Manufacturing technology, optical and spectral properties of nano-structurized thin ZnO films

Manufacturing technology, optical and spectral properties of nano-structurized thin ZnO films

Dependence of cathodoluminescence parameters on the annealing temperature and RF ion etching has been studied for nano-structurized thin zinc oxide films obtained by RF magnetron reactive sputtering. The film structure has been characterized by X-ray diffraction. Thermal annealing and RF ion etch...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Functional Materials
Date:2005
Main Authors: Panasyuk, M.R., Turko, B.I., Kapustianik, V.B., Lubochkova, G.A., Rudyk, V.P., Vas`kiv, A.P., Davydov, V.M.
Format: Article
Language:English
Published: НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2005
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139319
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Manufacturing technology, optical and spectral properties of nano-structurized thin ZnO films / M.R. Panasyuk, B.I. Turko, V.B. Kapustianik, G.A. Lubochkova, V.P. Rudyk, A.P. Vas`kiv, V.M. Davydov // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 4. — С. 746-749. — Бібліогр.: 23 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-139319
record_format dspace
spelling Panasyuk, M.R.
Turko, B.I.
Kapustianik, V.B.
Lubochkova, G.A.
Rudyk, V.P.
Vas`kiv, A.P.
Davydov, V.M.
2018-06-20T05:03:46Z
2018-06-20T05:03:46Z
2005
Manufacturing technology, optical and spectral properties of nano-structurized thin ZnO films / M.R. Panasyuk, B.I. Turko, V.B. Kapustianik, G.A. Lubochkova, V.P. Rudyk, A.P. Vas`kiv, V.M. Davydov // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 4. — С. 746-749. — Бібліогр.: 23 назв. — англ.
1027-5495
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139319
Dependence of cathodoluminescence parameters on the annealing temperature and RF ion etching has been studied for nano-structurized thin zinc oxide films obtained by RF magnetron reactive sputtering. The film structure has been characterized by X-ray diffraction. Thermal annealing and RF ion etching have been found to increase the cathodoluminescence intensity, mainly due to enlargement of the nanocrystallite mean size.
Дослiджено залежнiсть параметрiв катодолюмiнесценцii наноструктурованих тонких плiвок оксиду цинку, отриманих методом ВЧ-магнетронного реактивного розпилення, вiд температури вiдпалу та обробки методом ВЧ-iонного травлення. Методом рентгено-структурного аналiзу дослiджено структуру плiвок. Встановлено, що термiчний вiдпал та ВЧ-iонне травлення забезпечують пiдсилення iнтенсивностi катодолюмiнесценцii, насамперед за рахунок зростання середнiх розмiрiв нанокристалiтiв.
Исследована зависимость параметров катодолюминесценции наноструктурированных тонких пленок оксида цинка, полученных методом ВЧ-магнетронного реактивного распыления, от температуры отжига и обработки ВЧ-ионным травлением. Методом рентгеноструктурного анализа исследована структура пленок. Установлено, что термический отжиг и ВЧ-ионное травление обеспечивают усиление интенсивности катодолюминесценции, главным образом, за счет увеличения средних размеров кристаллитов.
en
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
Functional Materials
Manufacturing technology, optical and spectral properties of nano-structurized thin ZnO films
Технологiя одержання та оптико-спектральнi властивостi наноструктурованих тонких плiвок ZnO
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Manufacturing technology, optical and spectral properties of nano-structurized thin ZnO films
spellingShingle Manufacturing technology, optical and spectral properties of nano-structurized thin ZnO films
Panasyuk, M.R.
Turko, B.I.
Kapustianik, V.B.
Lubochkova, G.A.
Rudyk, V.P.
Vas`kiv, A.P.
Davydov, V.M.
title_short Manufacturing technology, optical and spectral properties of nano-structurized thin ZnO films
title_full Manufacturing technology, optical and spectral properties of nano-structurized thin ZnO films
