Multilayer film heterostructures. Silicides

The formation of heterostructures based on nanoscale silicide films in limiting states are exemplified. The nanoscale silicide films of a required phase composition are shown to be obtainable by formation of specific zones, different type interlayers referred to as the diffusion-controlling layers b...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Functional Materials
Date:2009
Main Authors: Sidorenko, S.I., Makogon, Yu.N., Pavlova, E.P., Voloshko, S.M.
Format: Article
Language:English
Published: НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2009
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/138937
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Multilayer film heterostructures. Silicides // S.I. Sidorenko, Yu.N. Makogon, E.P. Pavlova, S.M. Voloshko // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 445-447. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-138937
record_format dspace
spelling Sidorenko, S.I.
Makogon, Yu.N.
Pavlova, E.P.
Voloshko, S.M.
2018-06-19T17:29:08Z
2018-06-19T17:29:08Z
2009
Multilayer film heterostructures. Silicides // S.I. Sidorenko, Yu.N. Makogon, E.P. Pavlova, S.M. Voloshko // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 445-447. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.
1027-5495
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/138937
The formation of heterostructures based on nanoscale silicide films in limiting states are exemplified. The nanoscale silicide films of a required phase composition are shown to be obtainable by formation of specific zones, different type interlayers referred to as the diffusion-controlling layers between the metal layer and substrate (silicon single crystal).
Подано приклади отримання гетероструктур на основі нанорозмірних силіцидних плівок у граничних станах. Показано, що отримання нанорозмірних силіцидних плівок необхідного фазового складу забезпечується формуванням між шаром металу і підкладкою (монокристалом кремнію) особливих зон, прошарків різного типу - дифузійноконтролюючих шарів.
Показаны примеры получения гетероструктур на основе наноразмерных силицидных пленок в предельных состояниях. Показано, что получение наноразмерных силицидных пленок необходимого фазового состава обеспечивается формированием между слоем металла и подложкой (монокристаллом кремния) особенных зон, прослоек разного типа - диффузионно-контролирующих слоев.
en
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
Functional Materials
Characterization and properties
Multilayer film heterostructures. Silicides
Багатошарові плівкові гетероструктури. Силіциди
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Multilayer film heterostructures. Silicides
spellingShingle Multilayer film heterostructures. Silicides
Sidorenko, S.I.
Makogon, Yu.N.
Pavlova, E.P.
Voloshko, S.M.
Characterization and properties
title_short Multilayer film heterostructures. Silicides
title_full Multilayer film heterostructures. Silicides
title_fullStr Multilayer film heterostructures. Silicides
title_full_unstemmed Multilayer film heterostructures. Silicides
title_sort multilayer film heterostructures. silicides
author Sidorenko, S.I.
Makogon, Yu.N.
Pavlova, E.P.
Voloshko, S.M.
author_facet Sidorenko, S.I.
Makogon, Yu.N.
Pavlova, E.P.
Voloshko, S.M.
topic Characterization and properties
topic_facet Characterization and properties
publishDate 2009
language English
container_title Functional Materials
publisher НТК «Інститут монокристалів» НАН України
format Article
title_alt Багатошарові плівкові гетероструктури. Силіциди
description The formation of heterostructures based on nanoscale silicide films in limiting states are exemplified. The nanoscale silicide films of a required phase composition are shown to be obtainable by formation of specific zones, different type interlayers referred to as the diffusion-controlling layers between the metal layer and substrate (silicon single crystal). Подано приклади отримання гетероструктур на основі нанорозмірних силіцидних плівок у граничних станах. Показано, що отримання нанорозмірних силіцидних плівок необхідного фазового складу забезпечується формуванням між шаром металу і підкладкою (монокристалом кремнію) особливих зон, прошарків різного типу - дифузійноконтролюючих шарів. Показаны примеры получения гетероструктур на основе наноразмерных силицидных пленок в предельных состояниях. Показано, что получение наноразмерных силицидных пленок необходимого фазового состава обеспечивается формированием между слоем металла и подложкой (монокристаллом кремния) особенных зон, прослоек разного типа - диффузионно-контролирующих слоев.
