Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 1998 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1998
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140766 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 39. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862718595435331584 |
|---|---|
| author | Новосядлый, С.П. |
| author_facet | Новосядлый, С.П. |
| citation_txt | Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 39. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| first_indexed | 2025-12-07T18:15:21Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-140766 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:15:21Z |
| publishDate | 1998 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Новосядлый, С.П. 2018-07-15T08:18:03Z 2018-07-15T08:18:03Z 1998 Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 39. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140766 ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Депонированные рукописи Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС Геттерування домiшкiв та дефектiв у системнiй технологiї мiкроелектронiки ВIС Impurities and defects gettering in system technology of LSIC microelectronics Article published earlier |
| spellingShingle | Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС Новосядлый, С.П. Депонированные рукописи |
| title | Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| title_alt | Геттерування домiшкiв та дефектiв у системнiй технологiї мiкроелектронiки ВIС Impurities and defects gettering in system technology of LSIC microelectronics |
| title_full | Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| title_fullStr | Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| title_full_unstemmed | Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| title_short | Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| title_sort | геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники бис |
| topic | Депонированные рукописи |
| topic_facet | Депонированные рукописи |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140766 |
| work_keys_str_mv | AT novosâdlyisp getterirovanieprimeseiidefektovvsistemnoitehnologiimikroélektronikibis AT novosâdlyisp getteruvannâdomiškivtadefektivusistemniitehnologiímikroelektronikivis AT novosâdlyisp impuritiesanddefectsgetteringinsystemtechnologyoflsicmicroelectronics |