Multilayer film heterostructures. Silicides
The formation of heterostructures based on nanoscale silicide films in limiting states are exemplified. The nanoscale silicide films of a required phase composition are shown to be obtainable by formation of specific zones, different type interlayers referred to as the diffusion-controlling layers b...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Functional Materials |
|---|---|
| Datum: | 2009 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2009
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/138937 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Multilayer film heterostructures. Silicides // S.I. Sidorenko, Yu.N. Makogon, E.P. Pavlova, S.M. Voloshko // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 445-447. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862531904057638912 |
|---|---|
| author | Sidorenko, S.I. Makogon, Yu.N. Pavlova, E.P. Voloshko, S.M. |
| author_facet | Sidorenko, S.I. Makogon, Yu.N. Pavlova, E.P. Voloshko, S.M. |
| citation_txt | Multilayer film heterostructures. Silicides // S.I. Sidorenko, Yu.N. Makogon, E.P. Pavlova, S.M. Voloshko // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 445-447. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Functional Materials |
| description | The formation of heterostructures based on nanoscale silicide films in limiting states are exemplified. The nanoscale silicide films of a required phase composition are shown to be obtainable by formation of specific zones, different type interlayers referred to as the diffusion-controlling layers between the metal layer and substrate (silicon single crystal).
Подано приклади отримання гетероструктур на основі нанорозмірних силіцидних плівок у граничних станах. Показано, що отримання нанорозмірних силіцидних плівок необхідного фазового складу забезпечується формуванням між шаром металу і підкладкою (монокристалом кремнію) особливих зон, прошарків різного типу - дифузійноконтролюючих шарів.
Показаны примеры получения гетероструктур на основе наноразмерных силицидных пленок в предельных состояниях. Показано, что получение наноразмерных силицидных пленок необходимого фазового состава обеспечивается формированием между слоем металла и подложкой (монокристаллом кремния) особенных зон, прослоек разного типа - диффузионно-контролирующих слоев.
|
| first_indexed | 2025-11-24T04:33:40Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-138937 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1027-5495 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-24T04:33:40Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Sidorenko, S.I. Makogon, Yu.N. Pavlova, E.P. Voloshko, S.M. 2018-06-19T17:29:08Z 2018-06-19T17:29:08Z 2009 Multilayer film heterostructures. Silicides // S.I. Sidorenko, Yu.N. Makogon, E.P. Pavlova, S.M. Voloshko // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 445-447. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1027-5495 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/138937 The formation of heterostructures based on nanoscale silicide films in limiting states are exemplified. The nanoscale silicide films of a required phase composition are shown to be obtainable by formation of specific zones, different type interlayers referred to as the diffusion-controlling layers between the metal layer and substrate (silicon single crystal). Подано приклади отримання гетероструктур на основі нанорозмірних силіцидних плівок у граничних станах. Показано, що отримання нанорозмірних силіцидних плівок необхідного фазового складу забезпечується формуванням між шаром металу і підкладкою (монокристалом кремнію) особливих зон, прошарків різного типу - дифузійноконтролюючих шарів. Показаны примеры получения гетероструктур на основе наноразмерных силицидных пленок в предельных состояниях. Показано, что получение наноразмерных силицидных пленок необходимого фазового состава обеспечивается формированием между слоем металла и подложкой (монокристаллом кремния) особенных зон, прослоек разного типа - диффузионно-контролирующих слоев. en НТК «Інститут монокристалів» НАН України Functional Materials Characterization and properties Multilayer film heterostructures. Silicides Багатошарові плівкові гетероструктури. Силіциди Article published earlier |
| spellingShingle | Multilayer film heterostructures. Silicides Sidorenko, S.I. Makogon, Yu.N. Pavlova, E.P. Voloshko, S.M. Characterization and properties |
| title | Multilayer film heterostructures. Silicides |
| title_alt | Багатошарові плівкові гетероструктури. Силіциди |
| title_full | Multilayer film heterostructures. Silicides |
| title_fullStr | Multilayer film heterostructures. Silicides |
| title_full_unstemmed | Multilayer film heterostructures. Silicides |
| title_short | Multilayer film heterostructures. Silicides |
| title_sort | multilayer film heterostructures. silicides |
| topic | Characterization and properties |
| topic_facet | Characterization and properties |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/138937 |
| work_keys_str_mv | AT sidorenkosi multilayerfilmheterostructuressilicides AT makogonyun multilayerfilmheterostructuressilicides AT pavlovaep multilayerfilmheterostructuressilicides AT voloshkosm multilayerfilmheterostructuressilicides AT sidorenkosi bagatošarovíplívkovígeterostrukturisilícidi AT makogonyun bagatošarovíplívkovígeterostrukturisilícidi AT pavlovaep bagatošarovíplívkovígeterostrukturisilícidi AT voloshkosm bagatošarovíplívkovígeterostrukturisilícidi |