Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем

Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:1998
Автор: Новосядлый, С.П.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 1998
Теми:
Депонированные рукописи
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140765
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 22. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-140765
record_format dspace
spelling Новосядлый, С.П.
2018-07-15T08:16:38Z
2018-07-15T08:16:38Z
1998
Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 22. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140765
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Депонированные рукописи
Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем
Технологiя локальної iзоляцiї активних елементiв великих iнтегральних схем
The technology of local insulation of LSIC active elements
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем
spellingShingle Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем
Новосядлый, С.П.
Депонированные рукописи
title_short Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем
title_full Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем
title_fullStr Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем
title_full_unstemmed Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем
title_sort технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем
author Новосядлый, С.П.
author_facet Новосядлый, С.П.
topic Депонированные рукописи
topic_facet Депонированные рукописи
publishDate 1998
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Технологiя локальної iзоляцiї активних елементiв великих iнтегральних схем
The technology of local insulation of LSIC active elements
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140765
citation_txt Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 22. — рос.
work_keys_str_mv AT novosâdlyisp tehnologiâlokalʹnoiizolâciiaktivnyhélementovbolʹšihintegralʹnyhshem
AT novosâdlyisp tehnologiâlokalʹnoíizolâciíaktivnihelementivvelikihintegralʹnihshem
AT novosâdlyisp thetechnologyoflocalinsulationoflsicactiveelements
first_indexed 2025-11-26T00:11:28Z
last_indexed 2025-11-26T00:11:28Z
_version_ 1850596177423106048
fulltext 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890ÎÁÅÑÏÅ×ÅÍÈÅ ÒÅÏËÎÂÛÕ ÐÅÆÈÌΠÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1998, ¹ 2 22 óñëîâèÿì ýêñïåðèìåíòà. Îïèñàíèå ñòåíäà è íå- êîòîðûå ðåçóëüòàòû ýíåðãåòè÷åñêèõ õàðàêòåðèñ- òèê îõëàäèòåëÿ ïîäðîáíî îïèñàíû â ðàáîòå [2]. Ñðàâíèòåëüíàÿ õàðàêòåðèñòèêà ðàñõîäà ãàçà ïðåäñòàâëåía íà ðèñóíêå. Òàêèì îáðàçîì, ïðèâåäåííàÿ ìîäåëü ïîçâîëÿåò ïðîâîäèòü àíàëèç è ðàñ÷åò ïàðàìåòðîâ ïðîöåññîâ òåï- ëîïåðåíîñà â ñóáëèìàöèîííîì îõëàäèòåëå. Ðåçóëüòà- òû ìîäåëèðîâàíèÿ õîðîøî ñîãëàñóþòñÿ ñ ýêñïåðèìåí- òàëüíûìè äàííûìè. Ýòî ïîçâîëÿåò èñïîëüçîâàòü ìî- äåëü äëÿ îïðåäåëåíèÿ îïòèìàëüíûõ ðàçìåðîâ è ðå- æèìíûõ ïàðàìåòðîâ ñèñòåì ïðè èõ ïðîåêòèðîâàíèè. ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ 1. Âåðêèí Á. È., Ãåòìàíåö Â. Ô., Ìèõàëü÷åíêî Ð. Ñ. Òåïëîôèçèêà íèçêîòåìïåðàòóðíîãî îõëàæäåíèÿ.� Êèåâ. : Íàóêîâà äóìêà, 1980. 2. Ðîæåíöåâ À. Â., Çàñëàâñêèé Â. Ì. Êîíòàêòíûé òåïëîîáìåí ïðè ñóáëèìàöèè óãëåêèñëîòû íà ãàçîïðî- íèöàåìîé ìåòàëëè÷åñêîé ïîâåðõíîñòè / Îäåñ. ãîñ. àêàä. õîëîäà.