Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ
Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1....
Збережено в:
| Дата: | 1998 |
|---|---|
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1998
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140770 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 15. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-140770 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| fulltext |
123456789012345678901234567890121234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789
123456789012345678901234567890121234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789
123456789012345678901234567890121234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789ÊÀ×ÅÑÒÂÎ È ÍÀÄÅÆÍÎÑÒÜ ÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1998, ¹3�4
15
Èññëåäîâàíèå ýòèõ ðèñóíêîâ äàëî ñëåäóþùèå
ðåçóëüòàòû. Íà ðèñ. 3 ãðàôèê 2 ðåãðåññèè, ñîñòàâ-
ëåííûé ïî ðåçóëüòàòàì îáðàáîòêè âûáîðêè îáúåìîì
200 ïðè îòëè÷íîì îò íîðìàëüíîãî çàêîíå ðàñïðåäå-
ëåíèÿ (ñäâèã âïðàâî � ëîãàðèôìèðîâàíèå), ïðàê-
òè÷åñêè ïîëíîñòüþ ñîâïàäàåò ñ ãðàôèêîì 1 ìîäè-
ôèöèðîâàííîãî èíäåêñà Ôåõíåðà ïðè íîðìàëüíîì
çàêîíå ðàñïðåäåëåíèÿ. Èçìåíåíèå çàêîíà ðàñïðåäå-
ëåíèÿ ñäâèãîì âëåâî (âîçâåäåíèå â ñòåïåíü) äàåò
íåêîòîðîå îòêëîíåíèå ãðàôèêà ðåãðåññèè 3 îò ãðà-
ôèêà ÌÈÔ 1 ïðè íîðìàëüíîì çàêîíå ðàñïðåäåëå-
0 0,2 0,4 0,6 0,8 r
f*, r
0,8
0,6
0,4
0,2
0,0
�0,2
2
1
r
3
Ðèñ. 4
íèÿ. Òî æå ìîæíî ñêàçàòü è î ãðàôèêàõ ðåãðåññèé
íà ðèñ. 4, ñîñòàâëåííûõ ïî ðåçóëüòàòàì îáðàáîòêè
âûáîðêè îáúåìîì 100.
Èòàê, ïðè ñäâèãå âïðàâî êîýôôèöèåíò êîððåëÿ-
öèè è ìîäèôèöèðîâàííûé èíäåêñ Ôåõíåðà ïðàêòè-
÷åñêè ñîâïàäàþò â ïðåäåëàõ êîðèäîðà ñóùåñòâîâà-
íèÿ, à ïðè ñäâèãå âëåâî íàáëþäàåòñÿ ñìåùåíèå è
íåêîòîðîå îòêëîíåíèå îò áèññåêòðèñû ïðÿìîãî óãëà.
 ðåçóëüòàòå ìîæíî ñäåëàòü âûâîä î òîì, ÷òî
ïðè çàêîíå ðàñïðåäåëåíèÿ, îòëè÷íîì îò íîðìàëüíî-
ãî, ñ èçìåíåíèåì îáúåìà âûáîðêè ìîäèôèöèðîâàí-
íûé èíäåêñ Ôåõíåðà îñòàåòñÿ äîñòàòî÷íî ñòàáèëü-
íûì, êðîìå òîãî, åãî ÷èñëåííîå çíà÷åíèå íåíàìíîãî
îòëè÷àåòñÿ îò åãî æå ñîáñòâåííûõ çíà÷åíèé ïðè íîð-
ìàëüíîì çàêîíå ðàñïðåäåëåíèÿ. Êðîìå òîãî, ÌÈÔ
ïî ñâîåìó ÷èñëåííîìó çíà÷åíèþ áëèçîê è ê êîýôôè-
öèåíòó êîððåëÿöèè âî âñåì äèàïàçîíå îò 0,33 äî 0,99.
 çàêëþ÷åíèå ìîæíî ñêàçàòü, ÷òî íàìè íàéäåíà
ìåðà òåñíîòû ëèíåéíîé êîððåëÿöèîííîé ñâÿçè, ðî-
áàñòíàÿ ê íàëè÷èþ ãðóáûõ ïðîìàõîâ (äî 7% îò îáú-
åìà ïàðíîé âûáîðêè) è ê âèäó çàêîíà ðàñïðåäåëå-
íèÿ ñëó÷àéíûõ âåëè÷èí (äëÿ óíèìîäàëüíûõ çàêî-
íîâ). Ïðè ýòîì îáúåì ïàðíûõ âûáîðîê â äèàïàçîíå
ñâûøå 100 íåçíà÷èòåëüíî âëèÿåò íà îøèáêó îïðå-
äåëåíèÿ ìîäèôèöèðîâàííîãî èíäåêñà Ôåõíåðà, à â
äèàïàçîíå 30�100 ñîñòàâëÿåò äî 10% îò èñòèííîãî.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Ôåðñòåð Ý., Ðåíö Á. Ìåòîäû êîððåëÿöèîííîãî
è ðåãðåññèîííîãî àíàëèçà.� Ì. : Ôèíàíñû è ñòàòèñòè-
êà, 1983.