issn 1027-5495
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/138937
citation_txt Multilayer film heterostructures. Silicides // S.I. Sidorenko, Yu.N. Makogon, E.P. Pavlova, S.M. Voloshko // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 445-447. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT sidorenkosi multilayerfilmheterostructuressilicides
AT makogonyun multilayerfilmheterostructuressilicides
AT pavlovaep multilayerfilmheterostructuressilicides
AT voloshkosm multilayerfilmheterostructuressilicides
AT sidorenkosi bagatošarovíplívkovígeterostrukturisilícidi
AT makogonyun bagatošarovíplívkovígeterostrukturisilícidi
AT pavlovaep bagatošarovíplívkovígeterostrukturisilícidi
AT voloshkosm bagatošarovíplívkovígeterostrukturisilícidi
first_indexed 2025-11-24T04:33:40Z
last_indexed 2025-11-24T04:33:40Z
_version_ 1850841550845640704
fulltext 0XOWLOD\HU�ILOP�KHWHURVWUXFWXUHV��6LOLFLGHV 6�,�6LGRUHQNR��<X�1�0DNRJRQ��(�3�3DYORYD��6�0�9RORVKNR 1DWLRQDO�7HFKQLFDO�8QLYHUVLW\�RI�8NUDLQH��.3,���.\LY��8NUDLQH 5HFHLYHG�6HSWHPEHU��������� 7KH�IRUPDWLRQ� RI�KHWHURVWUXFWXUHV� EDVHG� RQ�QDQRVFDOH� VLOLFLGH� ILOPV� LQ� OLPLWLQJ�VWDWHV DUH�H[HPSOLILHG��7KH�QDQRVFDOH�VLOLFLGH�ILOPV�RI�D�UHTXLUHG�SKDVH�FRPSRVLWLRQ�DUH�VKRZQ�WR EH�REWDLQDEOH�E\�IRUPDWLRQ�RI�VSHFLILF�]RQHV��GLIIHUHQW�W\SH�LQWHUOD\HUV�UHIHUUHG�WR�DV��WKH GLIIXVLRQ�FRQWUROOLQJ�OD\HUV�EHWZHHQ�WKH�PHWDO�OD\HU�DQG�VXEVWUDWH��VLOLFRQ�VLQJOH�FU\VWDO�� �º}ÈÏÈÓ©� ¹¯Òä˯©� ¹ºã��ËÓÒ«� �Ë�˯º°�¯�}��¯� ÓÈ� º°ÓºmË� ÓÈÓº¯ÈÏä˯ө²� °ÒãÒ�Ò�� Ó©²�¹ãËÓº}�m�¹¯Ë�Ëã Ó©²�°º°�º«ÓÒ«²���º}ÈÏÈÓº����º�¹ºã��ËÓÒË�ÓÈÓº¯ÈÏä˯ө²�°ÒãÒ� �Ò�Ó©²� ¹ãËÓº}� Ó˺­²º�Òäº�º� ÁÈϺmº�º� °º°�ÈmÈ� º­Ë°¹Ë�ÒmÈË�°«�Áº¯äÒ¯ºmÈÓÒËä�äËÎ�� °ãºËä�äË�ÈããÈ�Ò�¹º�ãºÎ}º®��äºÓº}¯Ò°�Èããºä�}¯ËäÓÒ«��º°º­ËÓÓ©²�ϺÓ��¹¯º°ãºË}�¯ÈÏÓº� �º��Ò¹È�Û��ÒÁÁ�ÏÒºÓÓº�}ºÓ�¯ºãÒ¯� �Ò²�°ãºËm�� $� VSHFLDO� LQWHUHVW� LQ� VLOLFLGH� ILOPV� LV� FRQ� QHFWHG�ZLWK�WKH�ZLGH�YDULDWLRQ�UDQJH�RI�WKHLU