Влияние введения модификатора вязкости в растворы H₂O₂–HBr–этиленгликоль на химическое травление монокристаллов PbTe и твёрдых растворов Pb₁₋ₓSnₓTe

• Datum: 2017
• Hauptverfasser: Маланич, Г.П., Томашик, В.Н.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2017
• Schriftenreihe: Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140666
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Влияние введения модификатора вязкости в растворы H₂O₂–HBr–этиленгликоль на химическое травление монокристаллов PbTe и твёрдых растворов Pb₁₋ₓSnₓTe / Г.П. Маланич, В.Н. Томашик // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2017. — Т. 15, № 4. — С. 637–647. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Робота посвящена исследованию взаимодействия монокристаллических пластин PbTe и твёрдых растворов Pb₁₋ₓSnₓTe с бромвыделяющими травителями (H₂O₂–HBr–этиленгликоль)/этиленгликоль (ЭГ), разработке и оптимизации травильных композиций, а также методик их химической обработки для формирования высококачес...