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Multilayer film heterostructures. Silicides

The formation of heterostructures based on nanoscale silicide films in limiting states are exemplified. The nanoscale silicide films of a required phase composition are shown to be obtainable by formation of specific zones, different type interlayers referred to as the diffusion-controlling layers b...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Functional Materials
Datum:	2009
Hauptverfasser:	Sidorenko, S.I., Makogon, Yu.N., Pavlova, E.P., Voloshko, S.M.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2009
Schlagworte:	Characterization and properties
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/138937
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Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Multilayer film heterostructures. Silicides // S.I. Sidorenko, Yu.N. Makogon, E.P. Pavlova, S.M. Voloshko // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 445-447. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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