Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system

Wear and corrosion resistant coatings have been obtained by HF magnetron sputtering of an AlN-TiCrB₂ target (prepared by powder metallurgy technique) on Si, Al₂O₃ and GaAs single crystals. The coatings are characterized by ultra dispersed structure and a considerable high-temperature oxidation resis...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Functional Materials
Дата:2009
Автори: Panasyuk, A.D., Podchernyaeva, I.A., Neshpor, I.P., Gawalek, W., Ivanov, V.N.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2009
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/138944
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system // A.D. Panasyuk, I.A. Podchernyaeva, I.P. Neshpor, W. Gawalek, V.N. Ivanov // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 492-497. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-138944
record_format dspace
spelling Panasyuk, A.D.
Podchernyaeva, I.A.
Neshpor, I.P.
Gawalek, W.
Ivanov, V.N.
2018-06-19T17:32:11Z
2018-06-19T17:32:11Z
2009
Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system // A.D. Panasyuk, I.A. Podchernyaeva, I.P. Neshpor, W. Gawalek, V.N. Ivanov // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 492-497. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.
1027-5495
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/138944
Wear and corrosion resistant coatings have been obtained by HF magnetron sputtering of an AlN-TiCrB₂ target (prepared by powder metallurgy technique) on Si, Al₂O₃ and GaAs single crystals. The coatings are characterized by ultra dispersed structure and a considerable high-temperature oxidation resistance caused by the formation of solid solutions in the Al₂O₃-TiO₂-Cr₂O₃ and Al₂O₃-B₂O₃ systems. The target material mass gain at 1300°C is 1.4 mg/cm². After the high-temperature oxidation, a reinforced disperse structure is formed in the coating as tangled Al₂O₃ fibers. The (AlN-TiCrB₂)-Al₂O₃ and (AlN-TiCrB₂)-GaAs coatings are thermally stable up to 900°C and show high microhardness (Hμ = 30 GPa) and fracture strength (K₁c = 3.3-4.7 MN/m³/²). As the annealing temperature rises (T > 1000°C), the coating mechanical properties deteriorate but its adhesion strength becomes improved. The target material AlN-TiCrB2 can be recommended to prepare wear and corrosion resistant coating on tools as well as on vital parts being operated in extreme conditions.
3носо- та корозійностійкі покриття одержано радіочастотним магнетронним розпиленням мішені AlN-TiCrB₂, виготовленої методами порошкової металургії на монокристалах Si, Al₂O₃ та GaAs. Покриття характеризуються ультрадисперсною структурою та значним опором високотемпературному окисненню завдяки утворенню твердих розчинів у системах Al₂O₃-TiO₂-Cr₂O₃ та Al₂O₃-B₂O₃. Після високотемпературного окиснення формується армована дисперсна структура покриття у вигляді волокон Al₂O₃, що переплітаються. Покриття (AlN-TiCrB₂)-Al₂O₃ та (AlN-TiCrB₂)-GaAs термостабільні до 900°С та мають високі значення мікротвердості (Нμ = 30 ГПа) та тріщиностійкості (К₁c = 4,7-3,3 МН/м³/²). 3 підвищенням температури відпалу (Т > 1000°С) механічні властивості покриттів погіршуються, при цьому їх адгезійна міцність зростає. Матеріал мішені AlN-TiCrB₂ можна рекомендувати для отримання зносо- та корозійностійких покриттів на інструменті та на деталях, що працюють в екстремальних умовах.
Получены износо- и коррозионностойкие покрытия радиочастотным магнетронным распылением мишени AlN-TiCrB₂, изготовленной методами порошковой металлургии, на монокристаллах Si, Al₂O₃ и GaAs. Покрытия характеризуются ультрадисперсной структурой и значительным сопротивлением высокотемпературному окислению благодаря образованию твердых растворов в системах Al₂O₃-TiO₂-Cr₂O₃ и Al₂O₃-B₂O₃. После высокотемпературного окисления формируется армированная дисперсная структура покрытия в виде переплетающихся волокон Al₂O₃. Покрытия (AlN-TiCrB₂)-Al₂O₃ и (AlN-TiCrB₂)- GaAs термостабильны до 900°С и имеют высокие значения микротвердости (Нμ = 30 ГПа) и трещиностойкости (К₁c = 4.7-3.3 МН/м³/²). С ростом температуры отжига (Т > 1000°С) механические свойства покрытий ухудшаются, но при этом их адгезионная прочность возрастает. Материал мишени AlN-TiCrB₂ может быть рекомендован для получения износо- и коррозионностойких покрытий на инструменте, а также на ответственных деталях, работающих в экстремальных условиях.
en
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
Functional Materials
Technology
Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system
3носо- та корозійностійкі магнетронні покриття на основі системи AlN-TiCrB₂
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system
spellingShingle Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system
Panasyuk, A.D.
Podchernyaeva, I.A.
Neshpor, I.P.
Gawalek, W.
Ivanov, V.N.
Technology
title_short Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system
title_full Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system
title_fullStr Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system
title_full_unstemmed Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system
title_sort magnetron sputtered coatings of aln-ticrb₂ system
author Panasyuk, A.D.
Podchernyaeva, I.A.
Neshpor, I.P.
Gawalek, W.
