Periodic structure formation in GaAs near-surface layer by laser beam with diffraction modulated intensity

• Veröffentlicht in: Functional Materials
• Datum: 2006
• Hauptverfasser: Moskal, D., Nadtochiy, V., Golodenko, N.
• Format: Artikel
• Sprache: Englisch
• Veröffentlicht: НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2006
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139940
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Periodic structure formation in GaAs near-surface layer by laser beam with diffraction modulated intensity / D. Moskal, V. Nadtochiy, N. Golodenko // Functional Materials. — 2006. — Т. 13, № 1. — С. 100-104. — Бібліогр.: 22 назв. — англ.

The method of grids was used to calculate thermoelastic stresses on GaAs surface
 caused by a non-destructive laser exposure with diffraction spatial intensity modulation from a screen with a rectangular cut-out. The structure of irradiated near-surface layers of samples was studied using optical method. Periodic insular structures formed due to diffusive redistribution of defects were revealed using the level-by-level chemical etching. Методом сеток проводился расчет термоупругих напряжений на поверхности GaAs, возникающих при неразрушающем лазерном облучении с дифракционной пространственной модуляцией интенсивности от непрозрачного экрана с прямоугольным вырезом. Оптическим методом исследовалась структура облученных приповерхностных слоев кристаллов. Послойным химическим травлением выявлены периодические островковые структуры, образованные в результате диффузионного перераспределения дефектов. Методом сiток виконано розрахунок термопружних напружень на поверхнi GaAs, що виникають при неруйнiвному лазерному опромiненнi з дифракцiйною просторовою модуляцiєю iнтенсивностi вiд непрозорого екрана з прямокутним вирiзом. Оптичним методом дослiджувалася структура опромiнених приповерхневих шарiв кристалiв. Пошаровим хiмiчним травленням виявленi перiодичнi острiвцевi структури, що утворенi внаслiдок дифузiйного перерозподiлу дефектiв.