Multilayer film heterostructures. Silicides
The formation of heterostructures based on nanoscale silicide films in limiting states are exemplified. The nanoscale silicide films of a required phase composition are shown to be obtainable by formation of specific zones, different type interlayers referred to as the diffusion-controlling layers b...
Saved in:
| Published in: | Functional Materials |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/138937 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Multilayer film heterostructures. Silicides // S.I. Sidorenko, Yu.N. Makogon, E.P. Pavlova, S.M. Voloshko // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 445-447. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-138937 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Sidorenko, S.I. Makogon, Yu.N. Pavlova, E.P. Voloshko, S.M. 2018-06-19T17:29:08Z 2018-06-19T17:29:08Z 2009 Multilayer film heterostructures. Silicides // S.I. Sidorenko, Yu.N. Makogon, E.P. Pavlova, S.M. Voloshko // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 445-447. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1027-5495 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/138937 The formation of heterostructures based on nanoscale silicide films in limiting states are exemplified. The nanoscale silicide films of a required phase composition are shown to be obtainable by formation of specific zones, different type interlayers referred to as the diffusion-controlling layers between the metal layer and substrate (silicon single crystal). Подано приклади отримання гетероструктур на основі нанорозмірних силіцидних плівок у граничних станах. Показано, що отримання нанорозмірних силіцидних плівок необхідного фазового складу забезпечується формуванням між шаром металу і підкладкою (монокристалом кремнію) особливих зон, прошарків різного типу - дифузійноконтролюючих шарів. Показаны примеры получения гетероструктур на основе наноразмерных силицидных пленок в предельных состояниях. Показано, что получение наноразмерных силицидных пленок необходимого фазового состава обеспечивается формированием между слоем металла и подложкой (монокристаллом кремния) особенных зон, прослоек разного типа - диффузионно-контролирующих слоев. en НТК «Інститут монокристалів» НАН України Functional Materials Characterization and properties Multilayer film heterostructures. Silicides Багатошарові плівкові гетероструктури. Силіциди Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Multilayer film heterostructures. Silicides |
| spellingShingle |
Multilayer film heterostructures. Silicides Sidorenko, S.I. Makogon, Yu.N. Pavlova, E.P. Voloshko, S.M. Characterization and properties |
| title_short |
Multilayer film heterostructures. Silicides |
| title_full |
Multilayer film heterostructures. Silicides |
| title_fullStr |
Multilayer film heterostructures. Silicides |
| title_full_unstemmed |
Multilayer film heterostructures. Silicides |
| title_sort |
multilayer film heterostructures. silicides |
| author |
Sidorenko, S.I. Makogon, Yu.N. Pavlova, E.P. Voloshko, S.M. |
| author_facet |
Sidorenko, S.I. Makogon, Yu.N. Pavlova, E.P. Voloshko, S.M. |
| topic |
Characterization and properties |
| topic_facet |
Characterization and properties |
| publishDate |
2009 |
| language |
English |
| container_title |
Functional Materials |
| publisher |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Багатошарові плівкові гетероструктури. Силіциди |
| description |
The formation of heterostructures based on nanoscale silicide films in limiting states are exemplified. The nanoscale silicide films of a required phase composition are shown to be obtainable by formation of specific zones, different type interlayers referred to as the diffusion-controlling layers between the metal layer and substrate (silicon single crystal).
Подано приклади отримання гетероструктур на основі нанорозмірних силіцидних плівок у граничних станах. Показано, що отримання нанорозмірних силіцидних плівок необхідного фазового складу забезпечується формуванням між шаром металу і підкладкою (монокристалом кремнію) особливих зон, прошарків різного типу - дифузійноконтролюючих шарів.
