Ellipsometric study of ion implanted copper surface and its room temperature oxidation
The room temperature oxidation of ion-implanted copper surface has been studied ex situ and in situ using ellipsometry. The ellipsometric parameters T and Д were measured at light incidence angle 75° for different wavelength values in the range of 280 to 760 nm using averaging both over two azimutha...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Functional Materials |
|---|---|
| Datum: | 2005 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2005
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139709 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Ellipsometric study of ion implanted copper surface and its room temperature oxidation / L.V. Poperenko, T. Lohner, V.S. Stashchuk, N.Q. Khanh, M.V. Vinnichenko, I.V. Yurgelevych, Essam Ramadan Shaaban, D.V. Nosach // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 1. — С. 83-86. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862659643507998720 |
|---|---|
| author | Poperenko, L.V. Lohner, T. Stashchuk, V.S. Khanh, N.Q. Vinnichenko, M.V. Yurgelevych, I.V. Essam Ramadan Shaaban Nosach, D.V. |
| author_facet | Poperenko, L.V. Lohner, T. Stashchuk, V.S. Khanh, N.Q. Vinnichenko, M.V. Yurgelevych, I.V. Essam Ramadan Shaaban Nosach, D.V. |
| citation_txt | Ellipsometric study of ion implanted copper surface and its room temperature oxidation / L.V. Poperenko, T. Lohner, V.S. Stashchuk, N.Q. Khanh, M.V. Vinnichenko, I.V. Yurgelevych, Essam Ramadan Shaaban, D.V. Nosach // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 1. — С. 83-86. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Functional Materials |
| description | The room temperature oxidation of ion-implanted copper surface has been studied ex situ and in situ using ellipsometry. The ellipsometric parameters T and Д were measured at light incidence angle 75° for different wavelength values in the range of 280 to 760 nm using averaging both over two azimuthal zones and single one. The oxide layer was removed from the copper surface during the aluminum ion implantation an then the growth of the newly formed oxide film on the ion implanted surface was studied by ellipsometry. Basing on the spectroellipsometric data, the oxide film thickness has been calculated for two types of copper oxides.
Проведены эллипсометрические исследования окисления при комнатной температуре ионно-имплантированных поверхностей меди. Эллипсометрические параметры T и Д измерены при угле падения света 75° для различных величин длины волны света в области 280—760 нм с усреднением как по двум, так и по одной азимутальным зонам. Оксидная пленка с поверхности меди удалялась в процессе ее имплантации ионами алюминия, а затем рост вновь формируемой пленки оксида меди на имплантированной поверхности исследован эллипсометрическим методом. Проведены на основе спектроэллипсометрических данных расчеты толщин пленок для двух типов оксидов меди.
Проведено еліпсометричні дослідження окиснення при кімнатній температурі іонно-імплантованих поверхонь міді. Еліпсометричні параметри Т і Д виміряно при куті падіння світла 75° для різних величин довжини хвилі світла в області 280-760 нм з усередненням як за двома, так і за однією азимутальними зонами. Оксидна плівка з поверхні міді розпилювалась у процесі її імплантації іонами алюмінію, і наступний ріст нової плівки оксиду міді на імплантованій поверхні досліджено еліпсометричним методом. На основі спектроеліпсометричних даних розраховано товщину плівок для двох типів оксидів міді.
