Enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering
The authors investigate how and why defects influence the inverse characteristics of varactors. The paper presents experimental results on the effect laser gettering has on the electrical parameters of varactors. The mechanisms of the laser gettering effect on the parameters of varactors are analyze...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2018 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140622 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering / I.M. Vikulin, V.N. Litvinenko, S.V. Shutov, A.I. Maronchuk, A.N. Demenskiy, V.I. Glukhova // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2018. — № 2. — С. 29-32. — Бібліогр.: 14 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-140622 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Vikulin, I.M. Litvinenko, V.N. Shutov, S.V. Maronchuk, A.I. Demenskiy, A.N. Glukhova, V.I. 2018-07-12T13:00:55Z 2018-07-12T13:00:55Z 2018 Enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering / I.M. Vikulin, V.N. Litvinenko, S.V. Shutov, A.I. Maronchuk, A.N. Demenskiy, V.I. Glukhova // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2018. — № 2. — С. 29-32. — Бібліогр.: 14 назв. — англ. 2225-5818 DOI: 10.15222/TKEA2018.2.29 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140622 621.382.28 The authors investigate how and why defects influence the inverse characteristics of varactors. The paper presents experimental results on the effect laser gettering has on the electrical parameters of varactors. The mechanisms of the laser gettering effect on the parameters of varactors are analyzed. Варикапи широко використовуються в радіоелектроніці як змінна ємність, величина якої управляється напругою. Основними параметрами варикапа є його добротність, номінальна ємність, зворотний струм і коефіцієнт перекриття по ємності, який визначає частотний діапазон використання варикапа. Розробка варикапів зі зворотним градієнтом концентрації домішки в базі дала можливість значно збільшити коефіцієнт перекриття по ємності. При цьому, однак, виникла проблема, пов'язана з низьким виходом придатних приладів через розкид значень номінальної ємності структур по площі пластини, а також високого рівня їх зворотних струмів. Робота присвячена дослідженню впливу структурних дефектів на параметри кремнієвого варикапа зі зворотним градієнтом концентрації домішки в базі і можливості застосування лазерного гетерування для поліпшення його параметрів і підвищення виходу придатних приладів. Встановлено, що головною причиною низького відсотка виходу придатних досліджуваних варикапів є окислювальні дефекти упакування (ОДУ), що утворюються в активних областях структур в процесах проведення високотемпературних операцій. Детально розглянута запропонована технологія виготовлення структур варикапів з лазерним гетеруванням, а також особливості створення області гетера на зворотному боці пластин. Приведено експериментальні результати досліджень впливу лазерного гетерування на електричні параметри варикапів. Показано, що застосування розробленої технології дозволяє запобігти або істотно зменшити щільність ОДУ в активних областях структур, що дає можливість знизити рівень зворотних струмів і зменшити розкид значень номінальної ємності варикапів по площі пластини і, як наслідок, підвищити вихід придатних приладів. Работа посвящена исследованию влияния структурных дефектов на параметры кремниевого варикапа с обратным градиентом концентрации примеси в базе и возможности применения лазерного геттерирования для улучшения его параметров и повышения выхода годных приборов. Установлено, что главной причиной низкого процента выхода годных исследуемых варикапов являются окислительные дефекты упаковки (ОДУ), образующиеся в активных областях структур в процессах проведения высокотемпературных операций. Подробно рассмотрена предложенная технология изготовления структур варикапов с лазерным геттерированием, а также особенности создания области геттера на обратной стороне пластин. Приведены экспериментальные результаты исследований влияния лазерного геттерирования на электрические параметры варикапов. Показано, что применение разработанной технологии позволяет предотвратить или существенно уменьшить плотность ОДУ в активных областях структур, дает возможность снизить уровень обратных токов и уменьшить разброс значений номинальной емкости варикапов по площади пластины и, как следствие, повысить выход годных приборов. en Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering Поліпшення параметрів кремнієвих варикапів при використанні лазерного гетерування Улучшение параметров кремниевого варикапа при использовании лазерного геттерирования Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering |
| spellingShingle |
Enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering Vikulin, I.M. Litvinenko, V.N. Shutov, S.V. Maronchuk, A.I. Demenskiy, A.N. Glukhova, V.I. Технологические процессы и оборудование |
| title_short |
Enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering |
| title_full |
Enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering |
| title_fullStr |
Enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering |
| title_full_unstemmed |
Enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering |
| title_sort |
enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering |
| author |
Vikulin, I.M. Litvinenko, V.N. Shutov, S.V. Maronchuk, A.I. Demenskiy, A.N. Glukhova, V.I. |
| author_facet |
Vikulin, I.M. Litvinenko, V.N. Shutov, S.V. Maronchuk, A.I. Demenskiy, A.N. Glukhova, V.I. |
| topic |
Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| publishDate |
2018 |
| language |
English |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Поліпшення параметрів кремнієвих варикапів при використанні лазерного гетерування Улучшение параметров кремниевого варикапа при использовании лазерного геттерирования |
| description |
The authors investigate how and why defects influence the inverse characteristics of varactors. The paper presents experimental results on the effect laser gettering has on the electrical parameters of varactors. The mechanisms of the laser gettering effect on the parameters of varactors are analyzed.
