Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films
Study results on effect of a low power (up to 1 W/cm²) UV and visible radiation on the structure and properties of diamond-like carbon nitride (α-C:N) films during their growth have been presented. The UV irradiation of the growing film surface has been found to be effective for the graphite phase e...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Functional Materials |
|---|---|
| Datum: | 2004 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2004
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139485 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films / R.V.Shalaev, V.N.Varyukhin, A.M.Prudnikov // Functional Materials. — 2004. — Т. 11, № 3. — С. 617-619. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-139485 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Shalaev, R.V. Varyukhin, V.N. Prudnikov, A.M. 2018-06-20T13:47:26Z 2018-06-20T13:47:26Z 2004 Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films / R.V.Shalaev, V.N.Varyukhin, A.M.Prudnikov // Functional Materials. — 2004. — Т. 11, № 3. — С. 617-619. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1027-5495 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139485 Study results on effect of a low power (up to 1 W/cm²) UV and visible radiation on the structure and properties of diamond-like carbon nitride (α-C:N) films during their growth have been presented. The UV irradiation of the growing film surface has been found to be effective for the graphite phase etching and to result in an improved structure ordering of the film and enhanced quality thereof. Представлены результаты исследования воздействия УФ- и видимого излучения невысокой мощности (до 1 Вт/см² на структуру и свойства алмазоподобных пленок нитрида углерода α-C:N в процессе их роста. Обнаружено, что УФ-облучение ростовой поверхности пленок эффективно для травления графитной фазы, ведет к росту структурной упорядоченности пленок и улучшает их качество. Представлено результати досліджєння впливу УФ- i видимого випромінювання невисокої потужності (до 1 Вт/см²) на структуру і властивості алмазоподібних плівок нітриду вуглецю α-C:N у процесі їхнього росту. Виявлено, що УФ-опромінення ростової поверхні плівок ефективно для травлення графітної фази, веде до росту структурної упорядкованості плівок і поліпшує їхню якість. en НТК «Інститут монокристалів» НАН України Functional Materials Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films Вплив УФ опромшення на структуру та властивості алмазоподібних плівок a- C:N Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films |
| spellingShingle |
Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films Shalaev, R.V. Varyukhin, V.N. Prudnikov, A.M. |
| title_short |
Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films |
| title_full |
Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films |
| title_fullStr |
Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films |
| title_full_unstemmed |
Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films |
| title_sort |
influence of uv-radiation on structure and properties of diamond-like a-c:n films |
| author |
Shalaev, R.V. Varyukhin, V.N. Prudnikov, A.M. |
| author_facet |
Shalaev, R.V. Varyukhin, V.N. Prudnikov, A.M. |
| publishDate |
2004 |
| language |
English |
| container_title |
Functional Materials |
| publisher |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Вплив УФ опромшення на структуру та властивості алмазоподібних плівок a- C:N |
| description |
Study results on effect of a low power (up to 1 W/cm²) UV and visible radiation on the structure and properties of diamond-like carbon nitride (α-C:N) films during their growth have been presented. The UV irradiation of the growing film surface has been found to be effective for the graphite phase etching and to result in an improved structure ordering of the film and enhanced quality thereof.
Представлены результаты исследования воздействия УФ- и видимого излучения невысокой мощности (до 1 Вт/см² на структуру и свойства алмазоподобных пленок нитрида углерода α-C:N в процессе их роста. Обнаружено, что УФ-облучение ростовой поверхности пленок эффективно для травления графитной фазы, ведет к росту структурной упорядоченности пленок и улучшает их качество.
Представлено результати досліджєння впливу УФ- i видимого випромінювання невисокої потужності (до 1 Вт/см²) на структуру і властивості алмазоподібних плівок нітриду вуглецю α-C:N у процесі їхнього росту. Виявлено, що УФ-опромінення ростової поверхні плівок ефективно для травлення графітної фази, веде до росту структурної упорядкованості плівок і поліпшує їхню якість.
