Surface morphology and structure of nanocrystalline diamond films deposited in CH₄/H₂/Ar glow discharge plasma
Diamond films of up to 12 μm thickness have been deposited onto single crystal silicon substrates by CVD method in CH₄/H₂/Ar glow discharge plasma stabilized by magnetic field. X-ray diffraction analysis and atomic force microscopy have shown the films consist of about 1 μm in diameter conglomerates...
Saved in:
| Published in: | Functional Materials |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137726 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Surface morphology and structure of nanocrystalline diamond films deposited in CH₄/H₂/Ar glow discharge plasma // I.I. Vyrovets, V.I. Gritsyna, S.F. Dudnik, O.A. Opalev, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel'nitskiy // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 2. — С. 155-160. — Бібліогр.: 13 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-137726 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Vyrovets, I.I. Gritsyna, V.I. Dudnik, S.F. Opalev, O.A. Reshetnyak, E.N. Strel'nitskiy, V.E. 2018-06-17T15:40:57Z 2018-06-17T15:40:57Z 2009 Surface morphology and structure of nanocrystalline diamond films deposited in CH₄/H₂/Ar glow discharge plasma // I.I. Vyrovets, V.I. Gritsyna, S.F. Dudnik, O.A. Opalev, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel'nitskiy // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 2. — С. 155-160. — Бібліогр.: 13 назв. — англ. 1027-5495 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137726 Diamond films of up to 12 μm thickness have been deposited onto single crystal silicon substrates by CVD method in CH₄/H₂/Ar glow discharge plasma stabilized by magnetic field. X-ray diffraction analysis and atomic force microscopy have shown the films consist of about 1 μm in diameter conglomerates of 30-40 nm average size diamond nanocrystals. The conglomerate size increases by a factor of 2 as the film thickness grows from 1.7 up to 11.7 μm. At the same time, the nanocrystallite size remains essentially unchanged. In the diamond films, texture, compressive residual stresses and high concentration of crystal structure defects have been revealed. Алмазні плівки товщиною до 12 мкм отримано на підкладках з монокристалічного кремнію методом газофазного осадження у CH₄/H₂/Ar плазмі тліючого розряду, стабілізованого магнітним полем. Методами рентгеноструктурного аналізу та атомно-силової мікроскопії встановлено, що плівки складаються з конгломератів діаметром - 1 мкм, утворених нанокристалами алмазу із середнім розміром 30-40 нм. 3 ростом товщини плівки від 1,7 до 11,7 мкм розмір конгломератів збільшується у 2 рази. При цьому розмір нанокристалів практично не змінюється. У плівках виявлено текстуру, залишкові напруження стиску та високий вміст дефектів кристалічної структури. Алмазные пленки толщиной до 12 мкм получены на подложках из монокристаллического кремния методом газофазного осаждения в CH₄/H₂/Ar плазме тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем. Методами рентгеноструктурного анализа и атомно-силовой микроскопии установлено, что пленки состоят из конгломератов диаметром -1 мкм, образованных нанокристаллами алмаза со средним размером 30-40 нм. С ростом толщины rтенки от 1,7 до 11,7 мкм размер конгломератов увеличивается в 2 раза. При этом размер нанокристаллов практически не меняется. В пленках выявлены текстура, остаточные напряжения сжатия и высокое содержание дефектов кристаллического строения. en НТК «Інститут монокристалів» НАН України Functional Materials Characterization and properties Surface morphology and structure of nanocrystalline diamond films deposited in CH₄/H₂/Ar glow discharge plasma Морфологія поверхні та структура нанокристалічних алмазних плівок, отриманих у CH₄/H₂/Ar плазмі тліючого розряду Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Surface morphology and structure of nanocrystalline diamond films deposited in CH₄/H₂/Ar glow discharge plasma |
| spellingShingle |
Surface morphology and structure of nanocrystalline diamond films deposited in CH₄/H₂/Ar glow discharge plasma Vyrovets, I.I. Gritsyna, V.I. Dudnik, S.F. Opalev, O.A. Reshetnyak, E.N. Strel'nitskiy, V.E. Characterization and properties |
| title_short |
Surface morphology and structure of nanocrystalline diamond films deposited in CH₄/H₂/Ar glow discharge plasma |
| title_full |
Surface morphology and structure of nanocrystalline diamond films deposited in CH₄/H₂/Ar glow discharge plasma |
| title_fullStr |
Surface morphology and structure of nanocrystalline diamond films deposited in CH₄/H₂/Ar glow discharge plasma |
| title_full_unstemmed |
Surface morphology and structure of nanocrystalline diamond films deposited in CH₄/H₂/Ar glow discharge plasma |
| title_sort |
surface morphology and structure of nanocrystalline diamond films deposited in ch₄/h₂/ar glow discharge plasma |
| author |
Vyrovets, I.I. Gritsyna, V.I. Dudnik, S.F. Opalev, O.A. Reshetnyak, E.N. Strel'nitskiy, V.E. |
| author_facet |
Vyrovets, I.I. Gritsyna, V.I. Dudnik, S.F. Opalev, O.A. Reshetnyak, E.N. Strel'nitskiy, V.E. |
| topic |
Characterization and properties |
| topic_facet |
Characterization and properties |
| publishDate |
2009 |
| language |
English |
| container_title |
Functional Materials |
| publisher |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Морфологія поверхні та структура нанокристалічних алмазних плівок, отриманих у CH₄/H₂/Ar плазмі тліючого розряду |
| description |
Diamond films of up to 12 μm thickness have been deposited onto single crystal silicon substrates by CVD method in CH₄/H₂/Ar glow discharge plasma stabilized by magnetic field. X-ray diffraction analysis and atomic force microscopy have shown the films consist of about 1 μm in diameter conglomerates of 30-40 nm average size diamond nanocrystals. The conglomerate size increases by a factor of 2 as the film thickness grows from 1.7 up to 11.7 μm. At the same time, the nanocrystallite size remains essentially unchanged. In the diamond films, texture, compressive residual stresses and high concentration of crystal structure defects have been revealed.
