Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании

Исследованы закономерности образования формы обрабатываемой поверхности прецизионной детали при полировании. На основе обобщенной физико-статистической модели образования и удаления частиц шлама, а также метода усреднения относительной скорости перемещения инструмента и детали получены зависимости с...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения
Date:2016
Main Authors: Филатов, Ю.Д., Сидорко, В.И., Ковалев, С.В., Ковалев, В.А., Юрчишин, О.Я., Ветров, А.Г.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2016
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139575
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, В.А. Ковалев, О.Я. Юрчишин, А.Г. Ветров // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2016. — Вип. 19. — С. 465-473. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862560762390642688
author Филатов, Ю.Д.
Сидорко, В.И.
Ковалев, С.В.
Ковалев, В.А.
Юрчишин, О.Я.
Ветров, А.Г.
author_facet Филатов, Ю.Д.
Сидорко, В.И.
Ковалев, С.В.
Ковалев, В.А.
Юрчишин, О.Я.
Ветров, А.Г.
citation_txt Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, В.А. Ковалев, О.Я. Юрчишин, А.Г. Ветров // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2016. — Вип. 19. — С. 465-473. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения
description Исследованы закономерности образования формы обрабатываемой поверхности прецизионной детали при полировании. На основе обобщенной физико-статистической модели образования и удаления частиц шлама, а также метода усреднения относительной скорости перемещения инструмента и детали получены зависимости съема обрабатываемого материала, характеризующие эволюцию формы полированной поверхности и отклонение от плоскостности. Досліджено закономірності утворення форми оброблюваної поверхні прецизійної деталі при поліруванні. На основі узагальненої фізико-статистичної моделі утворення та видалення частинок шламу, а також методу усереднення відносної швидкості переміщення інструмента і деталі отримано залежності знімання оброблюваного матеріалу, що характеризують еволюцію форми полірованої поверхні та відхилення від площинності. The regularities of formation forms a surface machined precision detail in the process of polishing. On the basis of the generalized physical-statistical model of the formation and removal of particles slime, and the method of averaging the relative speed of movement of the tool and workpiece are obtained depending removal of the processed material, characterizing the evolution of the shape of the polished surface and the deviation from flatness.
first_indexed 2025-11-25T23:07:45Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-139575
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2223-3938
language Russian
last_indexed 2025-11-25T23:07:45Z
publishDate 2016
publisher Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
record_format dspace
spelling Филатов, Ю.Д.
Сидорко, В.И.
Ковалев, С.В.
Ковалев, В.А.
Юрчишин, О.Я.
Ветров, А.Г.
2018-06-20T18:08:49Z
2018-06-20T18:08:49Z
2016
Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, В.А. Ковалев, О.Я. Юрчишин, А.Г. Ветров // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2016. — Вип. 19. — С. 465-473. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.
2223-3938
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139575
621.713
Исследованы закономерности образования формы обрабатываемой поверхности прецизионной детали при полировании. На основе обобщенной физико-статистической модели образования и удаления частиц шлама, а также метода усреднения относительной скорости перемещения инструмента и детали получены зависимости съема обрабатываемого материала, характеризующие эволюцию формы полированной поверхности и отклонение от плоскостности.
Досліджено закономірності утворення форми оброблюваної поверхні прецизійної деталі при поліруванні. На основі узагальненої фізико-статистичної моделі утворення та видалення частинок шламу, а також методу усереднення відносної швидкості переміщення інструмента і деталі отримано залежності знімання оброблюваного матеріалу, що характеризують еволюцію форми полірованої поверхні та відхилення від площинності.
The regularities of formation forms a surface machined precision detail in the process of polishing. On the basis of the generalized physical-statistical model of the formation and removal of particles slime, and the method of averaging the relative speed of movement of the tool and workpiece are obtained depending removal of the processed material, characterizing the evolution of the shape of the polished surface and the deviation from flatness.
ru
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения
Разработка и внедрение оборудования и инструмента, оснащенного твердыми сплавами, в различных отраслях промышленности
Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании
Precision shaping flat surfaces details of optics and microelectronics when polishing
Article
published earlier
spellingShingle Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании
Филатов, Ю.Д.
Сидорко, В.И.
Ковалев, С.В.
Ковалев, В.А.
Юрчишин, О.Я.
Ветров, А.Г.
Разработка и внедрение оборудования и инструмента, оснащенного твердыми сплавами, в различных отраслях промышленности
title Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании
title_alt Precision shaping flat surfaces details of optics and microelectronics when polishing
title_full Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании
title_fullStr Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании
title_full_unstemmed Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании
title_short Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании
title_sort точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании
topic Разработка и внедрение оборудования и инструмента, оснащенного твердыми сплавами, в различных отраслях промышленности
topic_facet Разработка и внедрение оборудования и инструмента, оснащенного твердыми сплавами, в различных отраслях промышленности
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139575
work_keys_str_mv AT filatovûd točnostʹformoobrazovaniâploskihpoverhnosteidetaleioptikiimikroélektronikipripolirovanii
AT sidorkovi točnostʹformoobrazovaniâploskihpoverhnosteidetaleioptikiimikroélektronikipripolirovanii
AT kovalevsv točnostʹformoobrazovaniâploskihpoverhnosteidetaleioptikiimikroélektronikipripolirovanii
AT kovalevva točnostʹformoobrazovaniâploskihpoverhnosteidetaleioptikiimikroélektronikipripolirovanii
AT ûrčišinoâ točnostʹformoobrazovaniâploskihpoverhnosteidetaleioptikiimikroélektronikipripolirovanii
AT vetrovag točnostʹformoobrazovaniâploskihpoverhnosteidetaleioptikiimikroélektronikipripolirovanii
AT filatovûd precisionshapingflatsurfacesdetailsofopticsandmicroelectronicswhenpolishing
AT sidorkovi precisionshapingflatsurfacesdetailsofopticsandmicroelectronicswhenpolishing
AT kovalevsv precisionshapingflatsurfacesdetailsofopticsandmicroelectronicswhenpolishing
AT kovalevva precisionshapingflatsurfacesdetailsofopticsandmicroelectronicswhenpolishing
AT ûrčišinoâ precisionshapingflatsurfacesdetailsofopticsandmicroelectronicswhenpolishing
AT vetrovag precisionshapingflatsurfacesdetailsofopticsandmicroelectronicswhenpolishing