Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing
A Zr/Mg periodic multilayer was deposited onto silicon substrate by DC magnetron sputtering. Study of the Zr/Mg multilayer structure in an initial state and after thermal annealing in a temperature range of 100...600 °C was made by the X-ray diffraction and cross-section transmission electron micros...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2018 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137877 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing / L.E. Konotopsky, I.A. Kopilets, S.M. Kosmachev, V.V. Kondratenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 39-42. — Бібліогр.: 19 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-137877 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Konotopsky, L.E. Kopilets, I.A. Kosmachev, S.M. Kondratenko, V.V. 2018-06-17T17:43:50Z 2018-06-17T17:43:50Z 2018 Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing / L.E. Konotopsky, I.A. Kopilets, S.M. Kosmachev, V.V. Kondratenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 39-42. — Бібліогр.: 19 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 07.85.FV, 61.05.CM, 61.05.CF, 68.65.AC https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137877 A Zr/Mg periodic multilayer was deposited onto silicon substrate by DC magnetron sputtering. Study of the Zr/Mg multilayer structure in an initial state and after thermal annealing in a temperature range of 100...600 °C was made by the X-ray diffraction and cross-section transmission electron microscopy methods. It was shown that Zr/Mg multilayers are stable up to 400 °C. Further heating to 500 °C leads to decreasing of the number of the operable periods due to the zirconium and magnesium layers interaction with the silicon substrate. Annealing at 550 °C leads to multilayer periodicity destructing. Рентгенографічними і електронно-мікроскопічними методами досліджено багатошарове рентгенівське дзеркало (БПК) Zr/Mg у вихідному стані та після відпалу (100…600 °С). БПК Zr/Mg на кремнієвій підкладці було виготовлено методом прямоточного магнетронного розпилення. Показано, що структура рентгенівського дзеркала зберігається незмінною при відпалі до 400 °С. Подальший нагрів до 500 °С супроводжується зниженням числа робочих періодів за рахунок взаємодії шарів цирконію і магнію з кремнієвої підкладкою. Відпал при 550 °C призводить до руйнування періодичної структури в БПК. Рентгенографическими и электронно-микроскопическими методами исследовано многослойное рентгеновское зеркало (МРЗ) Zr/Mg в исходном состоянии и после отжига (100…600 °С). МРЗ Zr/Mg на кремниевой подложке было изготовлено методом прямоточного магнетронного распыления. Показано, что структура рентгеновского зеркала сохраняется неизменной при отжиге вплоть до 400 °С. Дальнейший нагрев до 500 °С сопровождается снижением числа рабочих периодов за счет взаимодействия слоев циркония и магния с кремниевой подложкой. Отжиг при 550 °C приводит к разрушению периодической структуры в МРЗ. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Чистые материалы и вакуумные технологии Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing Структурно-фазові перетворення у багатошарових рентгенівських дзеркалах Zr/Mg на кремнієвій підкладці Структурно-фазовые превращения в многослойных рентгеновских зеркалах Zr/Mg на кремниевой подложке при отжиге Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing |
| spellingShingle |
Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing Konotopsky, L.E. Kopilets, I.A. Kosmachev, S.M. Kondratenko, V.V. Чистые материалы и вакуумные технологии |
| title_short |
Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing |
| title_full |
Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing |
| title_fullStr |
Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing |
| title_full_unstemmed |
Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing |
| title_sort |
structural transformation in zr/mg multilayer on si substrate after annealing |
| author |
Konotopsky, L.E. Kopilets, I.A. Kosmachev, S.M. Kondratenko, V.V. |
| author_facet |
Konotopsky, L.E. Kopilets, I.A. Kosmachev, S.M. Kondratenko, V.V. |
| topic |
Чистые материалы и вакуумные технологии |
| topic_facet |
Чистые материалы и вакуумные технологии |
| publishDate |
2018 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Структурно-фазові перетворення у багатошарових рентгенівських дзеркалах Zr/Mg на кремнієвій підкладці Структурно-фазовые превращения в многослойных рентгеновских зеркалах Zr/Mg на кремниевой подложке при отжиге |
| description |
A Zr/Mg periodic multilayer was deposited onto silicon substrate by DC magnetron sputtering. Study of the Zr/Mg multilayer structure in an initial state and after thermal annealing in a temperature range of 100...600 °C was made by the X-ray diffraction and cross-section transmission electron microscopy methods. It was shown that Zr/Mg multilayers are stable up to 400 °C. Further heating to 500 °C leads to decreasing of the number of the operable periods due to the zirconium and magnesium layers interaction with the silicon substrate. Annealing at 550 °C leads to multilayer periodicity destructing.