SURSHUWLHV� IURP� WKRVH� W\SLFDO� RI� PHWDOV� WR VHPLFRQGXFWRU�RQHV�DV�ZHOO�DV�ZLWK�HQKDQFHG WKHUPDO�DQG�FKHPLFDO�UHVLVWDQFH�DV�FRPSDUHG WR� PHWDOV� >����@�� ,Q� WUDGLWLRQDO� 026� �PHWDO� R[LGH�VHPLFRQGXFWRU��VLOLFRQ� WHFKQRORJ\�� WKH VLOLFLGH�ILOPV�DUH�XVHG�DV�IXQFWLRQDO�HOHPHQWV LQWHQGHG� IRU� GLIIHUHQW� SXUSRVHV� �UHFWLI\LQJ 6FKRWWN\� GLRGHV�� RKPLF� FRQWDFWV�� JDWH� HOHF� WURGHV��HPLWWHUV�DQG�LQWHUFRQQHFWLRQV��� $PRQJ� HSLWD[LDO� ILOPV� ZKLFK� FDQ� EH IRUPHG� RQ� VLQJOH�FU\VWDO� VLOLFRQ� SODWH�� RI� D SDUWLFXODU� LQWHUHVW� DUH�GLVLOLFLGH�&R6L��ZLWKPHWDO� FRQGXFWLYLW\� DQG� ORZ� VSHFLILF� UHVLV� WDQFH� �DERXW� ��� P:�FP�� DQG� VHPLFRQGXFWRU VLOLFLGH�0Q�6L��ZKLFK�GXH�WR�LWV�XQLTXH�HOHF�WULFDO� DQG� RSWLFDO� SURSHUWLHV� �WKHUPDO� HPI DQLVRWURS\� ZLWK� FRHIILFLHQW� H[FHHGLQJ ����P9�.� DV� ZHOO� DV� GLUHFW� EDQG� JDS� RI ����Ü����� H9� WKLFNQHVV�� LV� D� QHZ� PDWHULDO RI� JRRG� SURPLVH� IRU� XVH� LQ� WKHUPRHOHFWULF GHYLFHV� DQG� LQ� GHYHORSPHQW� RI� KLJK�WHP� SHUDWXUH�JHQHUDWRUV�DQG�VHQVRUV�>�@� 7KH� ODWWLFH� PLVPDWFK� IRU� &R6L�� DQG� 6LVXEVWUDWH�PDNHV� DERXW�������DW� URRP� WHP� SHUDWXUH�� WKXV� HQDEOLQJ� LWV� HSLWD[LDO JURZWK�� +RZHYHU�� LQ� D� VLQJOH�OD\HU� &R�6L ILOP� FRPSRVLWLRQ�� &R6L�� OD\HU� JURZV� DV� DSRO\FU\VWDO� GXH� WR� KLJK� UDWH� RI� VROLG�VWDWH &R� DQG� 6L� LQWHUDFWLRQ� UHDFWLRQV�� ,Q� WKLV ZRUN�� WKH� SUREOHP� RI� &R6L�� HSLWD[LDO� ILOPIRUPDWLRQ� ZDV� VROYHG� E\� FUHDWLRQ� RI� D� VSH� FLILF� OD\HU�� D� GLIIXVLRQ�FRQWUROOLQJ� PHP� EUDQH� �'&0�� RI� LQWHUPHGLDWH� QDQRGLPHQ� VLRQDO� 7L� DQG� 6L2�� OD\HUV� EHWZHHQ� WKH� &RILOP� DQG�6L� VXEVWUDWH�� 