Cover Image

Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:	1998
Main Author:	Новосядлый, С.П.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 1998
Subjects:	Депонированные рукописи
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140766
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 39. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем
by: Новосядлый, С.П.
Published: (1998)

Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала
by: Буджак, Я.С., et al.
Published: (1998)

Юстировка пороговых напряжений в технологии БИС
by: Новосядлый, С.П., et al.
Published: (1999)

Про першоздання Києва
by: Даниленко, В.М.
Published: (2012)

Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
by: Новосядлый, С.П.
Published: (2002)

Проблемы и задачи развития технологий микроэлектроники в Украине
by: Перевертайло, В.Л.
Published: (2007)

Проблемы и задачи развития технологий микроэлектроники в Украине
by: Перевертайло, В.Л.
Published: (2006)

Проблемы и задачи развития технологий микроэлектроники в Украине
by: Perevertailo, V. L.
Published: (2007)

Фотоэлектрическая активность дефектов слоистого кристалла TlInS₂ в присутствии примесей лантана
by: Seyidov, М.Yu., et al.
Published: (2014)

Исследование дефектов и примесей в допированных детонационных наноалмазах методами ЭПР, РД и КРС
by: Долматов, В.Ю., et al.
Published: (2016)

Об оптимизации классической и системной
by: Яцкевич, В.В.
Published: (2008)

Датчики ускорений на базе микромеханики и микроэлектроники
by: Голуб, В.С.
Published: (2001)

Влияние примесей и структурных дефектов на электрофизические и детекторные свойства CdTe и CdZnTe
by: Кондрик, А.И., et al.
Published: (2019)

Оптимизация уровня безотказности в сложных устройствах микроэлектроники
by: Креденцер, Б.П., et al.
Published: (2002)

Изменение сверхпроводящих, транспортных и микроскопических характеристик переходных металлов при введении примесей внедрения и деформационных дефектов
by: Соколенко, В.И., et al.
Published: (2001)

Программа развития конкурентоспособных направлений микроэлектроники в Украине
by: Падалко, В.Г., et al.
Published: (1999)

Усовершенствованный метод выявления «горячих точек» в изделиях микроэлектроники
by: Попов, В.М., et al.
Published: (2008)

Вопросы системной надежности доменного производства
by: Бородулин, А.В., et al.
Published: (2012)

Получение высокочистых галлия, цинка, кадмия и теллура для микроэлектроники
by: Ковтун, Г.П., et al.
Published: (2001)

Онтологические модели систем и процесса системной инженерии
by: Межуев, В.И.
Published: (2010)

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2006)

Усовершенствованный метод выявления «горячих точек» в изделиях микроэлектроники
by: Popov, V. M., et al.
Published: (2008)

Современное сборочное оборудование для микроэлектроники из Беларуси
Published: (1998)

Физика Земли, атмосферы и геокосмоса в свете системной парадигмы
by: Черногор, Л.Ф.
Published: (2003)

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
by: Belyanin, A. F., et al.
Published: (2006)

Основы системной методологии современной полипарадигмальной лингвистики и терминоведения
by: Комарова, З.И.
Published: (2013)

Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники
by: Ажажа, В.М., et al.
Published: (2002)

Мировые тенденции развития микроэлектроники и место Республики Беларусь в этом процессе
by: Белоус, А.И., et al.
Published: (2012)

Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании
by: Филатов, Ю.Д., et al.
Published: (2016)

Технология системной интеграции аппаратных и программных средств зашиты информации
by: Алишов, Н.И., et al.
Published: (2010-12)

Мировые тенденции развития микроэлектроники и место Республики Беларусь в этом процессе
by: Belous, A. I., et al.
Published: (2012)

Аппликация системной методологии в социологической и статистической рефлексии современных трансграничных процессов
by: Устич, С.
Published: (2014)

Энергия активации электровосстановления бис-гидроксиэтилиминодиацетатных комплексов палладия
by: Кублановский, В.С., et al.
Published: (2011)

Разработка системной оптимизации протоколов криоконсервирования клеточных суспензий
by: Хофманн, Н., et al.
Published: (2011)

Иммуногистохимический профиль пораженной кожи при системной склеродермии
by: Романенко, К.В.
Published: (2010)

Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники
by: Филатов, Ю.Д., et al.
Published: (2017)

Влияние немагнитных примесей и дефектов на сверхпроводящие парные корреляции с s*-и dx²-y² -симметрией и локализация конденсата куперовских пар в высокотемпературных сверхпроводниках
by: Елесин, В.Ф., et al.
Published: (1996)

БИС электронных пластиковых карт с предварительной оплатой
by: Сидоренко, В.П., et al.
Published: (2001)

Специализированные БИС на основе базовых матричных кристаллов
by: Грунянская, В.П., et al.
Published: (2000)

Методы минимизации энергопотребления при проектировании КМОП БИС
by: Белоус, А.И., et al.
Published: (2008)