Рентгенографічними і електронно-мікроскопічними методами досліджено багатошарове рентгенівське дзеркало (БПК) Zr/Mg у вихідному стані та після відпалу (100…600 °С). БПК Zr/Mg на кремнієвій підкладці було виготовлено методом прямоточного магнетронного розпилення. Показано, що структура рентгенівського дзеркала зберігається незмінною при відпалі до 400 °С. Подальший нагрів до 500 °С супроводжується зниженням числа робочих періодів за рахунок взаємодії шарів цирконію і магнію з кремнієвої підкладкою. Відпал при 550 °C призводить до руйнування періодичної структури в БПК.
Рентгенографическими и электронно-микроскопическими методами исследовано многослойное рентгеновское зеркало (МРЗ) Zr/Mg в исходном состоянии и после отжига (100…600 °С). МРЗ Zr/Mg на кремниевой подложке было изготовлено методом прямоточного магнетронного распыления. Показано, что структура рентгеновского зеркала сохраняется неизменной при отжиге вплоть до 400 °С. Дальнейший нагрев до 500 °С сопровождается снижением числа рабочих периодов за счет взаимодействия слоев циркония и магния с кремниевой подложкой. Отжиг при 550 °C приводит к разрушению периодической структуры в МРЗ.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137877 |
| citation_txt |
Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing / L.E. Konotopsky, I.A. Kopilets, S.M. Kosmachev, V.V. Kondratenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 39-42. — Бібліогр.: 19 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT konotopskyle structuraltransformationinzrmgmultilayeronsisubstrateafterannealing AT kopiletsia structuraltransformationinzrmgmultilayeronsisubstrateafterannealing AT kosmachevsm structuraltransformationinzrmgmultilayeronsisubstrateafterannealing AT kondratenkovv structuraltransformationinzrmgmultilayeronsisubstrateafterannealing AT konotopskyle strukturnofazovíperetvorennâubagatošarovihrentgenívsʹkihdzerkalahzrmgnakremníêvíipídkladcí AT kopiletsia strukturnofazovíperetvorennâubagatošarovihrentgenívsʹkihdzerkalahzrmgnakremníêvíipídkladcí AT kosmachevsm strukturnofazovíperetvorennâubagatošarovihrentgenívsʹkihdzerkalahzrmgnakremníêvíipídkladcí AT kondratenkovv strukturnofazovíperetvorennâubagatošarovihrentgenívsʹkihdzerkalahzrmgnakremníêvíipídkladcí AT konotopskyle strukturnofazovyeprevraŝeniâvmnogosloinyhrentgenovskihzerkalahzrmgnakremnievoipodložkepriotžige AT kopiletsia strukturnofazovyeprevraŝeniâvmnogosloinyhrentgenovskihzerkalahzrmgnakremnievoipodložkepriotžige AT kosmachevsm strukturnofazovyeprevraŝeniâvmnogosloinyhrentgenovskihzerkalahzrmgnakremnievoipodložkepriotžige AT kondratenkovv strukturnofazovyeprevraŝeniâvmnogosloinyhrentgenovskihzerkalahzrmgnakremnievoipodložkepriotžige |
| first_indexed |
2025-12-07T20:42:58Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:42:58Z |
| _version_ |
1850883628222906368 |