7KH� FRQWUROOLQJ� UROH RI� '&0� ZDV� WR� GHFHOHUDWH� WKH� GLIIXVLRQ IORZV�RI�&R�DQG�6L�DWRPV�LQWR�WKH�VROLG�VWDWH UHDFWLRQ�]RQH�DQG� WR�SURYLGH� WKH�&R6L�� HSL�WD[LDO� JURZWK��8QGHU� DQQHDOLQJ�RI� WKH� ILOP FRPSRVLWLRQV�XQGHU�LQYHVWLJDWLRQ��WKH�GLIIX� VLRQ�SURFHVVHV�DUH�DFFRPSDQLHG�E\�GHWHULRUD� WLRQ�RI�6L2�� OD\HU� DQG�IRUPDWLRQ�RI�&R±7L± 6L� WHUQDU\� FRPSRXQG� ZKLFK� ZDV� LGHQWLILHG LQ� WKLV� ZRUN� DV�&R�7L�6L� SKDVH�� 7KH� WKLFN�QHVV� YDOXHV� RI� LQLWLDO� 7L� DQG� 6L2�� OD\HUVZHUH� VHOHFWHG� WR� SURYLGH� WKH� WHUQDU\� FRP� SRXQG� OD\HU� RI� DERXW� ��� QP� WKLFNQHVV� >�@� 7KH� GHFRPSRVLWLRQ� RI� WHUQDU\� FRPSRXQG� DW KLJKHU� DQQHDOLQJ� WHPSHUDWXUHV� UHVXOWV� LQ WUDQVIHU� RI� &R� DWRPV� WR� 6L� VXEVWUDWH� DQG IRUPDWLRQ� RI�&R6L�� HSLWD[LDO� ILOP�� &DOFXOD� WLRQ�RI�HIIHFWLYH�GLIIXVLRQ�FRHIILFLHQW�RI�&R DWRPV�KDV�VKRZQ�WKDW�LW�ZDV�GHFUHDVHG�E\�� RUGHUV� >�@�� �)LJ������ 7KH� HOHFWULF� UHVLVWDQFH XQGHU�DQQHDOLQJV�LV�YDULHG�FRUUHVSRQGLQJ�WR D�FXUYH�ZLWK�D�PD[LPXP��7KH� ORZHVW�UHVLV� WDQFH� �DERXW����PP�FP�� FRUUHVSRQGV� WR� IRU� PDWLRQ� RI�&R6L��� ,W� LV� HVWDEOLVKHG� WKDW� WKH )XQFWLRQDO�0DWHULDOV�����1R��������� �������Û�67&��,QVWLWXWH�IRU�6LQJOH�&U\VWDOV� )XQFWLRQDO�PDWHULDOV������������� ��� &R6L�� HSLWD[LDO� OD\HU� LV� IRUPHG�LQ�D� VDPSOH ZLWK� 7L� OD\HU� RI� ���� QP� DQG�6L2�� OD\HU� RI����� QP� DIWHU� DQQHDOLQJ� LQ� XOWUDKLJK� YDF� XXP�DW������.�GXULQJ����V��,WV�WKLFNQHVV�LV ��� QP� DQG� WKH� HSLWD[LDO� FRUUHODWLRQV� ZLWK WKH� VLOLFRQ� VXEVWUDWH�ZHUH� HVWDEOLVKHG� WR� EH �����>���@&R6L�__�����>���@6L��&R6L�� LV� WKHU�PDOO\�VWDELOH�XS�WR������.