Показаны примеры получения гетероструктур на основе наноразмерных силицидных пленок в предельных состояниях. Показано, что получение наноразмерных силицидных пленок необходимого фазового состава обеспечивается формированием между слоем металла и подложкой (монокристаллом кремния) особенных зон, прослоек разного типа - диффузионно-контролирующих слоев.
|
| issn |
1027-5495 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/138937 |
| citation_txt |
Multilayer film heterostructures. Silicides // S.I. Sidorenko, Yu.N. Makogon, E.P. Pavlova, S.M. Voloshko // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 445-447. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT sidorenkosi multilayerfilmheterostructuressilicides AT makogonyun multilayerfilmheterostructuressilicides AT pavlovaep multilayerfilmheterostructuressilicides AT voloshkosm multilayerfilmheterostructuressilicides AT sidorenkosi bagatošarovíplívkovígeterostrukturisilícidi AT makogonyun bagatošarovíplívkovígeterostrukturisilícidi AT pavlovaep bagatošarovíplívkovígeterostrukturisilícidi AT voloshkosm bagatošarovíplívkovígeterostrukturisilícidi |
| first_indexed |
2025-11-24T04:33:40Z |
| last_indexed |
2025-11-24T04:33:40Z |
| _version_ |
1850841550845640704 |
| fulltext |
0XOWLOD\HU�ILOP�KHWHURVWUXFWXUHV��6LOLFLGHV
6�,�6LGRUHQNR��<X�1�0DNRJRQ��(�3�3DYORYD��6�0�9RORVKNR
1DWLRQDO�7HFKQLFDO�8QLYHUVLW\�RI�8NUDLQH��.3,���.\LY��8NUDLQH
5HFHLYHG�6HSWHPEHU���������
7KH�IRUPDWLRQ� RI�KHWHURVWUXFWXUHV� EDVHG� RQ�QDQRVFDOH� VLOLFLGH� ILOPV� LQ� OLPLWLQJ�VWDWHV
DUH�H[HPSOLILHG��7KH�QDQRVFDOH�VLOLFLGH�ILOPV�RI�D�UHTXLUHG�SKDVH�FRPSRVLWLRQ�DUH�VKRZQ�WR
EH�REWDLQDEOH�E\�IRUPDWLRQ�RI�VSHFLILF�]RQHV��GLIIHUHQW�W\SH�LQWHUOD\HUV�UHIHUUHG�WR�DV��WKH
GLIIXVLRQ�FRQWUROOLQJ�OD\HUV�EHWZHHQ�WKH�PHWDO�OD\HU�DQG�VXEVWUDWH��VLOLFRQ�VLQJOH�FU\VWDO��
�º}ÈÏÈÓ©� ¹¯Òä˯©� ¹ºã��ËÓÒ«� �Ë�˯º°�¯�}��¯� ÓÈ� º°ÓºmË� ÓÈÓº¯ÈÏä˯ө²� °ÒãÒ�Ò��
Ó©²�¹ãËÓº}�m�¹¯Ë�Ëã Ó©²�°º°�º«ÓÒ«²���º}ÈÏÈÓº����º�¹ºã��ËÓÒË�ÓÈÓº¯ÈÏä˯ө²�°ÒãÒ�
�Ò�Ó©²� ¹ãËÓº}� Ó˺²º�Òäº�º� ÁÈϺmº�º� °º°�ÈmÈ� ºË°¹Ë�ÒmÈË�°«�Áº¯äÒ¯ºmÈÓÒËä�äËÎ��
°ãºËä�äË�ÈããÈ�Ò�¹º�ãºÎ}º®��äºÓº}¯Ò°�Èããºä�}¯ËäÓÒ«��º°ºËÓÓ©²�ϺÓ��¹¯º°ãºË}�¯ÈÏÓº�
�º��Ò¹È�Û��ÒÁÁ�ÏÒºÓÓº�}ºÓ�¯ºãÒ¯�
�Ò²�°ãºËm��
$� VSHFLDO� LQWHUHVW� LQ� VLOLFLGH� ILOPV� LV� FRQ�
QHFWHG�ZLWK�WKH�ZLGH�YDULDWLRQ�UDQJH�RI�WKHLU
SURSHUWLHV� IURP� WKRVH� W\SLFDO� RI� PHWDOV� WR
VHPLFRQGXFWRU�RQHV�DV�ZHOO�DV�ZLWK�HQKDQFHG
WKHUPDO�DQG�FKHPLFDO�UHVLVWDQFH�DV�FRPSDUHG
WR� PHWDOV� >����@�� ,Q� WUDGLWLRQDO� 026� �PHWDO�
R[LGH�VHPLFRQGXFWRU��VLOLFRQ� WHFKQRORJ\�� WKH
VLOLFLGH�ILOPV�DUH�XVHG�DV�IXQFWLRQDO�HOHPHQWV
LQWHQGHG� IRU� GLIIHUHQW� SXUSRVHV� �UHFWLI\LQJ
6FKRWWN\� GLRGHV�� RKPLF� FRQWDFWV�� JDWH� HOHF�
WURGHV��HPLWWHUV�DQG�LQWHUFRQQHFWLRQV���
$PRQJ� HSLWD[LDO� ILOPV� ZKLFK� FDQ� EH
IRUPHG� RQ� VLQJOH�FU\VWDO� VLOLFRQ� SODWH�� RI� D
SDUWLFXODU� LQWHUHVW� DUH�GLVLOLFLGH�&R6L��ZLWKPHWDO� FRQGXFWLYLW\� DQG� ORZ� VSHFLILF� UHVLV�
WDQFH� �DERXW� ��� P:�FP�� DQG� VHPLFRQGXFWRU
VLOLFLGH�0Q�6L��ZKLFK�GXH�WR�LWV�XQLTXH�HOHF�WULFDO� DQG� RSWLFDO� SURSHUWLHV� �WKHUPDO� HPI
DQLVRWURS\� ZLWK� FRHIILFLHQW� H[FHHGLQJ
����P9�.� DV� ZHOO� DV� GLUHFW� EDQG� JDS� RI
��������� H9� WKLFNQHVV�� LV� D� QHZ� PDWHULDO
RI� JRRG� SURPLVH� IRU� XVH� LQ� WKHUPRHOHFWULF
GHYLFHV� DQG� LQ� GHYHORSPHQW� RI� KLJK�WHP�
SHUDWXUH�JHQHUDWRUV�DQG�VHQVRUV�>�@�
7KH� ODWWLFH� PLVPDWFK� IRU� &R6L�� DQG� 6LVXEVWUDWH�PDNHV� DERXW�������DW� URRP� WHP�
SHUDWXUH�� WKXV� HQDEOLQJ� LWV� HSLWD[LDO
JURZWK�� +RZHYHU�� LQ� D� VLQJOH�OD\HU� &R�6L
ILOP� FRPSRVLWLRQ�� &R6L�� OD\HU� JURZV� DV� DSRO\FU\VWDO� GXH� WR� KLJK� UDWH� RI� VROLG�VWDWH
&R� DQG� 6L� LQWHUDFWLRQ� UHDFWLRQV�� ,Q� WKLV