|
| issn |
1027-5495 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139485 |
| citation_txt |
Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films / R.V.Shalaev, V.N.Varyukhin, A.M.Prudnikov // Functional Materials. — 2004. — Т. 11, № 3. — С. 617-619. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT shalaevrv influenceofuvradiationonstructureandpropertiesofdiamondlikeacnfilms AT varyukhinvn influenceofuvradiationonstructureandpropertiesofdiamondlikeacnfilms AT prudnikovam influenceofuvradiationonstructureandpropertiesofdiamondlikeacnfilms AT shalaevrv vplivufopromšennânastrukturutavlastivostíalmazopodíbnihplívokacn AT varyukhinvn vplivufopromšennânastrukturutavlastivostíalmazopodíbnihplívokacn AT prudnikovam vplivufopromšennânastrukturutavlastivostíalmazopodíbnihplívokacn |
| first_indexed |
2025-11-26T22:56:10Z |
| last_indexed |
2025-11-26T22:56:10Z |
| _version_ |
1850779240174190592 |
| fulltext |
���������� ��
��
������ �� ����
����
��
�����
��
����� ������ �����������������
����������
�������
������
������
������
��������
�����
�� ��� ������� ��� ������������ �������� ������� ��
�������� �� �������� � !�"
#��$�
�� ���� %&''( )������� �������
��
�� ���
��� �� ������ �� � ��* +�*�� ,
+ �� ' -.�� / �0 ��� 1���$�� ��������� �� ���
���
��
�� ��� +��+������ �� �������2���� ���$�� ������� ,α2���/ ����� �
���� ����� ���*��
��1� $��� +��������� 3�� �0 ����������� �� ��� ���*��� ���� �
����� ��� $��� ��
�� �� $�
�������1� ��� ��� ���+���� +���� ������� ��� �� ���
�� �� �� ��+��1�� ���
��
�� �������� ��
��� ���� ��� �������� 4
����� ��������
567�89:;<7=> 67?@<�9:9> A88<7�B;:=AC ;B?�7D89;AC EF2 A ;A�AGB�B A?<@�7=AC
=7;>8BHBD GBI=B89A ,�B ' J9.8G / =: 896@H9@6@ A 8;BD89;: :<G:?BKB�BL=>M K<7=BH
=A96A�: @�<76B�: α2��� ; K6B�7887 AM 6B89:� NL=:6@O7=B� �9B EF2BL<@�7=A7 6B89B;BD
KB;76M=B89A K<7=BH PQQ7H9A;=B �<C 96:;<7=AC �6:QA9=BD Q:?>� ;7�79 H 6B89@ 896@H2
9@6=BD @KB6C�B�7==B89A K<7=BH A @<@��:79 AM H:�789;B�
)������2���� ��������������� ����� ��� �
+������ �������� ��� ������� � ����� �����2
��� �
� ��
��4
� R�������R +��+������S
���� ��������� *��� ����������� �������� ��2
�������� $�����+���$������ ���� !������� ��
��� ���� +��+������ �� �
������� �� �����2
����� �� ��� ���*�� ��������� �� �� ��+��2
���� ������������� +��$����
���
���� ��
��������������� ��������� �� ��� ��� +����
���� ��� ���*�� �
����� ��� �� �
�����
$���� ���*� ��� ������ �#������� ���1���
��� ���*�� ��� 4
����� �� ��� �������� �$2
������� 3�� ��������� ����
���� �� ���
��
��
�� ������� ��� �������2���� ���� ����� ��2
������ �
���� ����� ���*�� �� ��� ��
����
���+�������1��� ���
�� T'U&V� �
�� ��2
�������� ���
���
� ��
������������ +����2
����
����� ���*�� +�������� �� ��� ������
��
� ����*��� �� ������� �������1��� ���
���
��
�� ���*���
� ���� *���� ��� ����
���� �� �0 ���
1���$�� ��������� �� ���
��
�� ��� +��+����
�� �������2���� ���$�� ������� ����� T(V
�
���� ����� ���*�� ��� $��� ��
����� 3��
α2�� ����� *��� ���*� $� ��������� �+
�2
������ �� � ���+���� ������ �� +
�� ��������
�����+���� �� 4
���W ����� �
$�������� 3��
���*��� �
����� �� ��� ���� ,�
$������/ *��
���������� *��� ��� ���
��� ��������� �� �
)!�X2 YZ ����
�� ���+
���� �0 ��������
�� +�*�� ������� �$�
� ' -.�� � � ������
�� �������2���� ����� *��� +��+������ ��2
+������ ���������$�� �� ��� ��������� �+��2
���� ���
��
�� *�� �$������� ��
� �
��������
+�������
��� ���
��
���� +�������� �� ���
������ ����� 3� �$���� ��� �������2����
������ � �������� ��������� �� ���$�������
*��� ��
��1����� 1��
� ���
+ 0��2Y[
*��
���� � ������ *�� �������� *����
���� �� +����$�� �� ��������� ���
������
���
��� �
$������ �
����� *��� ���������������
���������� ����� ��� �������� ������ �� ���2