title_fullStr Manufacturing technology, optical and spectral properties of nano-structurized thin ZnO films
title_full_unstemmed Manufacturing technology, optical and spectral properties of nano-structurized thin ZnO films
title_sort manufacturing technology, optical and spectral properties of nano-structurized thin zno films
author Panasyuk, M.R.
Turko, B.I.
Kapustianik, V.B.
Lubochkova, G.A.
Rudyk, V.P.
Vas`kiv, A.P.
Davydov, V.M.
author_facet Panasyuk, M.R.
Turko, B.I.
Kapustianik, V.B.
Lubochkova, G.A.
Rudyk, V.P.
Vas`kiv, A.P.
Davydov, V.M.
publishDate 2005
language English
container_title Functional Materials
publisher НТК «Інститут монокристалів» НАН України
format Article
title_alt Технологiя одержання та оптико-спектральнi властивостi наноструктурованих тонких плiвок ZnO
description Dependence of cathodoluminescence parameters on the annealing temperature and RF ion etching has been studied for nano-structurized thin zinc oxide films obtained by RF magnetron reactive sputtering. The film structure has been characterized by X-ray diffraction. Thermal annealing and RF ion etching have been found to increase the cathodoluminescence intensity, mainly due to enlargement of the nanocrystallite mean size. Дослiджено залежнiсть параметрiв катодолюмiнесценцii наноструктурованих тонких плiвок оксиду цинку, отриманих методом ВЧ-магнетронного реактивного розпилення, вiд температури вiдпалу та обробки методом ВЧ-iонного травлення. Методом рентгено-структурного аналiзу дослiджено структуру плiвок. Встановлено, що термiчний вiдпал та ВЧ-iонне травлення забезпечують пiдсилення iнтенсивностi катодолюмiнесценцii, насамперед за рахунок зростання середнiх розмiрiв нанокристалiтiв. Исследована зависимость параметров катодолюминесценции наноструктурированных тонких пленок оксида цинка, полученных методом ВЧ-магнетронного реактивного распыления, от температуры отжига и обработки ВЧ-ионным травлением. Методом рентгеноструктурного анализа исследована структура пленок. Установлено, что термический отжиг и ВЧ-ионное травление обеспечивают усиление интенсивности катодолюминесценции, главным образом, за счет увеличения средних размеров кристаллитов.
issn 1027-5495
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139319
citation_txt Manufacturing technology, optical and spectral properties of nano-structurized thin ZnO films / M.R. Panasyuk, B.I. Turko, V.B. Kapustianik, G.A. Lubochkova, V.P. Rudyk, A.P. Vas`kiv, V.M. Davydov // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 4. — С. 746-749. — Бібліогр.: 23 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT panasyukmr manufacturingtechnologyopticalandspectralpropertiesofnanostructurizedthinznofilms
AT turkobi manufacturingtechnologyopticalandspectralpropertiesofnanostructurizedthinznofilms
AT kapustianikvb manufacturingtechnologyopticalandspectralpropertiesofnanostructurizedthinznofilms
AT lubochkovaga manufacturingtechnologyopticalandspectralpropertiesofnanostructurizedthinznofilms
AT rudykvp manufacturingtechnologyopticalandspectralpropertiesofnanostructurizedthinznofilms
AT vaskivap manufacturingtechnologyopticalandspectralpropertiesofnanostructurizedthinznofilms
AT davydovvm manufacturingtechnologyopticalandspectralpropertiesofnanostructurizedthinznofilms
AT panasyukmr tehnologiâoderžannâtaoptikospektralʹnivlastivostinanostrukturovanihtonkihplivokzno
AT turkobi tehnologiâoderžannâtaoptikospektralʹnivlastivostinanostrukturovanihtonkihplivokzno
AT kapustianikvb tehnologiâoderžannâtaoptikospektralʹnivlastivostinanostrukturovanihtonkihplivokzno
AT lubochkovaga tehnologiâoderžannâtaoptikospektralʹnivlastivostinanostrukturovanihtonkihplivokzno
AT rudykvp tehnologiâoderžannâtaoptikospektralʹnivlastivostinanostrukturovanihtonkihplivokzno
AT vaskivap tehnologiâoderžannâtaoptikospektralʹnivlastivostinanostrukturovanihtonkihplivokzno
AT davydovvm tehnologiâoderžannâtaoptikospektralʹnivlastivostinanostrukturovanihtonkihplivokzno
first_indexed 2025-12-01T09:29:39Z
last_indexed 2025-12-01T09:29:39Z
_version_ 1850859815180435456

Similar Items