Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films

Study results on effect of a low power (up to 1 W/cm²) UV and visible radiation on the structure and properties of diamond-like carbon nitride (α-C:N) films during their growth have been presented. The UV irradiation of the growing film surface has been found to be effective for the graphite phase e...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Functional Materials
Datum:2004
Hauptverfasser: Shalaev, R.V., Varyukhin, V.N., Prudnikov, A.M.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2004
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139485
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films / R.V.Shalaev, V.N.Varyukhin, A.M.Prudnikov // Functional Materials. — 2004. — Т. 11, № 3. — С. 617-619. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-139485
record_format dspace
spelling Shalaev, R.V.
Varyukhin, V.N.
Prudnikov, A.M.
2018-06-20T13:47:26Z
2018-06-20T13:47:26Z
2004
Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films / R.V.Shalaev, V.N.Varyukhin, A.M.Prudnikov // Functional Materials. — 2004. — Т. 11, № 3. — С. 617-619. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.
1027-5495
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139485
Study results on effect of a low power (up to 1 W/cm²) UV and visible radiation on the structure and properties of diamond-like carbon nitride (α-C:N) films during their growth have been presented. The UV irradiation of the growing film surface has been found to be effective for the graphite phase etching and to result in an improved structure ordering of the film and enhanced quality thereof.
Представлены результаты исследования воздействия УФ- и видимого излучения невысокой мощности (до 1 Вт/см² на структуру и свойства алмазоподобных пленок нитрида углерода α-C:N в процессе их роста. Обнаружено, что УФ-облучение ростовой поверхности пленок эффективно для травления графитной фазы, ведет к росту структурной упорядоченности пленок и улучшает их качество.
Представлено результати досліджєння впливу УФ- i видимого випромінювання невисокої потужності (до 1 Вт/см²) на структуру і властивості алмазоподібних плівок нітриду вуглецю α-C:N у процесі їхнього росту. Виявлено, що УФ-опромінення ростової поверхні плівок ефективно для травлення графітної фази, веде до росту структурної упорядкованості плівок і поліпшує їхню якість.
en
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
Functional Materials
Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films
Вплив УФ опромшення на структуру та властивості алмазоподібних плівок a- C:N
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films
spellingShingle Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films
Shalaev, R.V.
Varyukhin, V.N.
Prudnikov, A.M.
title_short Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films
title_full Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films
title_fullStr Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films
title_full_unstemmed Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films
title_sort influence of uv-radiation on structure and properties of diamond-like a-c:n films
author Shalaev, R.V.
Varyukhin, V.N.
Prudnikov, A.M.
author_facet Shalaev, R.V.
Varyukhin, V.N.
Prudnikov, A.M.
publishDate 2004
language English
container_title Functional Materials
publisher НТК «Інститут монокристалів» НАН України
format Article
title_alt Вплив УФ опромшення на структуру та властивості алмазоподібних плівок a- C:N
description Study results on effect of a low power (up to 1 W/cm²) UV and visible radiation on the structure and properties of diamond-like carbon nitride (α-C:N) films during their growth have been presented. The UV irradiation of the growing film surface has been found to be effective for the graphite phase etching and to result in an improved structure ordering of the film and enhanced quality thereof. Представлены результаты исследования воздействия УФ- и видимого излучения невысокой мощности (до 1 Вт/см² на структуру и свойства алмазоподобных пленок нитрида углерода α-C:N в процессе их роста. Обнаружено, что УФ-облучение ростовой поверхности пленок эффективно для травления графитной фазы, ведет к росту структурной упорядоченности пленок и улучшает их качество. Представлено результати досліджєння впливу УФ- i видимого випромінювання невисокої потужності (до 1 Вт/см²) на структуру і властивості алмазоподібних плівок нітриду вуглецю α-C:N у процесі їхнього росту. Виявлено, що УФ-опромінення ростової поверхні плівок ефективно для травлення графітної фази, веде до росту структурної упорядкованості плівок і поліпшує їхню якість.