������ ���
+ ��� ��� ����* �� �� �� �
� ��
��� �������
3�� ������ �������� �� � ������� $���
��#�� �� ��� ������� ���� �� ���������
���
+�
� ��� ������ �� ��� $���� � �������
2
��� �+���
�� �� ���
���� ���+���$�� �� ��W�
�� ��� �
$������� 3�� �
������ ������
���+�� �� � ���� +���� �� ��#�� �� ��� $����
*��� ��� ���� ������� �������
��� �+���
���
3�� �
$������ �� +������ �� ��� ������ $�
�+����� ����+��� +������ 3�
�� �� �� +����$��
�� ��������� ��� �
$������ ���� �$�1� *���
��� ���+ ����� �������� �
���� ��� ����
���*�� ,\��� '/� 3� ���� ���� � ����� ������
�� ��#�� �� ��� ������� ���� �$�1� ��� ������
�� ��� ����� (YZ� ���������� �+����� ���2
\
�������� [�������� ''� ���& , ZZ(/ ] ZZ( ^
�����
�� ��� ������ _�������
���������
����
�� ��
���
��
���� ���
����� ,4
���W ������/ ���
��� �� ���
� ��2
������� �� ��� �
$������� 3�� ���
��� �+��
���� �� ��� �
$������ �� % �� 'Z �� � �
4
���W �+����� *����* ,\��� / *��
��� ��
+��� ��� ��������� ���� ��� *������ ����$��
�� 0��2Y[� 3�� �+������ ���
��
�� �� ���
��������� *�� �������
���� ����� ��������
3�� ������ *�� ������� �
����� �� ��� ����2
$�� �� �
�� � ������ ���� ��� ��� ��1����2
���� ��� � �
$������ *��� ���������� ��
��������� ������� �� ��� ��������� $��� ��
��� �#+��������� 3�� �
$������ ���+����
��
*�� 1����� *����� ������ �� 'YZ �� (YZ�_
��� ����������
���� � �������2��
��� ����2
����
+�� +��������� �� ��� �#������ ���� ��
��� ������� 3�� ������ *�� +�*����
����
�� �������� ��`
���$�� 1������ ��
��� ��
0��2Y[� a
���W ����� +����� *���
��� ��
�
$�������� �
$������� *��� ������� �� �
��#�� ���1��� $����� ��� ���*��� +�������
3�� ��� +����
�� �� ��� ����$�� *�� ���2
������� $� �++��+����� ��1���� �� ��� 1��2
� +��� ��� *�� �$�
� Z� 3���� 3�� ����
���*��� ���� *�� ' Z ���
����
����+��
� �������2���� ���$�� �������
����� ,b ��� cd ������/ *��� �$������ *���
+��+������ 1��
��� �1�� � *��� ������ 3��
���+������ ��� ��������� �� ��� ����� *���
������� $� ��� ��������� +��������� ,���
��# +����
��� ��������� �
�����/� ��� �
$2
������ ���+����
��� ��� ������ �� ��� ����2
����������� ��������� �������� �� ��� �
$2
������� 3�� ���� ����� 1����� ���� ����
$��*�
+ �� ����� $��*� ��� ������� �+��2
������+�� ���������� �� �������2���� α2��
����� �� 1���$�� ��� ����
! �+������ ������
,*�1������� ����� efZ �� '�ZZ ��/ *���
������� �
�
���� � g[!2&[) �+�����2
+���������� 3�� ����� �� b ������ ����������
*��� �
�� �+������ ����� �� ��� ���+� ������2
���� ���� *��� ��� �0 ���+����� ���
���2
�������� ,\��� &/ *��������
���
�
�
�+����� �� ��� ����� ���*� *����
� ����2
������� ��� ��+���� ��
�
�� �������2����
����+��
� ���$�� ����� TYV� 3�� ���� ����2
������ *��� ��� �
�� ���+ �+������ ����� ��
����������W�� $� � ��*�� �����+������ $���
��
! ��� �� 1���$�� ��������
� ���� �����
��� ����� $��� ����� ���������� ������� ��
���*��� �
����� ,�������� *��� �������1�
�������/ ���� ���
��� �� ��� ���� ���������
�
� �� ������� ���+����W������ �� ��� ����2
������� ���� *��� �0 ���+����� �� ���
�+����
� ,
���� � ������/ ��� ���� �� ������2
�$�� ��� ��� ���� �����+������ $��� �� 1��2
�$�� ���
! �+������ ������ ��� ��� � ����2
���������� ����� $��*� ,������/ ������ -�
���
�� ���� ��� �0 ��������� �#����� ����2
�������� ��� ���*��� �
����� �� ��� �����
��
� ���������� ��$����� �� ���*��� ��������
�� ��� �
����� ��� ���������� �� ��� ���+�2
��� +���� �������� ��� ����� ������� ���
�� ��
\��� � �+����� ������
���� � 4
���W ���+ ��
��������� ��
����
\��� '� ��������� 1��* �� ������ ��� �����2
���� ��
����
\��� &� �$���+���� �+����� �� α2��� ����� ���*�
���� 1����
� ����������� ���������� ,b ������/S
�
�
���+�
� ^ *����
� ���+h � ^ �������
������� ���
��
� �
�
�! �����
�!
