Photoluminescence and electrophysical properties of p-type ZnO layers implanted with V Group elements

Ion implantation of arsenic and nitrogen into zinc oxide film (As and N being acceptor impurities in ZnO) has been shown to result in formation of the hole conductivity only if the film is annealed in the presence of oxygen radicals. The ion implantation and sub- sequent anneal influence no...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Functional Materials
Datum:2005
Hauptverfasser: Kotlyarevsky, M.B., Rogozin, I.V., Marakhovsky, O.V.
Format: Artikel
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2005
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/138871
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Photoluminescence and electrophysical properties of p-type ZnO layers implanted with V Group elements / M.B. Kotlyarevsky, I.V. Rogozin, O.V. Marakhovsky // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 4. — С. 616-621. — Бібліогр.: 19 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862710957935951872
author Kotlyarevsky, M.B.
Rogozin, I.V.
Marakhovsky, O.V.
author_facet Kotlyarevsky, M.B.
Rogozin, I.V.
Marakhovsky, O.V.
citation_txt Photoluminescence and electrophysical properties of p-type ZnO layers implanted with V Group elements / M.B. Kotlyarevsky, I.V. Rogozin, O.V. Marakhovsky // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 4. — С. 616-621. — Бібліогр.: 19 назв. — англ.
collection DSpace DC
container_title Functional Materials
description Ion implantation of arsenic and nitrogen into zinc oxide film (As and N being acceptor impurities in ZnO) has been shown to result in formation of the hole conductivity only if the film is annealed in the presence of oxygen radicals. The ion implantation and sub- sequent anneal influence not only the electric properties but also the photoluminescence spectra of ZnO:Ga:As⁺ (ZnO:Ga:N⁺) layers. The luminescence bands due to As and N introduction appear in the UV and visible spectral regions. Показано, що iонна iмплантацiя миш'яку (азоту) у плiвку оксиду Цинку (As i N як акцепторна домiшка у ZnO) може приводити до формування дiркового типу провiдностi тiльки у випадку вiдпалу в атмосферi радикалiв кисню. Iонна iмплантацiя i наступний вiдпал впливають не тiльки на електричнi властивостi шарiв :Ga:As⁺ ZnO (ZnO:Ga:N⁺), але й на iхнi спектри фотолюмiнесценцii. Смуги люмiнесценцii, що викликанi впровадженням As i N, спостерiгаються в ультрафiолетовiй i видимiй областях спектра. Показано, что ионная имплантация мышьяка (азота) в пленку оксида Цинка (As и N как акцепторная примесь в ZnO) может приводить к формированию дырочного типа проводимости только в случае отжига в атмосфере радикалов кислорода. Ионная имплантация и последующий отжиг влияют не только на электрические свойства слоев ZnO:Ga:As⁺ (ZnO:Ga:N⁺), но и на их спектры фотолюминесценции. Полосы люминесценции, которые вызваны внедрением As и N, наблюдаются в ультрафиолетовой и видимой областях спектра.
first_indexed 2025-12-07T17:27:46Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-138871
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1027-5495
language English
last_indexed 2025-12-07T17:27:46Z
publishDate 2005
publisher НТК «Інститут монокристалів» НАН України
record_format dspace
spelling Kotlyarevsky, M.B.
Rogozin, I.V.
Marakhovsky, O.V.
2018-06-19T16:30:38Z
2018-06-19T16:30:38Z
2005
Photoluminescence and electrophysical properties of p-type ZnO layers implanted with V Group elements / M.B. Kotlyarevsky, I.V. Rogozin, O.V. Marakhovsky // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 4. — С. 616-621. — Бібліогр.: 19 назв. — англ.
1027-5495
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/138871
Ion implantation of arsenic and nitrogen into zinc oxide film (As and N being acceptor impurities in ZnO) has been shown to result in formation of the hole conductivity only if the film is annealed in the presence of oxygen radicals. The ion implantation and sub- sequent anneal influence not only the electric properties but also the photoluminescence spectra of ZnO:Ga:As⁺ (ZnO:Ga:N⁺) layers. The luminescence bands due to As and N introduction appear in the UV and visible spectral regions.
Показано, що iонна iмплантацiя миш'яку (азоту) у плiвку оксиду Цинку (As i N як акцепторна домiшка у ZnO) може приводити до формування дiркового типу провiдностi тiльки у випадку вiдпалу в атмосферi радикалiв кисню. Iонна iмплантацiя i наступний вiдпал впливають не тiльки на електричнi властивостi шарiв :Ga:As⁺ ZnO (ZnO:Ga:N⁺), але й на iхнi спектри фотолюмiнесценцii. Смуги люмiнесценцii, що викликанi впровадженням As i N, спостерiгаються в ультрафiолетовiй i видимiй областях спектра.
Показано, что ионная имплантация мышьяка (азота) в пленку оксида Цинка (As и N как акцепторная примесь в ZnO) может приводить к формированию дырочного типа проводимости только в случае отжига в атмосфере радикалов кислорода. Ионная имплантация и последующий отжиг влияют не только на электрические свойства слоев ZnO:Ga:As⁺ (ZnO:Ga:N⁺), но и на их спектры фотолюминесценции. Полосы люминесценции, которые вызваны внедрением As и N, наблюдаются в ультрафиолетовой и видимой областях спектра.
en
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
Functional Materials
Photoluminescence and electrophysical properties of p-type ZnO layers implanted with V Group elements
Фотолюмінесцентні та електрофізичні властивості шарів ZnO p-типу імплантованих елементами V групи
Article
published earlier
spellingShingle Photoluminescence and electrophysical properties of p-type ZnO layers implanted with V Group elements
Kotlyarevsky, M.B.
Rogozin, I.V.
Marakhovsky, O.V.
title Photoluminescence and electrophysical properties of p-type ZnO layers implanted with V Group elements
title_alt Фотолюмінесцентні та електрофізичні властивості шарів ZnO p-типу імплантованих елементами V групи
title_full Photoluminescence and electrophysical properties of p-type ZnO layers implanted with V Group elements
title_fullStr Photoluminescence and electrophysical properties of p-type ZnO layers implanted with V Group elements
title_full_unstemmed Photoluminescence and electrophysical properties of p-type ZnO layers implanted with V Group elements
title_short Photoluminescence and electrophysical properties of p-type ZnO layers implanted with V Group elements
title_sort photoluminescence and electrophysical properties of p-type zno layers implanted with v group elements
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/138871
work_keys_str_mv AT kotlyarevskymb photoluminescenceandelectrophysicalpropertiesofptypeznolayersimplantedwithvgroupelements
AT rogoziniv photoluminescenceandelectrophysicalpropertiesofptypeznolayersimplantedwithvgroupelements
AT marakhovskyov photoluminescenceandelectrophysicalpropertiesofptypeznolayersimplantedwithvgroupelements
AT kotlyarevskymb fotolûmínescentnítaelektrofízičnívlastivostíšarívznoptipuímplantovanihelementamivgrupi
AT rogoziniv fotolûmínescentnítaelektrofízičnívlastivostíšarívznoptipuímplantovanihelementamivgrupi
AT marakhovskyov fotolûmínescentnítaelektrofízičnívlastivostíšarívznoptipuímplantovanihelementamivgrupi