ZRUN�� WKH� SUREOHP� RI� &R6L�� HSLWD[LDO� ILOPIRUPDWLRQ� ZDV� VROYHG� E\� FUHDWLRQ� RI� D� VSH�
FLILF� OD\HU�� D� GLIIXVLRQ�FRQWUROOLQJ� PHP�
EUDQH� �'&0�� RI� LQWHUPHGLDWH� QDQRGLPHQ�
VLRQDO� 7L� DQG� 6L2�� OD\HUV� EHWZHHQ� WKH� &RILOP� DQG�6L� VXEVWUDWH�� 7KH� FRQWUROOLQJ� UROH
RI� '&0� ZDV� WR� GHFHOHUDWH� WKH� GLIIXVLRQ
IORZV�RI�&R�DQG�6L�DWRPV�LQWR�WKH�VROLG�VWDWH
UHDFWLRQ�]RQH�DQG� WR�SURYLGH� WKH�&R6L�� HSL�WD[LDO� JURZWK��8QGHU� DQQHDOLQJ�RI� WKH� ILOP
FRPSRVLWLRQV�XQGHU�LQYHVWLJDWLRQ��WKH�GLIIX�
VLRQ�SURFHVVHV�DUH�DFFRPSDQLHG�E\�GHWHULRUD�
WLRQ�RI�6L2�� OD\HU� DQG�IRUPDWLRQ�RI�&R±7L±
6L� WHUQDU\� FRPSRXQG� ZKLFK� ZDV� LGHQWLILHG
LQ� WKLV� ZRUN� DV�&R�7L�6L� SKDVH�� 7KH� WKLFN�QHVV� YDOXHV� RI� LQLWLDO� 7L� DQG� 6L2�� OD\HUVZHUH� VHOHFWHG� WR� SURYLGH� WKH� WHUQDU\� FRP�
SRXQG� OD\HU� RI� DERXW� ��� QP� WKLFNQHVV� >�@�
7KH� GHFRPSRVLWLRQ� RI� WHUQDU\� FRPSRXQG� DW
KLJKHU� DQQHDOLQJ� WHPSHUDWXUHV� UHVXOWV� LQ
WUDQVIHU� RI� &R� DWRPV� WR� 6L� VXEVWUDWH� DQG
IRUPDWLRQ� RI�&R6L�� HSLWD[LDO� ILOP�� &DOFXOD�
WLRQ�RI�HIIHFWLYH�GLIIXVLRQ�FRHIILFLHQW�RI�&R
DWRPV�KDV�VKRZQ�WKDW�LW�ZDV�GHFUHDVHG�E\��
RUGHUV� >�@�� �)LJ������ 7KH� HOHFWULF� UHVLVWDQFH
XQGHU�DQQHDOLQJV�LV�YDULHG�FRUUHVSRQGLQJ�WR
D�FXUYH�ZLWK�D�PD[LPXP��7KH� ORZHVW�UHVLV�
WDQFH� �DERXW����PP�FP�� FRUUHVSRQGV� WR� IRU�
PDWLRQ� RI�&R6L��� ,W� LV� HVWDEOLVKHG� WKDW� WKH
)XQFWLRQDO�0DWHULDOV�����1R��������� ��������67&��,QVWLWXWH�IRU�6LQJOH�&U\VWDOV�
)XQFWLRQDO�PDWHULDOV������������� ���
&R6L�� HSLWD[LDO� OD\HU� LV� IRUPHG�LQ�D� VDPSOH
ZLWK� 7L� OD\HU� RI� ���� QP� DQG�6L2�� OD\HU� RI����� QP� DIWHU� DQQHDOLQJ� LQ� XOWUDKLJK� YDF�
XXP�DW������.�GXULQJ����V��,WV�WKLFNQHVV�LV
��� QP� DQG� WKH� HSLWD[LDO� FRUUHODWLRQV� ZLWK
WKH� VLOLFRQ� VXEVWUDWH�ZHUH� HVWDEOLVKHG� WR� EH
