Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 1998 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1998
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140766 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 39. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-140766 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Новосядлый, С.П. 2018-07-15T08:18:03Z 2018-07-15T08:18:03Z 1998 Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 39. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140766 ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Депонированные рукописи Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС Геттерування домiшкiв та дефектiв у системнiй технологiї мiкроелектронiки ВIС Impurities and defects gettering in system technology of LSIC microelectronics Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| spellingShingle |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС Новосядлый, С.П. Депонированные рукописи |
| title_short |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| title_full |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| title_fullStr |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| title_full_unstemmed |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| title_sort |
геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники бис |
| author |
Новосядлый, С.П. |
| author_facet |
Новосядлый, С.П. |
| topic |
Депонированные рукописи |
| topic_facet |
Депонированные рукописи |
| publishDate |
1998 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Геттерування домiшкiв та дефектiв у системнiй технологiї мiкроелектронiки ВIС Impurities and defects gettering in system technology of LSIC microelectronics |
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140766 |
| citation_txt |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 39. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT novosâdlyisp getterirovanieprimeseiidefektovvsistemnoitehnologiimikroélektronikibis AT novosâdlyisp getteruvannâdomiškivtadefektivusistemniitehnologiímikroelektronikivis AT novosâdlyisp impuritiesanddefectsgetteringinsystemtechnologyoflsicmicroelectronics |
| first_indexed |
2025-12-07T18:15:21Z |
| last_indexed |
2025-12-07T18:15:21Z |
| _version_ |
1850874341011488768 |