Ivanov, V.N.
author_facet Panasyuk, A.D.
Podchernyaeva, I.A.
Neshpor, I.P.
Gawalek, W.
Ivanov, V.N.
topic Technology
topic_facet Technology
publishDate 2009
language English
container_title Functional Materials
publisher НТК «Інститут монокристалів» НАН України
format Article
title_alt 3носо- та корозійностійкі магнетронні покриття на основі системи AlN-TiCrB₂
description Wear and corrosion resistant coatings have been obtained by HF magnetron sputtering of an AlN-TiCrB₂ target (prepared by powder metallurgy technique) on Si, Al₂O₃ and GaAs single crystals. The coatings are characterized by ultra dispersed structure and a considerable high-temperature oxidation resistance caused by the formation of solid solutions in the Al₂O₃-TiO₂-Cr₂O₃ and Al₂O₃-B₂O₃ systems. The target material mass gain at 1300°C is 1.4 mg/cm². After the high-temperature oxidation, a reinforced disperse structure is formed in the coating as tangled Al₂O₃ fibers. The (AlN-TiCrB₂)-Al₂O₃ and (AlN-TiCrB₂)-GaAs coatings are thermally stable up to 900°C and show high microhardness (Hμ = 30 GPa) and fracture strength (K₁c = 3.3-4.7 MN/m³/²). As the annealing temperature rises (T > 1000°C), the coating mechanical properties deteriorate but its adhesion strength becomes improved. The target material AlN-TiCrB2 can be recommended to prepare wear and corrosion resistant coating on tools as well as on vital parts being operated in extreme conditions. 3носо- та корозійностійкі покриття одержано радіочастотним магнетронним розпиленням мішені AlN-TiCrB₂, виготовленої методами порошкової металургії на монокристалах Si, Al₂O₃ та GaAs. Покриття характеризуються ультрадисперсною структурою та значним опором високотемпературному окисненню завдяки утворенню твердих розчинів у системах Al₂O₃-TiO₂-Cr₂O₃ та Al₂O₃-B₂O₃. Після високотемпературного окиснення формується армована дисперсна структура покриття у вигляді волокон Al₂O₃, що переплітаються. Покриття (AlN-TiCrB₂)-Al₂O₃ та (AlN-TiCrB₂)-GaAs термостабільні до 900°С та мають високі значення мікротвердості (Нμ = 30 ГПа) та тріщиностійкості (К₁c = 4,7-3,3 МН/м³/²). 3 підвищенням температури відпалу (Т > 1000°С) механічні властивості покриттів погіршуються, при цьому їх адгезійна міцність зростає. Матеріал мішені AlN-TiCrB₂ можна рекомендувати для отримання зносо- та корозійностійких покриттів на інструменті та на деталях, що працюють в екстремальних умовах. Получены износо- и коррозионностойкие покрытия радиочастотным магнетронным распылением мишени AlN-TiCrB₂, изготовленной методами порошковой металлургии, на монокристаллах Si, Al₂O₃ и GaAs. Покрытия характеризуются ультрадисперсной структурой и значительным сопротивлением высокотемпературному окислению благодаря образованию твердых растворов в системах Al₂O₃-TiO₂-Cr₂O₃ и Al₂O₃-B₂O₃. После высокотемпературного окисления формируется армированная дисперсная структура покрытия в виде переплетающихся волокон Al₂O₃. Покрытия (AlN-TiCrB₂)-Al₂O₃ и (AlN-TiCrB₂)- GaAs термостабильны до 900°С и имеют высокие значения микротвердости (Нμ = 30 ГПа) и трещиностойкости (К₁c = 4.7-3.3 МН/м³/²). С ростом температуры отжига (Т > 1000°С) механические свойства покрытий ухудшаются, но при этом их адгезионная прочность возрастает. Материал мишени AlN-TiCrB₂ может быть рекомендован для получения износо- и коррозионностойких покрытий на инструменте, а также на ответственных деталях, работающих в экстремальных условиях.
issn 1027-5495
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/138944
citation_txt Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system // A.D. Panasyuk, I.A. Podchernyaeva, I.P. Neshpor, W. Gawalek, V.N. Ivanov // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 492-497. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT panasyukad magnetronsputteredcoatingsofalnticrb2system
AT podchernyaevaia magnetronsputteredcoatingsofalnticrb2system
AT neshporip magnetronsputteredcoatingsofalnticrb2system
AT gawalekw magnetronsputteredcoatingsofalnticrb2system
AT ivanovvn magnetronsputteredcoatingsofalnticrb2system
AT panasyukad 3nosotakorozíinostíikímagnetronnípokrittânaosnovísistemialnticrb2
AT podchernyaevaia 3nosotakorozíinostíikímagnetronnípokrittânaosnovísistemialnticrb2
AT neshporip 3nosotakorozíinostíikímagnetronnípokrittânaosnovísistemialnticrb2
AT gawalekw 3nosotakorozíinostíikímagnetronnípokrittânaosnovísistemialnticrb2
AT ivanovvn 3nosotakorozíinostíikímagnetronnípokrittânaosnovísistemialnticrb2
first_indexed 2025-11-29T09:28:10Z
last_indexed 2025-11-29T09:28:10Z
_version_ 1850854715101806592