Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ
Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 1998 |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1998
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140770 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 15. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862540797505699840 |
|---|---|
| citation_txt | Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 15. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1.
|
| first_indexed | 2025-11-24T16:07:38Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-140770 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-24T16:07:38Z |
| publishDate | 1998 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | 2018-07-15T11:15:47Z 2018-07-15T11:15:47Z 1998 Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 15. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140770 Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Научно-промышленные центры СНГ Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ Article published earlier |
| spellingShingle | Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ Научно-промышленные центры СНГ |
| title | Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ |
| title_full | Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ |
| title_fullStr | Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ |
| title_full_unstemmed | Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ |
| title_short | Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ |
| title_sort | установка автоматического контроля топологии фотошаблонов эм-602эам |
| topic | Научно-промышленные центры СНГ |
| topic_facet | Научно-промышленные центры СНГ |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140770 |