�����>���@&R6L�__�����>���@6L��&R6L�� LV� WKHU�PDOO\�VWDELOH�XS�WR������.�
7KH� ODWWLFH� PLVPDWFK� IRU� 0Q�6L�� DQG� 6LPDNHV� DERXW� ���� ��� WKXV�� LWV� HSLWD[LDO
JURZWK�RQ�D�VLOLFRQ�VLQJOH�FU\VWDO�LV�SRVVLEOH�
WRR��+RZHYHU�� IRUPDWLRQ� RI�0Q�6L�� E\� VROLG�VWDWH�UHDFWLRQ�GXULQJ�DQQHDOLQJ�RU�E\�0Q�UH�
DFWLYH�GHSRVLWLRQ�RQWR�KHDWHG�VXEVWUDWH�LV�DF�
FRPSDQLHG� E\� IRUPDWLRQ� RI� VLOLFLGH� ILOP� RI
SRO\FU\VWDOOLQH� VWUXFWXUH�GXH� WR� KLJK� UDWH� RI
VROLG�VWDWH�UHDFWLRQV�LQ�WKH�0Q�6L�ILOP�V\VWHP�
7R� ORZHU� WKH� FKHPLFDO� DFWLYLW\� RI� VXEVWUDWH
VXUIDFH�� D� EXIIHU� VLOLFRQ� OD\HU� RI� ���� QP� LV
GHSRVLWHG� WKHUHRQ� XQGHU� XOWUD� KLJK� YDFXXP�
7KH� LQIOXHQFH�RI�VXEVWUDWH�WHPSHUDWXUH�RQ�WKH
VWUXFWXUH� DQG� PRUSKRORJ\� RI� 0Q�6L�� VLOLFLGHIRUPLQJ� DW� GHSRVLWLRQ� RI� QDQRGLPHQVLRQDO�0Q
ILOP� ZDV� VWXGLHG�� ,W� ZDV� HVWDEOLVKHG� WKDW� DW
7VXEVW��������.��WKH� FRQWLQXRXV� EXW� SRO\FU\V�WDOOLQH� VLOLFLGH� OD\HU� LV� IRUPHG�� $W� 7VXEVW��!����.��WKH�ILOP�FRQVLVWV�RI�VHSDUDWH�HSLWD[LDO
JUDLQV�RI�0Q�6L��DQG�LV�LQFRQWLQXRXV��7R�IRUP�WKH�HSLWD[LDO�OD\HUV�RI�0Q�6L��RQVLOLFRQ�� LW� LV� XVHG� WKH� DSSURDFK� EDVLQJ� RQ
WKH� FKDQJH� LQ� JURZWK� NLQHWLFV� RI� VLOLFLGH
ILOP�GXH�WR�XVH�RI�6E�VXUIDFWDQW��D�VSHFLILF
OD\HU�EHWZHHQ�WKH�PHWDO�ILOP�DQG�VXEVWUDWH�
7KH� VXUIDFWDQW�GHFUHDVHV� WKH� VXEVWUDWH� VXU�
IDFH� DFWLYLW\� DQG�SURGXFHV� LWV�ZHWWLQJ��7KH
6E� OD\HU�ZDV�GHSRVLWHG�SUHYLRXVO\�RQWR�VLOL�
FRQ�VXUIDFH�DW�����.��7KH�VXEVHTXHQW�UHDF�
WLYH� GHSRVLWLRQ� RI� 0Q� ILOP� LV� DFFRPSDQLHG
E\�0Q�6L��IRUPDWLRQ��
,W� KDV� EHHQ� HVWDEOLVKHG� WKDW� DQ� LQFUHDVH
RI�VXUIDFWDQW�OD\HU�WKLFNQHVV�LQIOXHQFHV�WKH
PRUSKRORJ\�RI�0Q�6L��ILOP�DQG�SURGXFHV�DQ
LQFUHDVH� RI� WKH� DUHD� RFFXSLHG� E\� VLOLFLGH
�)LJ������ $W� VXUIDFWDQW� OD\HU� WKLFNQHVV� RI
��PRQROD\HU�� WKH� IRUPDWLRQ�RI� ODUJH�JUDLQV