2. Øåñòàêîâà Ò. Â., Äîëãîâ À. Þ. Ïîâûøåíèå óñ-
òîé÷èâîñòè ìåòîäà êîððåëÿöèîííûõ ïëåÿä // Òåç. äîêë.
XXXIV ÑÍÒÊ âóçîâ ðåñïóáëèê Ïðèáàëòèêè, Áåëîðóñ-
ñèè è Ìîëäàâèè, 30 ÿíâ.� 3 ôåâð. 1990 ã.� Êàóíàñ :
ÊÏÈ, 1990.� Ò. 2.� Ñ. 108.
3. Ìèòðîïîëüñêèé À. Ê. Òåõíèêà ñòàòèñòè÷åñêèõ
âû÷èñëåíèé.� Ì. : Íàóêà, 1971
Óñòàíîâêà àâòîìàòè÷åñêîãî êîíòðîëÿ òîïîëîãèè ôîòîøàáëîíîâ
ÝÌ-602ÝÀÌ
Ïðåäíàçíà÷åíà äëÿ àâòîìàòè÷åñêîãî îáíàðóæåíèÿ äåôåêòîâ òîïîëîãèè ôîòîøàáëîíîâ, èñïîëüçó-
åìûõ äëÿ ïðîèçâîäñòâà èíòåãðàëüíûõ ìèêðîñõåì ïðè ïðîåêöèîííîé ëèòîãðàôèè â ìàñøòàáå 10:1 è
5:1. Êîíòðîëü ïðîèçâîäèòñÿ ìåòîäîì ñðàâíåíèÿ ñ ïðîåêòíûìè äàííûìè. Ðàçìåðû ìèíèìàëüíûõ îáíà-
ðóæèâàåìûõ äåôåêòîâ ñîñòàâëÿþò 0,7×0,7 ìêì è 0,5×1,0 ìêì ïðè âåðîÿòíîñòè îáíàðóæåíèÿ 0,95.
Í À Ó × ÍÎ-ÏÐÎÌÛØËÅÍÍÛ Å Ö Å Í Ò Ð Û Ñ Í Ã
ÊÁÒÝÌ-ÎÌÎ
Ïðîèçâîäèòåëüíîñòü êîíòðîëÿ:
â ðåæèìå âûñîêîé êðàòíîñòè
â ðåæèìå ñðåäíåé êðàòíîñòè
â ðåæèìå íèçêîé êðàòíîñòè
Òèïîðàçìåðû øàáëîíîâ
Ðàçìåðû ðàáî÷åãî ïîëÿ
2,5 ìì2/ñ (1 ÷ 10 ìèí ïî ïîëþ
100×100 ìì)
5,0 ìì2/ñ (35 ìèí ïî ïîëþ
100×100 ìì)
15,0 ìì2/ñ (12 ìèí ïî ïîëþ
100×100 ìì)
3×3" (76×76 ìì)
4×4" (102×102 ìì)
5×5" (127×127 ìì)
6×6" (153×153 ìì)
7×7" (178×178 ìì)
153×153 ìì
|
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1407702025-02-23T19:33:00Z Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ Научно-промышленные центры СНГ Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1. 1998 Article Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 15. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140770 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Научно-промышленные центры СНГ Научно-промышленные центры СНГ |
| spellingShingle |
Научно-промышленные центры СНГ Научно-промышленные центры СНГ Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1. |
| format |
Article |
| title |
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ |
| title_short |
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ |
| title_full |
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ |
| title_fullStr |
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ |
| title_full_unstemmed |
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ |
| title_sort |
установка автоматического контроля топологии фотошаблонов эм-602эам |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
1998 |
| topic_facet |
Научно-промышленные центры СНГ |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140770 |
| citation_txt |
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 15. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| first_indexed |
2025-11-24T16:07:38Z |
| last_indexed |
2025-11-24T16:07:38Z |
| _version_ |
1849688545293238272 |