� 7KH� ODWWLFH� PLVPDWFK� IRU� 0Q�6L�� DQG� 6LPDNHV� DERXW� ���� ��� WKXV�� LWV� HSLWD[LDO JURZWK�RQ�D�VLOLFRQ�VLQJOH�FU\VWDO�LV�SRVVLEOH� WRR��+RZHYHU�� IRUPDWLRQ� RI�0Q�6L�� E\� VROLG�VWDWH�UHDFWLRQ�GXULQJ�DQQHDOLQJ�RU�E\�0Q�UH� DFWLYH�GHSRVLWLRQ�RQWR�KHDWHG�VXEVWUDWH�LV�DF� FRPSDQLHG� E\� IRUPDWLRQ� RI� VLOLFLGH� ILOP� RI SRO\FU\VWDOOLQH� VWUXFWXUH�GXH� WR� KLJK� UDWH� RI VROLG�VWDWH�UHDFWLRQV�LQ�WKH�0Q�6L�ILOP�V\VWHP� 7R� ORZHU� WKH� FKHPLFDO� DFWLYLW\� RI� VXEVWUDWH VXUIDFH�� D� EXIIHU� VLOLFRQ� OD\HU� RI� ���� QP� LV GHSRVLWHG� WKHUHRQ� XQGHU� XOWUD� KLJK� YDFXXP� 7KH� LQIOXHQFH�RI�VXEVWUDWH�WHPSHUDWXUH�RQ�WKH VWUXFWXUH� DQG� PRUSKRORJ\� RI� 0Q�6L�� VLOLFLGHIRUPLQJ� DW� GHSRVLWLRQ� RI� QDQRGLPHQVLRQDO�0Q ILOP� ZDV� VWXGLHG�� ,W� ZDV� HVWDEOLVKHG� WKDW� DW 7VXEVW��������.��WKH� FRQWLQXRXV� EXW� SRO\FU\V�WDOOLQH� VLOLFLGH� OD\HU� LV� IRUPHG�� $W� 7VXEVW��!����.��WKH�ILOP�FRQVLVWV�RI�VHSDUDWH�HSLWD[LDO JUDLQV�RI�0Q�6L��DQG�LV�LQFRQWLQXRXV��7R�IRUP�WKH�HSLWD[LDO�OD\HUV�RI�0Q�6L��RQVLOLFRQ�� LW� LV� XVHG� WKH� DSSURDFK� EDVLQJ� RQ WKH� FKDQJH� LQ� JURZWK� NLQHWLFV� RI� VLOLFLGH ILOP�GXH�WR�XVH�RI�6E�VXUIDFWDQW��D�VSHFLILF OD\HU�EHWZHHQ�WKH�PHWDO�ILOP�DQG�VXEVWUDWH� 7KH� VXUIDFWDQW�GHFUHDVHV� WKH� VXEVWUDWH� VXU� IDFH� DFWLYLW\� DQG�SURGXFHV� LWV�ZHWWLQJ��7KH 6E� OD\HU�ZDV�GHSRVLWHG�SUHYLRXVO\�RQWR�VLOL� FRQ�VXUIDFH�DW�����.��7KH�VXEVHTXHQW�UHDF� WLYH� GHSRVLWLRQ� RI� 0Q� ILOP� LV� DFFRPSDQLHG E\�0Q�6L��IRUPDWLRQ�� ,W� KDV� EHHQ� HVWDEOLVKHG� WKDW� DQ� LQFUHDVH RI�VXUIDFWDQW�OD\HU�WKLFNQHVV�LQIOXHQFHV�WKH PRUSKRORJ\�RI�0Q�6L��ILOP�DQG�SURGXFHV�DQ LQFUHDVH� RI� WKH� DUHD� RFFXSLHG� E\� VLOLFLGH �)LJ������ $W� VXUIDFWDQW� OD\HU� WKLFNQHVV� RI ��PRQROD\HU�� WKH� IRUPDWLRQ�RI� ODUJH�JUDLQV LV� VXSSUHVVHG� DQG� GHQVLW\� RI� VPDOO� JUDLQV ZKLFK� LQKHULW� WKH� VXEVWUDWH� RULHQWDWLRQ� LV LQFUHDVHG� >�Ü�@�� 7KH� FDOFXODWLRQV� KDYH