issn 1027-5495
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139485
citation_txt Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films / R.V.Shalaev, V.N.Varyukhin, A.M.Prudnikov // Functional Materials. — 2004. — Т. 11, № 3. — С. 617-619. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT shalaevrv influenceofuvradiationonstructureandpropertiesofdiamondlikeacnfilms
AT varyukhinvn influenceofuvradiationonstructureandpropertiesofdiamondlikeacnfilms
AT prudnikovam influenceofuvradiationonstructureandpropertiesofdiamondlikeacnfilms
AT shalaevrv vplivufopromšennânastrukturutavlastivostíalmazopodíbnihplívokacn
AT varyukhinvn vplivufopromšennânastrukturutavlastivostíalmazopodíbnihplívokacn
AT prudnikovam vplivufopromšennânastrukturutavlastivostíalmazopodíbnihplívokacn
first_indexed 2025-11-26T22:56:10Z
last_indexed 2025-11-26T22:56:10Z
_version_ 1850779240174190592
fulltext ���������� �� �� ������ �� ���� ���� �� ����� �� ����� ������ ��������α���������� ���������� ������� ������ ������ ������ �������� ����� �� ��� ������� ��� ������������ �������� ������� �� �������� �� �������� � !�" #��$� �� ���� %&''( )������� ������� �� �� ��� ��� �� ������ �� � ��* +�*�� , + �� ' -.�� / �0 ��� 1���$�� ��������� �� ��� ��� �� �� ��� +��+������ �� �������2���� ���$�� ������� ,α2���/ ����� � ���� ����� ���*�� ��1� $��� +��������� 3�� �0 ����������� �� ��� ���*��� ���� � ����� ��� $��� �� �� �� $� �������1� ��� ��� ���+���� +���� ������� ��� �� ��� �� �� �� ��+��1�� ��� �� �� �������� �� ��� ���� ��� �������� 4 ����� �������� 567�89:;<7=> 67?@<�9:9> A88<7�B;:=AC ;B?�7D89;AC EF2 A ;A�AGB�B A?<@�7=AC =7;>8BHBD GBI=B89A ,�B ' J9.8G / =: 896@H9@6@ A 8;BD89;: :<G:?BKB�BL=>M K<7=BH =A96A�: @�<76B�: α2��� ; K6B�7887 AM 6B89:� NL=:6@O7=B� �9B EF2BL<@�7=A7 6B89B;BD KB;76M=B89A K<7=BH PQQ7H9A;=B �<C 96:;<7=AC �6:QA9=BD Q:?>� ;7�79 H 6B89@ 896@H2 9@6=BD @KB6C�B�7==B89A K<7=BH A @<@��:79 AM H:�789;B� )������2���� ��������������� ����� ��� � +������ �������� ��� ������� � ����� �����2 ��� � � �� ��4 � R�������R +��+������S ���� ��������� *��� ����������� �������� ��2 �������� $�����+���$������ ���� !������� �� ��� ���� +��+������ �� � ������� �� �����2 ����� �� ��� ���*�� ��������� �� �� ��+��2 ���� ������������� +��$���� ��� ���� �� ��������������� ��������� �� ��� ��� +���� ���� ��� ���*�� � ����� ��� �� � ����� $���� ���*� ��� ������ �#������� ���1��� ��� ���*�� ��� 4 ����� �� ��� �������� �$2 ������� 3�� ��������� ���� ���� �� ��� �� �� �� ������� ��� �������2���� ���� ����� ��2 ������ � ���� ����� ���*�� �� ��� �� ���� ���+�������1��� ��� �� T'U&V� � �� ��2 �������� ��� ��� � �� ������������ +����2 ���� ����� ���*�� +�������� �� ��� ������ �� � ����*��� �� ������� �������1��� ��� ��� �� �� ���*��� � ���� *���� ��� ���� ���� �� �0 ��� 1���$�� ��������� �� ��� �� �� ��� +��+���� �� �������2���� ���$�� ������� ����� T(V � ���� ����� ���*�� ��� $��� �� ����� 3�� α2�� ����� *��� ���*� $� ��������� �+ �2 ������ �� � ���+���� ������ �� + �� �������� �����+���� �� 4 ���W ����� � $�������� 3�� ���*��� � ����� �� ��� ���� ,� $������/ *�� ���������� *��� ��� ��� ��� ��������� �� � )!�X2 YZ ���� �� ���+ ���� �0 �������� �� +�*�� ������� �$� � ' -.