Полирование прецизионных поверхностей сапфировых элементов оптоэлектроники

• Published in: Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения
• Date: 2015
• Main Authors: Филатов, Ю.Д., Сидорко, В.И., Прихна, Т.А., Филатов, А.Ю., Ковалев, С.В., Боримский, А.И., Панова, А.Н., Кулич, В.Г., Ветров, А.Г., Данильченко, Я.Л., Сильченко, М.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2015
• Subjects: Разработка и внедрение оборудования и инструмента, оснащенного твердыми сплавами, в различных отраслях промышленности
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137918
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Полирование прецизионных поверхностей сапфировых элементов оптоэлектроники / Ю. Д. Филатов, В. И. Сидорко, Т. А. Прихна, А. Ю. Филатов, С. В. Ковалев, А. И. Боримский, А. Н. Панова, В. Г. Кулич, А. Г. Ветров, Я. Л., Данильченко М. А. Сильченко // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2015. — Вип. 18. — С. 472-477. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

В результате исследования закономерностей полирования монокристаллического сапфира обоснована целесообразность последовательного применении водных полировальных суспензий из порошков МАХ-фазы ТІ₃АІС₂ и кубического нитрида бора, а также коллоидных систем из наночастиц полировальных порошков. У резуль...