Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 1998
• Main Author: Новосядлый, С.П.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 1998
• Subjects: Депонированные рукописи
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140765
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 22. — рос.