Зображення обкладинки

Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ

Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1....

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:	1998
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 1998
Теми:	Научно-промышленные центры СНГ
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140770
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 15. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ
Опубліковано: (1999)

Установка предварительной настройки кварцевых резонаторов ЭМ-6310
за авторством: Сасин, М.К., та інші
Опубліковано: (1999)

Широкоформатная система экспонирования ЭМ-5034
Опубліковано: (1999)

Лазерный генератор изображений ЭМ-5009В
Опубліковано: (1998)

Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5299Б
Опубліковано: (1998)

Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
Опубліковано: (1998)

КБТЭМ-ОМО - современный центр проектирования и производства оптико-механического и контрольно-измерительного оборудования
Опубліковано: (1998)

Современное сборочное оборудование для микроэлектроники из Беларуси
Опубліковано: (1998)

Львовское Научно-производственное предприятие "Карат"
Опубліковано: (1998)

ГНПП «КБТЭМ-СО» — официальный дилер немецкого филиала фирмы SМС в Республике Беларусь
за авторством: Волков, А.С.
Опубліковано: (1999)

Микроскоп МКИ-2М
Опубліковано: (1999)

Харьковский государственный технический университет радиоэлектроники
Опубліковано: (1998)

Черкасский инженерно-технологический институт
за авторством: Лега, Ю.Г.
Опубліковано: (2000)

Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
за авторством: Крылов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2007)

Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
за авторством: Krylov, V. N., та інші
Опубліковано: (2007)

Система контроля топологии печатных плат
за авторством: Байрак, С.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Система автоматического управления и контроля контактной точечной сварки
за авторством: Гавриш, В.С., та інші
Опубліковано: (2007)

Автоматизированная система подготовки информации для изготовления фотошаблонов
за авторством: Шестаков, Е.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Система искусственного интеллекта для технической диагностики фотошаблонов
за авторством: Козина, Ю.Ю., та інші
Опубліковано: (2012)

Система искусственного интеллекта для технической диагностики фотошаблонов
за авторством: Kozina, Yu. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Модернизация генератора изображений ЭМ-559 БМ
за авторством: Лопаткин, А.В., та інші
Опубліковано: (1998)

Assessment of Phenol Detoxification by Rhodococcus aetherivorans USM Ac-602 Using the Phytotesting Method
за авторством: L. A. Khomenko, та інші
Опубліковано: (2021)

Построение многоканальных устройств автоматического контроля с учетом свойств наблюдаемости датчиков
за авторством: Сопель, М.Ф., та інші
Опубліковано: (2012)

Установка для экспресс-контроля глубины охлаждения термоэлектрических микромодулей Пельтье
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)

Установка для экспресс-контроля глубины охлаждения термоэлектрических микромодулей Пельтье
за авторством: Ascheulov, А. А., та інші
Опубліковано: (2007)

Повышение помехоустойчивости бинаризации изображений фотошаблонов в пространстве вейвлет-преобразования
за авторством: Щербакова, Г.Ю., та інші
Опубліковано: (2011)

Об экспоненциальной топологии
за авторством: Линичук, Р.С., та інші
Опубліковано: (1983)

Установка для контроля глубины выгорания отработавших тепловыделяющих сборок РБМК1000
за авторством: Зайцевский, И.Л., та інші
Опубліковано: (2015)

Влияние самоинтеркаляции меди на термоэлектрические свойства легированных кристаллов Bi2Te3 в процессе их хранения
за авторством: Aliyeva, A. P., та інші
Опубліковано: (2016)

Система автоматического управления и контроля процесса контактной точечной сварки КСУ КС 02
за авторством: Руденко, П.М., та інші
Опубліковано: (2007)

Совершенствование систем автоматического контроля и безопасности управления в АСУ ТП доменного производства
за авторством: Карасевич, А.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Эффективность методов автоматического распознавания отпечатков электрода при точечной сварке трехслойных сотовых конструкций
за авторством: Лазоренко, Я.П., та інші
Опубліковано: (2009)

Aвтоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур
за авторством: Boiko, Yu. V., та інші
Опубліковано: (2007)

О близости N-позиционных управлений в топологии игольчатых вариаций и топологии скользящих режимов
за авторством: Руденко, А.В., та інші
Опубліковано: (2007)

Повышение помехоустойчивости бинаризации изображений фотошаблонов в пространстве вейвлет-преобразования
за авторством: Shcherbakova, G. Yu., та інші
Опубліковано: (2011)

Основные положения метода анализа событий для автоматического контроля и слежения за нераспространением радиоактивных материалов
за авторством: Буртняк, В.М.
Опубліковано: (2010)

Информационные технические системы анализа изображений удаленных объектов, работающие в ЭМ-волнах
за авторством: Сальников, И.И.
Опубліковано: (2010)

Анализ событий как метод повышения эффективности систем автоматического контроля и слежения за нераспространением радиоактивных материалов
за авторством: Забулонов, Ю.Л., та інші
Опубліковано: (2009)

Очановские топологии на пространстве замкнутых подгрупп
за авторством: Протасов, И.В., та інші
Опубліковано: (1989)

Особенности топологии поверхности слоистых кристаллов In₄Se₃
за авторством: Balitsky, A. A.
Опубліковано: (2006)