Enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering

• Veröffentlicht in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Datum: 2018
• Hauptverfasser: Vikulin, I.M., Litvinenko, V.N., Shutov, S.V., Maronchuk, A.I., Demenskiy, A.N., Glukhova, V.I.
• Format: Artikel
• Sprache: English
• Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2018
• Schlagworte: Технологические процессы и оборудование
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140622
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering / I.M. Vikulin, V.N. Litvinenko, S.V. Shutov, A.I. Maronchuk, A.N. Demenskiy, V.I. Glukhova // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2018. — № 2. — С. 29-32. — Бібліогр.: 14 назв. — англ.

The authors investigate how and why defects influence the inverse characteristics of varactors. The paper presents experimental results on the effect laser gettering has on the electrical parameters of varactors. The mechanisms of the laser gettering effect on the parameters of varactors are analyze...