�� � � ������ �� �������2���� ����� *��� +��+������ ��2 +������ ���������$�� �� ��� ��������� �+��2 ���� ��� �� �� *�� �$������� �� � � �������� +������� ��� ��� �� ���� +�������� �� ��� ������ ����� 3� �$���� ��� �������2���� ������ � �������� ��������� �� ���$������� *��� �� ��1����� 1�� � ��� + 0��2Y[ *�� ���� � ������ *�� �������� *���� ���� �� +����$�� �� ��������� ��� ������ ��� ��� � $������ � ����� *��� ��������������� ���������� ����� ��� �������� ������ �� ���2 ������ ��� + ��� ��� ����* �� �� �� � � �� ��� ������� 3�� ������ �������� �� � ������� $��� ��#�� �� ��� ������� ���� �� ��������� ��� +� � ��� ������ �� ��� $���� � ������� 2 ��� �+��� �� �� ��� ���� ���+���$�� �� ��W� �� ��� � $������� 3�� � ������ ������ ���+�� �� � ���� +���� �� ��#�� �� ��� $���� *��� ��� ���� ������� ������� ��� �+��� ��� 3�� � $������ �� +������ �� ��� ������ $� �+����� ����+��� +������ 3� �� �� �� +����$�� �� ��������� ��� � $������ ���� �$�1� *��� ��� ���+ ����� �������� � ���� ��� ���� ���*�� ,\��� '/� 3� ���� ���� � ����� ������ �� ��#�� �� ��� ������� ���� �$�1� ��� ������ �� ��� ����� (YZ� ���������� �+����� ���2 \ �������� [�������� ''� ���& , ZZ(/ ] ZZ( ^ ����� �� ��� ������ _������� ��������� ���� �� �� ��� �� ���� ��� ����� ,4 ���W ������/ ��� ��� �� ��� � ��2 ������� �� ��� � $������� 3�� ��� ��� �+�� ���� �� ��� � $������ �� % �� 'Z �� � � 4 ���W �+����� *����* ,\��� / *�� ��� �� +��� ��� ��������� ���� ��� *������ ����$�� �� 0��2Y[� 3�� �+������ ��� �� �� �� ��� ��������� *�� ������� ���� ����� �������� 3�� ������ *�� ������� � ����� �� ��� ����2 $�� �� � �� � ������ ���� ��� ��� ��1����2 ���� ��� � � $������ *��� ���������� �� ��������� ������� �� ��� ��������� $��� �� ��� �#+��������� 3�� � $������ ���+���� �� *�� 1����� *����� ������ �� 'YZ �� (YZ�_ ��� ���������� ���� � �������2�� ��� ����2 ���� +�� +��������� �� ��� �#������ ���� �� ��� ������� 3�� ������ *�� +�*���� ���� �� �������� ��` ���$�� 1������ �� ��� �� 0��2Y[� a ���W ����� +����� *��� ��� �� � $�������� � $������� *��� ������� �� � ��#�� ���1��� $����� ��� ���*��� +������� 3�� ��� +���� �� �� ��� ����$�� *�� ���2 ������� $� �++��+����� ��1���� �� ��� 1��2 � +��� ��� *�� �$� � Z� 3���� 3�� ���� ���*��� ���� *�� ' Z ��� ���� ����+�� � �������2���� ���$�� ������� ����� ,b ��� cd ������/ *��� �$������ *��� +��+������ 1�� ��� �1�� � *��� ������ 3�� ���+������ ��� ��������� �� ��� ����� *��� ������� $� ��� ��������� +��������� ,��� ��# +���� ��� ��������� � �����/� ��� � $2 ������ ���+���� ��� ��� ������ �� ��� ����2 ����������� ��������� �������� �� ��� � $2 ������� 3�� ���� ����� 1����� ���� ���� $��*� + �� ����� $��*� ��� ������� �+��2 ������+�� ���������� �� �������2���� α2�� ����� �� 1���$�� ��� ���� ! �+������ ������ ,*�1������� ����� efZ �� '�ZZ ��/ *��� ������� � � ���� � g[!2&[) �+�����2 +���������� 3�� ����� �� b ������ ���������� *��� � �� �+������ ����� �� ��� ���+� ������2 ���� ���� *��� ��� �0 ���+����� ��� ���2 �������� ,\��� &/ *�������� ��� � � �+����� �� ��� ����� ���*� *���� � ����2 ������� ��� ��+���� �� � �� �������2���� ����+�� � ���$�� ����� TYV� 3�� ���� ����2 ������ *��� ��� � �� ���+ �+������ ����� �� ����������W�� $� � ��*�� �����+������ $