Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 1998 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1998
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140765 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 22. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862567674849001472 |
|---|---|
| author | Новосядлый, С.П. |
| author_facet | Новосядлый, С.П. |
| citation_txt | Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 22. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| first_indexed | 2025-11-26T00:11:28Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-140765 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-26T00:11:28Z |
| publishDate | 1998 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Новосядлый, С.П. 2018-07-15T08:16:38Z 2018-07-15T08:16:38Z 1998 Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 22. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140765 ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Депонированные рукописи Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем Технологiя локальної iзоляцiї активних елементiв великих iнтегральних схем The technology of local insulation of LSIC active elements Article published earlier |
| spellingShingle | Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем Новосядлый, С.П. Депонированные рукописи |
| title | Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем |
| title_alt | Технологiя локальної iзоляцiї активних елементiв великих iнтегральних схем The technology of local insulation of LSIC active elements |
| title_full | Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем |
| title_fullStr | Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем |
| title_full_unstemmed | Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем |
| title_short | Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем |
| title_sort | технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем |
| topic | Депонированные рукописи |
| topic_facet | Депонированные рукописи |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140765 |
| work_keys_str_mv | AT novosâdlyisp tehnologiâlokalʹnoiizolâciiaktivnyhélementovbolʹšihintegralʹnyhshem AT novosâdlyisp tehnologiâlokalʹnoíizolâciíaktivnihelementivvelikihintegralʹnihshem AT novosâdlyisp thetechnologyoflocalinsulationoflsicactiveelements |