Новосядлый, С. (1998). Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago Style (17th ed.) CitationНовосядлый, С.П. "Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 1998.
MLA (8th ed.) CitationНовосядлый, С.П. "Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 1998.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.