VKRZQ�WKDW�WKH�VXUIDFH�GLIIXVLRQ�FRHIILFLHQW RI�0Q� DWRPV� LV�GHFUHDVHG�E\���RUGHUV��WKXV UHVXOWLQJ� LQ� VXSSUHVVLRQ� RI� ODUJH� VLOLFLGH JUDLQV� JURZWK�� 7KH� FURVV�VHFWLRQ� H[DPLQD� WLRQ�RI�WKH�ILOP�VDPSOH�E\�7(0�VKRZ�WKDW� LQ WKH� DEVHQFH� RI� VXUIDFWDQW�� WKH� VLOLFLGH� JUDLQV JURZ� RQ� WKH� VXEVWUDWH� VXUIDFH� DQG� ZKHQ� WKH VXUIDFWDQW�LV�SUHVHQW��WKRVH�JURZ�LQWR�VXEVWUDWH )LJ�����(IIHFW�RI�VXEVWUDWH�WHPSHUDWXUH�RQ�WKH VWUXFWXUH� DQG� PRUSKRORJ\� RI�0Q�6L�� ILOP� LQ0Q����QP��6L�����QP��6L������VWUXFWXUH� )LJ����� &RPSDULVRQ� RI� H[SHULPHQWDOO\� GHWHU� PLQHG� HIIHFWLYH� GLIIXVLRQ� FRHIILFLHQW� RI� &R �SRLQW����ZLWK�OLWHUDWXUH�GDWD�>�@�� )LJ�����(IIHFW�RI�6E� VXUIDFWDQW�RQ� WKH� VWUXF� WXUH�DQG�PRUSKRORJ\�RI�0Q�6L��ILOP�� 6�,�6LGRUHQNR�HW�DO����0XOWLOD\HU�ILOP���� ��� )XQFWLRQDO�PDWHULDOV������������� DQG� ILOP� ZLWK� VPRRWK� VXUIDFH� PRUSKRORJ\� LV IRUPHG� �� 7KXV�� WKH� LQWURGXFWLRQ� RI� QDQRVFDOH� 7L DQG� 6L2�� OD\HUV� DV� GLIIXVLRQ� FRQWUROOLQJOD\HU��'&/��LQWR�WKH�&R�6L�ILOP�FRPSRVLWLRQ SURYLGHV� D� FRQWUROOHG� JURZWK� RI� &R6L�� HSL�WD[LDO�ILOP�RQ�VLOLFRQ�VLQJOH�FU\VWDO�E\�GHFHO� HUDWLRQ� RI� WKH� GLIIXVLRQ� SURFHVVHV� GXH� WR IRUPDWLRQ� RI� WKH� &R�7L�6L� LQWHUPHGLDWH SKDVH� WKDW� UHGXFHV� WKH� HIIHFWLYH� GLIIXVLRQ FRHIILFLHQW� RI� &R� DWRPV� WR� WKH� VROLG�SKDVH UHDFWLRQ�]RQH�DQG�SURYLGHV�WKH�IRUPDWLRQ�RI HSLWD[LDO� &R6L�� GLVLOLFLGH�� 7KH� FRQWUROOHGJURZWK�RI�HSLWD[LDO�0Q�6L��VLOLFLGH�OD\HUV�RQWKH� VLQJOH�FU\VWDOOLQH� VLOLFRQ�RI� ������RULHQ� WDWLRQ� LV� SURYLGHG� E\� LQWURGXFWLRQ� RI� D XOWUD�WKLQ� VXUIDFWDQW� OD\HU� DV� D� '&/� EH� WZHHQ� WKH� 0Q� ILOP� DQG� 6L� VXEVWUDWH�� WKXV SURYLGLQJ� D� FKDQJH� LQ� WKH� ILOP� JURZWK� NL� QHWLFV�� 7KH� VXUIDFWDQW� PRQROD\HU� LQWURGXF� WLRQ�FGDXVHV�D�UHGXFWLRQ� LQ�WKH�VXUIDFH�GLI� IXVLRQ� FRHIILFLHQW� RI� 