Зображення обкладинки

Surface morphology and structure of nanocrystalline diamond films deposited in CH₄/H₂/Ar glow discharge plasma

Diamond films of up to 12 μm thickness have been deposited onto single crystal silicon substrates by CVD method in CH₄/H₂/Ar glow discharge plasma stabilized by magnetic field. X-ray diffraction analysis and atomic force microscopy have shown the films consist of about 1 μm in diameter conglomerates...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Functional Materials
Дата:	2009
Автори:	Vyrovets, I.I., Gritsyna, V.I., Dudnik, S.F., Opalev, O.A., Reshetnyak, E.N., Strel'nitskiy, V.E.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2009
Теми:	Characterization and properties
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137726
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Surface morphology and structure of nanocrystalline diamond films deposited in CH₄/H₂/Ar glow discharge plasma // I.I. Vyrovets, V.I. Gritsyna, S.F. Dudnik, O.A. Opalev, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel'nitskiy // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 2. — С. 155-160. — Бібліогр.: 13 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Dc glow discharge for synthesis diamond films with high growth rate
за авторством: Gritsyna, V.I., та інші
Опубліковано: (2019)

Nanocrystalline diamond CVD films: structure, properties and application prospects
за авторством: I. I. Vyrovets, та інші
Опубліковано: (2010)

Using micro- and nanodispersive diamonds for deposition of polycrystalline diamond films in glow discharge
за авторством: I. I. Vyrovets, та інші
Опубліковано: (2007)

Application of pulse power supply for diamond coatings deposition in glow discharge plasma
за авторством: Koshevoy, K.I., та інші
Опубліковано: (2019)

Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply
за авторством: Koshevoy, K.I., та інші
Опубліковано: (2021)

Coupling effects of CH4/H2/Ar gas ratios and hot filament-substrate distance on the growth of nanocrystalline diamond
за авторством: B. Deng, та інші
Опубліковано: (2020)

The effect of the composition of the gas phase and glow discharge current on the growth kinetics of nitrogen-doped nanostructured diamond pores
за авторством: V. I. Gritsyna, та інші
Опубліковано: (2012)

Optimization of diamond-like carbon coatings for mechanical and tribological applications. Review
за авторством: Reshetnyak, E.N., та інші
Опубліковано: (2023)

Desorption of excited H* atoms from free clusters Ar/CH4 and solid Ar doped with CH4
за авторством: Yu. S. Doronin, та інші
Опубліковано: (2021)

Growth rate of diamond-like coatings synthesized in RF discharge at various ratios of the concentrations of Ar and C₆H₆
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2021)

Emission Characteristics of Nitrogen-Doped Nanostructure Diamond Coating Synthesized in Glow Discharge Plasma
за авторством: S. F. Dudnik, та інші
Опубліковано: (2015)

Preparation of high-quality diamond coatings by the methods of activated gas-phase deposition
за авторством: V. I. Gritsyna, та інші
Опубліковано: (2013)

Influence of the composition of the gas phase in the synthesis of nanostructured diamond coatings on their resistivity
за авторством: V. I. Gritsyna, та інші
Опубліковано: (2013)

Special features of the heat capacity of detonation nanocrystalline diamond
за авторством: O. O. Vasiliev, та інші
Опубліковано: (2015)

Model of thermal conductivity of anisotropic nanodiamond
за авторством: Dudnik, S.F., та інші
Опубліковано: (2014)

Deposition of diamond coatings using glov discharge stabilized by magnetic field
за авторством: V. K. Pashnev, та інші
Опубліковано: (2003)

Radiation-acoustic effects at diamond-like coating deposition from the flow of hydrocarbon ions and their influence on kinetic processes
за авторством: Kalinichenko, O.I., та інші
Опубліковано: (2023)

Fabrication and properties of conducting diamond nano-crystalline coatings
за авторством: S. F. Dudnik, та інші
Опубліковано: (2014)

Development and study of characteristics of stripped detectors on the basis of CVD-diamond
за авторством: Kutny, V.E., та інші
Опубліковано: (2016)

Synthesis of Ti-Si and Ti-Si-N coatings by condensation of filtered vacuum-arc plasma
за авторством: Aksyonov, D.S., та інші
Опубліковано: (2009)

Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter
за авторством: Aksyonov, D.S., та інші
Опубліковано: (2011)

Composition adjustment of vacuum-arc Ti-Al-N films, deposited with use of two-channel filter
за авторством: Aksyonov, D.S., та інші
Опубліковано: (2011)

Nanocrystalline silicon carbide films for solar cells
за авторством: Vlaskina, S.I., та інші
Опубліковано: (2016)

Effect of time parameters of pulsed bias potential on intrinsic stress in TiN coating deposited from inclined ion beam
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2018)

Photoluminescent films of nanocrystalline silicon doped with metals
за авторством: Kaganovich, E.B., та інші
Опубліковано: (2002)

Axial structure of DC glow discharge negative glow in nitrogen
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Interface electronic properties of eterojunctions based on nanocrystalline silicon
за авторством: Kaganovich, E.B., та інші
Опубліковано: (1999)

Incorporation of aluminium into –CH2CH2–/–CH=CH–PMOs
за авторством: J. T.A. Jones, та інші
Опубліковано: (2018)

Thermoactivation spectroscopy of solid Ar doped with N₂
за авторством: Ponomaryov, A.N., та інші
Опубліковано: (2007)

Kinetics of Ar2+, Ar2* and Ar* in volume barrier discharge in argon
за авторством: Tsiolko, V.V., та інші
Опубліковано: (2010)

Fast-growing sunspot groups AR1618, AR1619, AR1620, AR1640 and their features
за авторством: Yu. A. Fursiak
Опубліковано: (2013)

Fast-growing sunspot groups AR1618, AR1619, AR1620, AR1640 and their features
за авторством: Fursiak, Yu.A.
Опубліковано: (2013)

Synthesis and physicochemical properties of ceramics from nanocrystalline zirconium dioxide powder
за авторством: A. V. Shevchenko, та інші
Опубліковано: (2011)

Dissipative structure in the glow discharge
за авторством: Ponomaryov, O.P., та інші
Опубліковано: (2008)

Radiation resistance of Ti—20Zr alloy in microcrystalline and nanocrystalline state
за авторством: Belous, V.A., та інші
Опубліковано: (2013)

Investigation of the abrasive durability of the multilayer diamond-like coatings for the ring-shaped dry gaseous seals made of SiC
за авторством: Vasyliev, V.V., та інші
Опубліковано: (2019)

Unusual morphology of equimolar Ar–Kr alloys
за авторством: V. V. Danchuk, та інші
Опубліковано: (2015)

Unusual morphology of equimolar Ar–Kr alloys
за авторством: Danchuk, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Oxygen-driven relaxation processes in pre-irradiated Ar cryocrystals
за авторством: Savchenko, E.V., та інші
Опубліковано: (2006)

Nanocrystalline zinc and cadmium tungstates: morphology, luminescent and scintillation properties
за авторством: Yakubovskaya, A.G., та інші
Опубліковано: (2011)