LV� VXSSUHVVHG� DQG� GHQVLW\� RI� VPDOO� JUDLQV
ZKLFK� LQKHULW� WKH� VXEVWUDWH� RULHQWDWLRQ� LV
LQFUHDVHG� >��@�� 7KH� FDOFXODWLRQV� KDYH
VKRZQ�WKDW�WKH�VXUIDFH�GLIIXVLRQ�FRHIILFLHQW
RI�0Q� DWRPV� LV�GHFUHDVHG�E\���RUGHUV��WKXV
UHVXOWLQJ� LQ� VXSSUHVVLRQ� RI� ODUJH� VLOLFLGH
JUDLQV� JURZWK�� 7KH� FURVV�VHFWLRQ� H[DPLQD�
WLRQ�RI�WKH�ILOP�VDPSOH�E\�7(0�VKRZ�WKDW� LQ
WKH� DEVHQFH� RI� VXUIDFWDQW�� WKH� VLOLFLGH� JUDLQV
JURZ� RQ� WKH� VXEVWUDWH� VXUIDFH� DQG� ZKHQ� WKH
VXUIDFWDQW�LV�SUHVHQW��WKRVH�JURZ�LQWR�VXEVWUDWH
)LJ�����(IIHFW�RI�VXEVWUDWH�WHPSHUDWXUH�RQ�WKH
VWUXFWXUH� DQG� PRUSKRORJ\� RI�0Q�6L�� ILOP� LQ0Q����QP��6L�����QP��6L������VWUXFWXUH�
)LJ����� &RPSDULVRQ� RI� H[SHULPHQWDOO\� GHWHU�
PLQHG� HIIHFWLYH� GLIIXVLRQ� FRHIILFLHQW� RI� &R
�SRLQW����ZLWK�OLWHUDWXUH�GDWD�>�@��
)LJ�����(IIHFW�RI�6E� VXUIDFWDQW�RQ� WKH� VWUXF�
WXUH�DQG�PRUSKRORJ\�RI�0Q�6L��ILOP��
6�,�6LGRUHQNR�HW�DO����0XOWLOD\HU�ILOP����
��� )XQFWLRQDO�PDWHULDOV�������������
DQG� ILOP� ZLWK� VPRRWK� VXUIDFH� PRUSKRORJ\� LV
IRUPHG� ��
7KXV�� WKH� LQWURGXFWLRQ� RI� QDQRVFDOH� 7L
DQG� 6L2�� OD\HUV� DV� GLIIXVLRQ� FRQWUROOLQJOD\HU��'&/��LQWR�WKH�&R�6L�ILOP�FRPSRVLWLRQ
SURYLGHV� D� FRQWUROOHG� JURZWK� RI� &R6L�� HSL�WD[LDO�ILOP�RQ�VLOLFRQ�VLQJOH�FU\VWDO�E\�GHFHO�
HUDWLRQ� RI� WKH� GLIIXVLRQ� SURFHVVHV� GXH� WR
IRUPDWLRQ� RI� WKH� &R�7L�6L� LQWHUPHGLDWH
SKDVH� WKDW� UHGXFHV� WKH� HIIHFWLYH� GLIIXVLRQ
FRHIILFLHQW� RI� &R� DWRPV� WR� WKH� VROLG�SKDVH
UHDFWLRQ�]RQH�DQG�SURYLGHV�WKH�IRUPDWLRQ�RI
HSLWD[LDO� &R6L�� GLVLOLFLGH�� 7KH� FRQWUROOHGJURZWK�RI�HSLWD[LDO�0Q�6L��VLOLFLGH�OD\HUV�RQWKH� VLQJOH�FU\VWDOOLQH� VLOLFRQ�RI� ������RULHQ�
WDWLRQ� LV� SURYLGHG� E\� LQWURGXFWLRQ� RI� D
XOWUD�WKLQ� VXUIDFWDQW� OD\HU� DV� D� '&/� EH�
WZHHQ� WKH� 0Q� ILOP� DQG� 6L� VXEVWUDWH�� WKXV
SURYLGLQJ� D� FKDQJH� LQ� WKH� ILOP� JURZWK� NL�
QHWLFV�� 7KH� VXUIDFWDQW� PRQROD\HU� LQWURGXF�
WLRQ�FGDXVHV�D�UHGXFWLRQ� LQ�WKH�VXUIDFH�GLI�
IXVLRQ� FRHIILFLHQW� RI� 0Q� DWRPV� RQ� 6L������
WKXV� SURYLGLQJ� WKH� OD\HU�E\�OD\HU� JURZWK
PHFKDQLVP� RULHQWHG� ILOP� RI� D� ILOP� FRQVLVW�
LQJ�RI�VPDOO�0Q�6L��JUDLQV�LQKHULQJ�WKH�VXE�VWUDWH� RULHQWDWLRQ� DQG� IRUPDWLRQ� RI� DQ� HSL�
WD[LDO�0Q�6L��VLOLFLGH�OD\HU�
5HIHUHQFHV
��6�,�6LGRUHQNR�� ,QRUJDQLF� 0HWHULDOV� 6FLHQFH�� $Q
(QF\FORSHGLDO�,VVXH��9RO�����1DXNRYD�'XPND�
.\LY��������>LQ�5XVVLDQ@�
��6�,�6LGRUHQNR��<X�1�0DNDJRQ��$FWXDO�3UREOHPV
RI�0RGHUQ�0DWHULDOV�6FLHQFH��9RO�����$NDGHP�
SHULRGLND��.\LY��������>LQ�5XVVLDQ@�
��.�0DH[�� 0�� 9DQ� 5RVVXP�� 3URSHUWLHV� RI� 0HWDO
6LOLFLGHV��,163(&��/RQGRQ��������
��<X�1�0DNDJRQ�� 6�0�9RORVKNR�� (�3�3DYORYD�� HW� DO��
0HWDOORIL]��1RYH\VK��7HNKQRO������������������
��7�%DUJH�� 3�*DV�� )�0�'�+HXUOH� -�� 0DWHU�� 5HV��
����������������
���<X�1�0DNDJRQ��(�3�3DYORYD��6�,�6LGRUHQNR��HW
DO��� 0HWDOORIL]�� 1RYH\VK�� 7HNKQRO�� ���� ����
�������
���<X�1�0DNDJRQ��6�,��6LGRUHQNR��*��%HGGLHV�� HW
DO���LQ���QG�,QWHUQ��&RQI��6XUIDFH��&RDWLQJ�DQG
1DQRVWUXFWXUHG�0DWHULDOV� ��1DQR60DW�� �����
3RUWXJDO��������$EVWUDFW�%RRN��3����
��� <X�1�0DNDJRQ�� 6�,�� 6LGRUHQNR�� $�9�0RJL�
ODWHQNR�� 0HWDOORIL]�� 1RYH\VK�� 7HNKQRO�� ���
�������������
rÈ�È�º�ȯºmL�¹ãLm}ºmL��Ë�˯º°�¯�}��¯Ò��vÒãL�Ò�Ò
v�,�vÒ�º¯ËÓ}º����s�lÈ}º�ºÓ��p����ÈmãºmÈ��v�l�{ºãº�}º
�º�ÈÓº� ¹¯Ò}ãÈ�Ò� º�¯ÒäÈÓÓ«� �Ë�˯º°�¯�}��¯� ÓÈ� º°ÓºmL� ÓÈÓº¯ºÏäL¯ÓÒ²� °ÒãL�Ò�ÓÒ²
¹ãLmº}����¯ÈÓÒ�ÓÒ²�°�ÈÓȲ���º}ÈÏÈÓº���º�º�¯ÒäÈÓÓ«�ÓÈÓº¯ºÏäL¯ÓÒ²�°ÒãL�Ò�ÓÒ²�¹ãLmº}
Ó˺²L�Óº�º�ÁÈϺmº�º�°}ãÈ���ÏÈËϹË��¼� °«�Áº¯ä�mÈÓÓ«ä�äLÎ��ȯºä�äË�Èã��L�¹L�}ãÈ��
}º
� �äºÓº}¯Ò°�Èãºä� }¯ËäÓL
�� º°ºãÒmÒ²� ϺÓ�� ¹¯º�ȯ}Lm� ¯LÏÓº�º� �Ò¹��Û� �ÒÁ�ÏL®Óº�
}ºÓ�¯ºã
�Ҳ��ȯLm�
6�,�6LGRUHQNR�HW�DO����0XOWLOD\HU�ILOP����
)XQFWLRQDO�PDWHULDOV������������� ���
|