K\V�������/�����������
����/�0DUWLQ�0RUHQR�� (�0DUWLQH]�� -�$�9HUJHV�
)�<QGXUDLQ��3K\V��5HY��%������������������
����%�$�$WDPDQHQNR�� LQ� ERRN�� 6XSHUKDUG� DQG
&RPSRVLWH� 0DWHULDOV�� &RDWLQJV�� DQG� $SSOLFD�
WLRQV� 7KHUHRI�� &ROO��RI� 6FL��:RUNV�� ,QVWLWXWH
IRU�6XSHUKDUG�0DWHULDOV�RI�1$68��.LHY�������
>LQ�5XVVLDQ@�
����3K�-�5RXVVHO�� -�9DQKHOOHPRQW�� +�(�0DHV�
7KLQ�6ROLG�)LOPV������������������
����=�<LQ�� )�:�6PLWK�� 3K\V��5HY��%�� ���� ����
�������
����=�<LQ�� )�:�6PLWK�� 3K\V��5HY��%�� ���� ����
�������
pãL¹°ºäË�¯Ò�ÓË��º°ãL�ÎËÓÓ«�}˯ÈäL}Ò�E�6L�1��Ï��ºäL�}ÈäÒ�0R��È�$O
{�l��¯º}º¹Ë� ��,�k�bÈ®}ËmÒ�����{�cº�¯
lË�º�ºä�°¹Ë}�¯ºËãL¹°ºäË�¯L���º°ãL�ÎËÓº�}˯ÈäL�ÓL� ϯÈÏ}Ò�6L�1�� Ï��ºäL�}ÈäÒ�0R� �
$O��{Òm�ËÓº�m¹ãÒm��ºäL�º}�ÓÈ�º¹�Ò�ÓL�mãȰ�Òmº°�L�}˯ÈäL}Ò��~È�Ïm�ÎËÓÓ«�ÏȺ¯ºÓËÓº�
ϺÓÒ�mL�¹ºmL�È
� � ãº}Èã ÓL��ËÁË}�Ò�}¯Ò°�ÈãL�Óº�� °�¯�}��¯Ò�6L�1���zLã }L°� � º}°ÒÓL��¯Ò���}¯ËäÓL
����º°ãL�ÎËÓÒ²�ϯÈÏ}Ȳ�º�LÓËÓº�Ï�ÏȰ�º°�mÈÓÓ«ä�ÓÈãÒÎËÓÓ«�ËÁË}�ÒmÓº�º
°Ë¯Ë�ºmÒ�È�ÏÈ�r¯
��ËäÈÓºä�
9�0�3URNRSHWV��HW�DO����(OOLSVRPHWULF�LQYHVWLJDWLRQ�RI���
��� )XQFWLRQDO�PDWHULDOV�������������
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-137699 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1027-5495 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T16:38:53Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Prokopets', V.M. Shaykevich, I.A. Robur, L.Y. 2018-06-17T15:12:36Z 2018-06-17T15:12:36Z 2005 Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives / V.M. Prokopets', I.A. Shaykevich, L.Y. Robur // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 2. — С. 371-374. — Бібліогр.: 18 назв. — англ. 1027-5495 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137699 Ceramic Si₃N₄ samples with Мо and AI admixtures have been investigated by spectroellipsometry. The influence of admixtures on the ceramics optical properties have been studied. The local defects of Si₃N₄ crystal structure are responsible for the band gap reduction. The silicone oxynitride amount in the studied samples has been estimated numerically by Bruggeman effective medium approximation. Методом спектроэллипсометрии исследованы керамические образцы Si₃N₄ с добавками Мо и AI. Изучено влияние добавок на оптические свойства керамики. 3а сужение запрещенной зоны ответственны локальные дефекты кристаллической структуры Si₃N₄. Количество оксинитрида кремния в исследованных образцах численно оценено с применением приближения эффективной среды по Брюггеману. Методом спектроелiпсометрiї дослiджено керамiчнi зразки Si₃N₄ з домiшками Мо i AI. Вивчено вплив домiшок на оптичнi властивостi керамiки. 3а звуження забороненої зони вiдповiдають локальнi дефекти кристалiчної структури Si₃N₄. Кiлькiсть оксинiтриду кремнiю у дослiджених зразках оцiнено з застосуванням наближення ефективного середовища за Брюггеманом. en НТК «Інститут монокристалів» НАН України Functional Materials Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives Еліпсометричне дослідження кераміки β-Si₃N₄ з домішками Мо та АІ Article published earlier |
| spellingShingle | Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives Prokopets', V.M. Shaykevich, I.A. Robur, L.Y. |
| title | Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives |
| title_alt | Еліпсометричне дослідження кераміки β-Si₃N₄ з домішками Мо та АІ |
| title_full | Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives |
| title_fullStr | Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives |
| title_full_unstemmed | Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives |
| title_short | Ellipsometric investigation of β-Si₃N₄ ceramics with Mo and Al additives |
| title_sort | ellipsometric investigation of β-si₃n₄ ceramics with mo and al additives |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137699 |
| work_keys_str_mv | AT prokopetsvm ellipsometricinvestigationofβsi3n4ceramicswithmoandaladditives AT shaykevichia ellipsometricinvestigationofβsi3n4ceramicswithmoandaladditives AT roburly ellipsometricinvestigationofβsi3n4ceramicswithmoandaladditives AT prokopetsvm elípsometričnedoslídžennâkeramíkiβsi3n4zdomíškamimotaaí AT shaykevichia elípsometričnedoslídžennâkeramíkiβsi3n4zdomíškamimotaaí AT roburly elípsometričnedoslídžennâkeramíkiβsi3n4zdomíškamimotaaí |