� Îäåññà, 1994. Äåï. â ÃÍÒÁ Óêðàèíû 13.12.94 ã. ¹ 2400�Óê 94. Çàâèñèìîñòü ìàññîâîãî ðàñõîäà ãàçà îò òåïëîâîé íàãðóçêè: 1 � ýêñïåðèìåíò; 2 � ðàñ÷åò 1 2 Q, Âò m , 1 05 ê ã/ ñ 2 4 6 8 10 12 14 0 4 8 12 16 20 24 28 32 ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ËÎÊÀËÜÍÎÉ ÈÇÎËßÖÈÈ ÀÊÒÈÂÍÛÕ ÝËÅÌÅÍÒΠÁÎËÜØÈÕ ÈÍÒÅÃÐÀËÜÍÛÕ ÑÕÅÌ* * Ðåôåðàò. Ïîëíûé òåêñò ñòàòüè (íà óêðàèíñêîì ÿçûêå) íàõîäèòñÿ â ðåäàêöèè è âûñûëàåòñÿ ïî çàïðîñó. Òàêæå ñóùåñòâóåò ïðîáëåìà ñíèæåíèÿ ýëåêòðè÷åñ- êîé ïðî÷íîñòè ïîäçàòâîðíîãî îêèñëà èç-çà ýôôåêòà «áå- ëîé ïîëîñû». Îí çàêëþ÷àåòñÿ â òîì, ÷òî â ïðîöåññå ëîêàëüíîãî îêèñëåíèÿ â àêòèâíûõ îáëàñòÿõ îáðàçóåòñÿ íèòðèäíàÿ ïëåíêà è ôîðìèðóåòñÿ îêèñåë ìåíüøåé òîë- ùèíû è íèçêîé ýëåêòðè÷åñêîé ïðî÷íîñòè. Èñêëþ÷èòü óêàçàííûå ýôôåêòû ïîçâîëèëà ïðåäëà- ãàåìàÿ òåõíîëîãèÿ ôîðìèðîâàíèÿ ïîëèêðåìíèåâûõ ñïåé- ñåðîâ. Ïëåíêè ïîëèêðåìíèÿ è íèòðèäà êðåìíèÿ ôîðìè- ðóþòñÿ â åäèíîì öèêëå ñ âûñîêîé ñòåïåíüþ ðàâíîìåð- íîñòè. Ïëåíêà ïîëèêðåìíèÿ ïîëíîñòüþ áëîêèðóåò äèô- ôóçèþ àììèàêà, êîòîðûé ÿâëÿåòñÿ ïðè÷èíîé «áåëîé ïîëîñû» è âîçíèêíîâåíèÿ òåðìè÷åñêèõ íàïðÿæåíèé. Âî èçáåæàíèå äèôôóçèè èîíîâ B+ â îõðàííîé îáëàñ- òè èìïëàíòàöèÿ áîðà áûëà çàìåíåíà íà ëåãèðîâàíèå èîíàìè öåçèÿ, ÷òî îáåñïå÷èëî î÷åíü ìàëûé êîýôôèöèåíò äèô- ôóçèè èç-çà áîëüøîãî ðàäèóñà èîíîâ öåçèÿ. Ðàçðàáîòàííàÿ òåõíîëîãèÿ ïîçâîëÿåò ôîðìèðîâàòü àêòèâíûå ýëåìåíòû ÁÈÑ ðàçìåðàìè ìåíåå 1 ìêì. Ê. ò. í. Ñ. Ï. ÍÎÂÎÑßÄËÛÉ Óêðàèíà, ã. Èâàíî-Ôðàíêîâñê Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ 07.07 1997 ã. Ïîâûøåíèå ñòåïåíè èíòåãðàöèè ÁÈÑ îñóùåñòâëÿ- åòñÿ çà ñ÷åò ìèíèàòþðèçàöèè ýëåìåíòîâ, à ñëåäîâà- òåëüíî, òðåáóåò óñîâåðøåíñòâîâàíèÿ ìåòîäîâ èçîëÿöèè àêòèâíûõ ýëåìåíòîâ. Èçîëÿöèÿ ýëåìåíòîâ â ÌÎÏ-ÁÈÑ íåîáõîäèìà äëÿ ïðåäîòâðàùåíèÿ îáðàçîâàíèÿ «ïàðàçèò- íûõ» êàíàëîâ è ñíèæåíèÿ «ïàðàçèòíûõ» åìêîñòåé. Ñðå- äè èçâåñòíûõ ìåòîäîâ øèðîêîå ðàñïðîñòðàíåíèå ïîëó- ÷èëà òåõíîëîãèÿ ëîêàëüíîãî ôîðìèðîâàíèÿ ïîëåâîãî îêèñëà «LOCOS». Îäíàêî åå èñïîëüçîâàíèå ñòàíîâèò- ñÿ ïðîáëåìàòè÷íûì ïî ìåðå ìèíèàòþðèçàöèè ýëåìåí- òîâ ÁÈÑ. Íàèáîëåå âàæíîé ïðîáëåìîé ÿâëÿåòñÿ âòîðæåíèå ÷àñòè îêèñíîé ïëåíêè â âèäå «ïòè÷üåãî êëþâà» â àêòèâíóþ îáëàñòü, ÷òî óìåíüøàåò ðàçìåðû ýòîé îáëàñòè è òðåáóåò óâåëè÷åíèÿ ýëåìåíòà.  ñâîþ î÷åðåäü, ãîðèçîíòàëüíàÿ äèôôóçèÿ èîíîâ áîðà ïðèâîäèò ê óâåëè÷åíèþ ïîðîãîâîãî íàïðÿæåíèÿ è óìåíüøåíèþ ïîðîãîâîãî òîêà (ýôôåêò «óçêîãî êàíàëà»), ò. å. óõóäøàåò ýëåêòðîôèçè÷åñêèå ïàðàìåòðû. 123456789012345 123456789012345 123456789012345 123456789012345 123456789012345 123456789012345678901234567890121234567890123 123456789012345678901234567890121234567890123 123456789012345678901234567890121234567890123 123456789012345678901234567890121234567890123 123456789012345678901234567890121234567890123 ÄÅÏÎÍÈÐÎÂÀÍÍÛÅ ÐÓÊÎÏÈÑÈ 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 12345678901 12345678901 12345678901 12345678901 12345678901 12345678901 12345678901 12345678901 12345678901 12345678901 ×èòàòåëü çàèíòåðåñîâàëñÿ ÓÒÈËÈÇÀÖÈß ÌÅÄÜÑÎÄÅÐÆÀÙÈÕ ÐÀÑÒÂÎÐΠÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ ÏÅ×ÀÒÍÛÕ ÏËÀÒ Ñ ÏÎËÓ×ÅÍÈÅÌ ÔÓÍÃÈÖÈÄÀ (Ïóáëèêàöèÿ â «ÒÊÝÀ», 1997, ¹ 2, ñ. 30.) Ðîññèÿ, 111024, ã. Ìîñêâà, øîññå Ýíòóçèàñòîâ, 11 à, ÖÊÁ ðàäèîìàòåðèàëîâ. Äèðåêòîð Ëîáàíîâ Ãåðòðóä Âèêòîðîâè÷. Òåë. (095) 362-05-66. î Á Ð À Ò Í À ß Ñ Â ß Ç Ü

Схожі ресурси