Варикапи широко використовуються в радіоелектроніці як змінна ємність, величина якої управляється напругою. Основними параметрами варикапа є його добротність, номінальна ємність, зворотний струм і коефіцієнт перекриття по ємності, який визначає частотний діапазон використання варикапа. Розробка варикапів зі зворотним градієнтом концентрації домішки в базі дала можливість значно збільшити коефіцієнт перекриття по ємності. При цьому, однак, виникла проблема, пов'язана з низьким виходом придатних приладів через розкид значень номінальної ємності структур по площі пластини, а також високого рівня їх зворотних струмів. Робота присвячена дослідженню впливу структурних дефектів на параметри кремнієвого варикапа зі зворотним градієнтом концентрації домішки в базі і можливості застосування лазерного гетерування для поліпшення його параметрів і підвищення виходу придатних приладів. Встановлено, що головною причиною низького відсотка виходу придатних досліджуваних варикапів є окислювальні дефекти упакування (ОДУ), що утворюються в активних областях структур в процесах проведення високотемпературних операцій. Детально розглянута запропонована технологія виготовлення структур варикапів з лазерним гетеруванням, а також особливості створення області гетера на зворотному боці пластин. Приведено експериментальні результати досліджень впливу лазерного гетерування на електричні параметри варикапів. Показано, що застосування розробленої технології дозволяє запобігти або істотно зменшити щільність ОДУ в активних областях структур, що дає можливість знизити рівень зворотних струмів і зменшити розкид значень номінальної ємності варикапів по площі пластини і, як наслідок, підвищити вихід придатних приладів.
Работа посвящена исследованию влияния структурных дефектов на параметры кремниевого варикапа с обратным градиентом концентрации примеси в базе и возможности применения лазерного геттерирования для улучшения его параметров и повышения выхода годных приборов. Установлено, что главной причиной низкого процента выхода годных исследуемых варикапов являются окислительные дефекты упаковки (ОДУ), образующиеся в активных областях структур в процессах проведения высокотемпературных операций. Подробно рассмотрена предложенная технология изготовления структур варикапов с лазерным геттерированием, а также особенности создания области геттера на обратной стороне пластин. Приведены экспериментальные результаты исследований влияния лазерного геттерирования на электрические параметры варикапов. Показано, что применение разработанной технологии позволяет предотвратить или существенно уменьшить плотность ОДУ в активных областях структур, дает возможность снизить уровень обратных токов и уменьшить разброс значений номинальной емкости варикапов по площади пластины и, как следствие, повысить выход годных приборов.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140622 |
| citation_txt |
Enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering / I.M. Vikulin, V.N. Litvinenko, S.V. Shutov, A.I. Maronchuk, A.N. Demenskiy, V.I. Glukhova // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2018. — № 2. — С. 29-32. — Бібліогр.: 14 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT vikulinim enhancingparametersofsiliconvaractorsusinglasergettering AT litvinenkovn enhancingparametersofsiliconvaractorsusinglasergettering AT shutovsv enhancingparametersofsiliconvaractorsusinglasergettering AT maronchukai enhancingparametersofsiliconvaractorsusinglasergettering AT demenskiyan enhancingparametersofsiliconvaractorsusinglasergettering AT glukhovavi enhancingparametersofsiliconvaractorsusinglasergettering AT vikulinim polípšennâparametrívkremníêvihvarikapívprivikoristannílazernogogeteruvannâ AT litvinenkovn polípšennâparametrívkremníêvihvarikapívprivikoristannílazernogogeteruvannâ AT shutovsv polípšennâparametrívkremníêvihvarikapívprivikoristannílazernogogeteruvannâ AT maronchukai polípšennâparametrívkremníêvihvarikapívprivikoristannílazernogogeteruvannâ AT demenskiyan polípšennâparametrívkremníêvihvarikapívprivikoristannílazernogogeteruvannâ AT glukhovavi polípšennâparametrívkremníêvihvarikapívprivikoristannílazernogogeteruvannâ AT vikulinim ulučšenieparametrovkremnievogovarikapapriispolʹzovaniilazernogogetterirovaniâ AT litvinenkovn ulučšenieparametrovkremnievogovarikapapriispolʹzovaniilazernogogetterirovaniâ AT shutovsv ulučšenieparametrovkremnievogovarikapapriispolʹzovaniilazernogogetterirovaniâ AT maronchukai ulučšenieparametrovkremnievogovarikapapriispolʹzovaniilazernogogetterirovaniâ AT demenskiyan ulučšenieparametrovkremnievogovarikapapriispolʹzovaniilazernogogetterirovaniâ AT glukhovavi ulučšenieparametrovkremnievogovarikapapriispolʹzovaniilazernogogetterirovaniâ |
| first_indexed |
2025-12-07T20:30:04Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:30:04Z |
| _version_ |
1850882816109182976 |