0Q� DWRPV� RQ� 6L������ WKXV� SURYLGLQJ� WKH� OD\HU�E\�OD\HU� JURZWK PHFKDQLVP� RULHQWHG� ILOP� RI� D� ILOP� FRQVLVW� LQJ�RI�VPDOO�0Q�6L��JUDLQV�LQKHULQJ�WKH�VXE�VWUDWH� RULHQWDWLRQ� DQG� IRUPDWLRQ� RI� DQ� HSL� WD[LDO�0Q�6L��VLOLFLGH�OD\HU� 5HIHUHQFHV ��6�,�6LGRUHQNR�� ,QRUJDQLF� 0HWHULDOV� 6FLHQFH�� $Q (QF\FORSHGLDO�,VVXH��9RO�����1DXNRYD�'XPND� .\LY��������>LQ�5XVVLDQ@� ��6�,�6LGRUHQNR��<X�1�0DNDJRQ��$FWXDO�3UREOHPV RI�0RGHUQ�0DWHULDOV�6FLHQFH��9RO�����$NDGHP� SHULRGLND��.\LY��������>LQ�5XVVLDQ@� ��.�0DH[�� 0�� 9DQ� 5RVVXP�� 3URSHUWLHV� RI� 0HWDO 6LOLFLGHV��,163(&��/RQGRQ�������� ��<X�1�0DNDJRQ�� 6�0�9RORVKNR�� (�3�3DYORYD�� HW� DO�� 0HWDOORIL]��1RYH\VK��7HNKQRO������������������ ��7�%DUJH�� 3�*DV�� )�0�'�+HXUOH� -�� 0DWHU�� 5HV�� ���������������� ���<X�1�0DNDJRQ��(�3�3DYORYD��6�,�6LGRUHQNR��HW DO��� 0HWDOORIL]�� 1RYH\VK�� 7HNKQRO�� ���� ���� ������� ���<X�1�0DNDJRQ��6�,��6LGRUHQNR��*��%HGGLHV�� HW DO���LQ���QG�,QWHUQ��&RQI��6XUIDFH��&RDWLQJ�DQG 1DQRVWUXFWXUHG�0DWHULDOV� ��1DQR60DW�� ����� 3RUWXJDO��������$EVWUDFW�%RRN��3���� ��� <X�1�0DNDJRQ�� 6�,�� 6LGRUHQNR�� $�9�0RJL� ODWHQNR�� 0HWDOORIL]�� 1RYH\VK�� 7HNKQRO�� ��� ������������� rÈ�È�º�ȯºmL�¹ãLm}ºmL��Ë�˯º°�¯�}��¯Ò��vÒãL�Ò�Ò v�,�vÒ�º¯ËÓ}º����s�lÈ}º�ºÓ��p����ÈmãºmÈ��v�l�{ºãº�}º �º�ÈÓº� ¹¯Ò}ãÈ�Ò� º�¯ÒäÈÓÓ«� �Ë�˯º°�¯�}��¯� ÓÈ� º°ÓºmL� ÓÈÓº¯ºÏäL¯ÓÒ²� °ÒãL�Ò�ÓÒ² ¹ãLmº}����¯ÈÓÒ�ÓÒ²�°�ÈÓȲ���º}ÈÏÈÓº���º�º�¯ÒäÈÓÓ«�ÓÈÓº¯ºÏäL¯ÓÒ²�°ÒãL�Ò�ÓÒ²�¹ãLmº} Ó˺­²L�Óº�º�ÁÈϺmº�º�°}ãÈ���ÏÈ­ËϹË��¼� °«�Áº¯ä�mÈÓÓ«ä�äLÎ��ȯºä�äË�Èã��L�¹L�}ãÈ�� }º � �äºÓº}¯Ò°�Èãºä� }¯ËäÓL �� º°º­ãÒmÒ²� ϺÓ�� ¹¯º�ȯ}Lm� ¯LÏÓº�º� �Ò¹��Û� �ÒÁ�ÏL®Óº� }ºÓ�¯ºã �Ò²��ȯLm� 6�,�6LGRUHQNR�HW�DO����0XOWLOD\HU�ILOP���� )XQFWLRQDO�PDWHULDOV������������� ���