Алмазні плівки товщиною до 12 мкм отримано на підкладках з монокристалічного кремнію методом газофазного осадження у CH₄/H₂/Ar плазмі тліючого розряду, стабілізованого магнітним полем. Методами рентгеноструктурного аналізу та атомно-силової мікроскопії встановлено, що плівки складаються з конгломератів діаметром - 1 мкм, утворених нанокристалами алмазу із середнім розміром 30-40 нм. 3 ростом товщини плівки від 1,7 до 11,7 мкм розмір конгломератів збільшується у 2 рази. При цьому розмір нанокристалів практично не змінюється. У плівках виявлено текстуру, залишкові напруження стиску та високий вміст дефектів кристалічної структури.
Алмазные пленки толщиной до 12 мкм получены на подложках из монокристаллического кремния методом газофазного осаждения в CH₄/H₂/Ar плазме тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем. Методами рентгеноструктурного анализа и атомно-силовой микроскопии установлено, что пленки состоят из конгломератов диаметром -1 мкм, образованных нанокристаллами алмаза со средним размером 30-40 нм. С ростом толщины rтенки от 1,7 до 11,7 мкм размер конгломератов увеличивается в 2 раза. При этом размер нанокристаллов практически не меняется. В пленках выявлены текстура, остаточные напряжения сжатия и высокое содержание дефектов кристаллического строения.
|
| issn |
1027-5495 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137726 |
| citation_txt |
Surface morphology and structure of nanocrystalline diamond films deposited in CH₄/H₂/Ar glow discharge plasma // I.I. Vyrovets, V.I. Gritsyna, S.F. Dudnik, O.A. Opalev, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel'nitskiy // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 2. — С. 155-160. — Бібліогр.: 13 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT vyrovetsii surfacemorphologyandstructureofnanocrystallinediamondfilmsdepositedinch4h2arglowdischargeplasma AT gritsynavi surfacemorphologyandstructureofnanocrystallinediamondfilmsdepositedinch4h2arglowdischargeplasma AT dudniksf surfacemorphologyandstructureofnanocrystallinediamondfilmsdepositedinch4h2arglowdischargeplasma AT opalevoa surfacemorphologyandstructureofnanocrystallinediamondfilmsdepositedinch4h2arglowdischargeplasma AT reshetnyaken surfacemorphologyandstructureofnanocrystallinediamondfilmsdepositedinch4h2arglowdischargeplasma AT strelnitskiyve surfacemorphologyandstructureofnanocrystallinediamondfilmsdepositedinch4h2arglowdischargeplasma AT vyrovetsii morfologíâpoverhnítastrukturananokristalíčnihalmaznihplívokotrimanihuch4h2arplazmítlíûčogorozrâdu AT gritsynavi morfologíâpoverhnítastrukturananokristalíčnihalmaznihplívokotrimanihuch4h2arplazmítlíûčogorozrâdu AT dudniksf morfologíâpoverhnítastrukturananokristalíčnihalmaznihplívokotrimanihuch4h2arplazmítlíûčogorozrâdu AT opalevoa morfologíâpoverhnítastrukturananokristalíčnihalmaznihplívokotrimanihuch4h2arplazmítlíûčogorozrâdu AT reshetnyaken morfologíâpoverhnítastrukturananokristalíčnihalmaznihplívokotrimanihuch4h2arplazmítlíûčogorozrâdu AT strelnitskiyve morfologíâpoverhnítastrukturananokristalíčnihalmaznihplívokotrimanihuch4h2arplazmítlíûčogorozrâdu |
| first_indexed |
2025-11-27T22:39:09Z |
| last_indexed |
2025-11-27T22:39:09Z |
| _version_ |
1850852929697742848 |