"�#
�$������
��
���
��% ���������
����
�� ��
���
��
����
�� ��������� ����� �� �+&.�+ ��$����W��
����� ��� ��
��� ��� ���*�� �� ���� �������
��� ����24
����� ���
��
��� T V� �+����� ��
��� cd ������ ����� �$������ �� 1����
� �
$2
������ ���+����
��� ��� ���������� ���� $�
�0 ���+����� �� ��� ���+ �+����
� ���
���*� �� \��� (�
� �� ���� ���� �� ��� �
$2
������ ���+����
�� ���������� ��� ����
�����+������ �� ���
! ����� ��������� ���2
������$��� �����+� ���� �� ������� �� �����2
���� �� �
�����2�������� ��
����� �� ��� ����
���
��
�� �� ���+����
�� ���1������ \�� ���
���� ���*� �� ��� �
$������ ���+����
��
& i ZZ�_� � �
$�������� �����+������ ��2
��������� �� �$���1�� �� ��� ����� ��
%ZZ ��� ���� ������� � �
����� ���������
3�� *��� ���
��� �
����� ���� ��� �02��2
��������� �� ��� ���� ���*��� �
����� �� ��2
�����1� �� ��������� ��$����� ,�#��������/ ��
�������� ���� ��� ���+����$�� ��� ��� ����
���*�� ��� +��1���� �� ��������� ����������
�� ���+���� +���� �������� ��+��1�� ���
�2
�
�� ��������� ��� �������� ���� 4
�����
*����
� ����������� ���+�������� �� ���
���*��� �����������
����
�����
'� !�-�"��$������ ��[�[������ ��)�[��
��� ��
���� &���
�� �$
�� ��� ���� ''( ,'ff%/�
� 0���0���
����� !�0�������1� ��2_�j
�� ����
'�(�
'�
)(( �
*�+��� ��� "'&f& , ZZ /�
&� ��[��
��� ����b��
W������ 3�[�[�����1 ��
���� ,��
-.�(�
&��
�
��/�� ��� &ee ,'f�f/�
(� j�2��k��� 3����$���� j�[���
�� �� ���� &���
�� �$
�� ��� ���� '% ,'fff/�
Y� l�)�������� ��l
$��W��� ��b����� )(( �
*�+��
0����� ����������� �!"
#$%&'�()�*$+*,�-.--/�-0�12+3423+3�
20�'%012&'*12��0%,05*$*��6-&7�$%�'*4����
�������� !
���"���#�$�%
�&�"�'#(�%�)*!
567�89:;<7=B 67?@<�9:9A �B8<��O7==C ;K<A;@ EF2 � ;A�AGB�B ;AK6BG�=�;:==C =72
;A8BHBm KB9@O=B89� ,�B ' J9.8G / =: 896@H9@6@ � ;<:89A;B89� :<G:?BKB��L=AM K<�;BH
=�96A�@ ;@�<7�� α2��� @ K6B�78� mM=�B�B 6B89@� JAC;<7=B� IB EF2BK6BG�=7==C 6B89B;Bm
KB;76M=� K<�;BH 7Q7H9A;=B �<C 96:;<7==C �6:Q�9=Bm Q:?A� ;7�7 �B 6B89@ 896@H9@6=Bm
@KB6C�HB;:=B89� K<�;BH � KB<�K�@n mM=� CH�89��
\��� (� �$���+���� �+����� �� α2��� �����
���*� �� 1����
� �
$������ ���+����
��� ,cd
������/S � ^ 'YZ �_h � ^ ZZ �_h � ^ YZ �_h
� ^ &YZ �_�
������� ���
��
� �
�
�! �����
�!
"�#
�$������
��
���
���������
����
�� ��
���
��
���� ��1
|