��� �� ! ��� �� 1���$�� �������� � ���� ����� ��� ����� $��� ����� ���������� ������� �� ���*��� � ����� ,�������� *��� �������1� �������/ ���� ��� ��� �� ��� ���� ��������� � � �� ������� ���+����W������ �� ��� ����2 ������� ���� *��� �0 ���+����� �� ��� �+���� � , ���� � ������/ ��� ���� �� ������2 �$�� ��� ��� ���� �����+������ $��� �� 1��2 �$�� ��� ! �+������ ������ ��� ��� � ����2 ���������� ����� $��*� ,������/ ������ -� ��� �� ���� ��� �0 ��������� �#����� ����2 �������� ��� ���*��� � ����� �� ��� ����� �� � ���������� ��$����� �� ���*��� �������� �� ��� � ����� ��� ���������� �� ��� ���+�2 ��� +���� �������� ��� ����� ������� ��� �� �� \��� � �+����� ������ ���� � 4 ���W ���+ �� ��������� �� ���� \��� '� ��������� 1��* �� ������ ��� �����2 ���� �� ���� \��� &� �$���+���� �+����� �� α2��� ����� ���*� ���� 1���� � ����������� ���������� ,b ������/S � � ���+� � ^ *���� � ���+h � ^ ������� ������� ��� �� � � � �! ����� �! "�# �$������ �� ��� ��% ��������� ���� �� �� ��� �� ���� �� ��������� ����� �� �+&.�+ ��$����W�� ����� ��� �� ��� ��� ���*�� �� ���� ������� ��� ����24 ����� ��� �� ��� T V� �+����� �� ��� cd ������ ����� �$������ �� 1���� � � $2 ������ ���+���� ��� ��� ���������� ���� $� �0 ���+����� �� ��� ���+ �+���� � ��� ���*� �� \��� (� � �� ���� ���� �� ��� � $2 ������ ���+���� �� ���������� ��� ���� �����+������ �� ��� ! ����� ��������� ���2 ������$��� �����+� ���� �� ������� �� �����2 ���� �� � �����2�������� �� ����� �� ��� ���� ��� �� �� �� ���+���� �� ���1������ \�� ��� ���� ���*� �� ��� � $������ ���+���� �� & i ZZ�_� � � $�������� �����+������ ��2 ��������� �� �$���1�� �� ��� ����� �� %ZZ ��� ���� ������� � � ����� ��������� 3�� *��� ��� ��� � ����� ���� ��� �02��2 ��������� �� ��� ���� ���*��� � ����� �� ��2 �����1� �� ��������� ��$����� ,�#��������/ �� �������� ���� ��� ���+����$�� ��� ��� ���� ���*�� ��� +��1���� �� ��������� ���������� �� ���+���� +���� �������� ��+��1�� ��� �2 � �� ��������� ��� �������� ���� 4 ����� *���� � ����������� ���+�������� �� ��� ���*��� ����������� ���� ����� '� !�-�"��$������ ��[�[������ ��)�[�� ��� �� ���� &��� �� �$ �� ��� ���� ''( ,'ff%/� � 0���0��� ����� !�0�������1� ��2_�j �� ���� '�(� '� )(( � *�+��� ��� "'&f& , ZZ /� &� ��[�� ��� ����b�� W������ 3�[�[�����1 �� ���� ,�� -.�(� &�� � ��/�� ��� &ee ,'f�f/� (� j�2��k��� 3����$���� j�[��� �� �� ���� &��� �� �$ �� ��� ���� '% ,'fff/� Y� l�)�������� ��l $��W��� ��b����� )(( � *�+�� 0����� ����������� �!" #$%&'�()�*$+*,�-.--/�-0�12+3423+3� 20�'%012&'*12��0%,05*$*��6-&7�$%�'*4�α���� �������� ! ���"���#�$�% �&�"�'#(�%�)*! 567�89:;<7=B 67?@<�9:9A �B8<��O7==C ;K<A;@ EF2 � ;A�AGB�B ;AK6BG�=�;:==C =72 ;A8BHBm KB9@O=B89� ,�B ' J9.8G / =: 896@H9@6@ � ;<:89A;B89� :<G:?BKB��L=AM K<�;BH =�96A�@ ;@�<7�� α2��� @ K6B�78� mM=�B�B 6B89@� JAC;<7=B� IB EF2BK6BG�=7==C 6B89B;Bm KB;76M=� K<�;BH 7Q7H9A;=B �<C 96:;<7==C �6:Q�9=Bm Q:?A� ;7�7 �B 6B89@ 896@H9@6=Bm @KB6C�HB;:=B89� K<�;BH � KB<�K�@n mM=� CH�89�� \��� (� �$���+���� �+����� �� α2��� ����� ���*� �� 1���� � � $������ ���+���� ��� ,cd ������/S � ^ 'YZ �_h � ^ ZZ �_h � ^ YZ �_h � ^ &YZ �_� ������� ��� �� � � � �! ����� �! "�# �$������ �� ��� ��������� ���� �� �� ��� �� ���� ��1