|
| first_indexed | 2025-12-02T09:48:34Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-139709 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1027-5495 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-02T09:48:34Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Poperenko, L.V. Lohner, T. Stashchuk, V.S. Khanh, N.Q. Vinnichenko, M.V. Yurgelevych, I.V. Essam Ramadan Shaaban Nosach, D.V. 2018-06-21T09:17:25Z 2018-06-21T09:17:25Z 2005 Ellipsometric study of ion implanted copper surface and its room temperature oxidation / L.V. Poperenko, T. Lohner, V.S. Stashchuk, N.Q. Khanh, M.V. Vinnichenko, I.V. Yurgelevych, Essam Ramadan Shaaban, D.V. Nosach // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 1. — С. 83-86. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1027-5495 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139709 The room temperature oxidation of ion-implanted copper surface has been studied ex situ and in situ using ellipsometry. The ellipsometric parameters T and Д were measured at light incidence angle 75° for different wavelength values in the range of 280 to 760 nm using averaging both over two azimuthal zones and single one. The oxide layer was removed from the copper surface during the aluminum ion implantation an then the growth of the newly formed oxide film on the ion implanted surface was studied by ellipsometry. Basing on the spectroellipsometric data, the oxide film thickness has been calculated for two types of copper oxides. Проведены эллипсометрические исследования окисления при комнатной температуре ионно-имплантированных поверхностей меди. Эллипсометрические параметры T и Д измерены при угле падения света 75° для различных величин длины волны света в области 280—760 нм с усреднением как по двум, так и по одной азимутальным зонам. Оксидная пленка с поверхности меди удалялась в процессе ее имплантации ионами алюминия, а затем рост вновь формируемой пленки оксида меди на имплантированной поверхности исследован эллипсометрическим методом. Проведены на основе спектроэллипсометрических данных расчеты толщин пленок для двух типов оксидов меди. Проведено еліпсометричні дослідження окиснення при кімнатній температурі іонно-імплантованих поверхонь міді. Еліпсометричні параметри Т і Д виміряно при куті падіння світла 75° для різних величин довжини хвилі світла в області 280-760 нм з усередненням як за двома, так і за однією азимутальними зонами. Оксидна плівка з поверхні міді розпилювалась у процесі її імплантації іонами алюмінію, і наступний ріст нової плівки оксиду міді на імплантованій поверхні досліджено еліпсометричним методом. На основі спектроеліпсометричних даних розраховано товщину плівок для двох типів оксидів міді. en НТК «Інститут монокристалів» НАН України Functional Materials Ellipsometric study of ion implanted copper surface and its room temperature oxidation Еліпсометричні дослідження іонно-імплантованої поверхні міді та її окиснення при кімнатній температурі Article published earlier |
| spellingShingle | Ellipsometric study of ion implanted copper surface and its room temperature oxidation Poperenko, L.V. Lohner, T. Stashchuk, V.S. Khanh, N.Q. Vinnichenko, M.V. Yurgelevych, I.V. Essam Ramadan Shaaban Nosach, D.V. |
| title | Ellipsometric study of ion implanted copper surface and its room temperature oxidation |
| title_alt | Еліпсометричні дослідження іонно-імплантованої поверхні міді та її окиснення при кімнатній температурі |
| title_full | Ellipsometric study of ion implanted copper surface and its room temperature oxidation |
| title_fullStr | Ellipsometric study of ion implanted copper surface and its room temperature oxidation |
| title_full_unstemmed | Ellipsometric study of ion implanted copper surface and its room temperature oxidation |
| title_short | Ellipsometric study of ion implanted copper surface and its room temperature oxidation |
| title_sort | ellipsometric study of ion implanted copper surface and its room temperature oxidation |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139709 |
| work_keys_str_mv | AT poperenkolv ellipsometricstudyofionimplantedcoppersurfaceanditsroomtemperatureoxidation AT lohnert ellipsometricstudyofionimplantedcoppersurfaceanditsroomtemperatureoxidation AT stashchukvs ellipsometricstudyofionimplantedcoppersurfaceanditsroomtemperatureoxidation AT khanhnq ellipsometricstudyofionimplantedcoppersurfaceanditsroomtemperatureoxidation AT vinnichenkomv ellipsometricstudyofionimplantedcoppersurfaceanditsroomtemperatureoxidation AT yurgelevychiv ellipsometricstudyofionimplantedcoppersurfaceanditsroomtemperatureoxidation AT essamramadanshaaban ellipsometricstudyofionimplantedcoppersurfaceanditsroomtemperatureoxidation AT nosachdv ellipsometricstudyofionimplantedcoppersurfaceanditsroomtemperatureoxidation AT poperenkolv elípsometričnídoslídžennâíonnoímplantovanoípoverhnímídítaííokisnennâprikímnatníitemperaturí AT lohnert elípsometričnídoslídžennâíonnoímplantovanoípoverhnímídítaííokisnennâprikímnatníitemperaturí AT stashchukvs elípsometričnídoslídžennâíonnoímplantovanoípoverhnímídítaííokisnennâprikímnatníitemperaturí AT khanhnq elípsometričnídoslídžennâíonnoímplantovanoípoverhnímídítaííokisnennâprikímnatníitemperaturí AT vinnichenkomv elípsometričnídoslídžennâíonnoímplantovanoípoverhnímídítaííokisnennâprikímnatníitemperaturí AT yurgelevychiv elípsometričnídoslídžennâíonnoímplantovanoípoverhnímídítaííokisnennâprikímnatníitemperaturí AT essamramadanshaaban elípsometričnídoslídžennâíonnoímplantovanoípoverhnímídítaííokisnennâprikímnatníitemperaturí AT nosachdv elípsometričnídoslídžennâíonnoímplantovanoípoverhnímídítaííokisnennâprikímnatníitemperaturí |