Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В

Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В

Предназначен для экспонирования металлизированных фотошаблонов (ФШ). Осуществляет формирование слоя ФШ за время, не зависящее от сложности его описания. Оснащен системой совмещения, позволяющей производить экспонирование в режиме двойного маскирования. Работает по принципу растровой развертки луча л...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:1998
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 1998
Subjects:
Научно-промышленные центры СНГ
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140773
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 61. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-140773
record_format dspace
spelling 2018-07-15T11:18:56Z
2018-07-15T11:18:56Z
1998
Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 61. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140773
Предназначен для экспонирования металлизированных фотошаблонов (ФШ). Осуществляет формирование слоя ФШ за время, не зависящее от сложности его описания. Оснащен системой совмещения, позволяющей производить экспонирование в режиме двойного маскирования. Работает по принципу растровой развертки луча лазера с помощью электрооптического устройства.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Научно-промышленные центры СНГ
Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
spellingShingle Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
Научно-промышленные центры СНГ
title_short Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
title_full Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
title_fullStr Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
title_full_unstemmed Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
title_sort многоканальный лазерный генератор изображений эм-5089в
topic Научно-промышленные центры СНГ
topic_facet Научно-промышленные центры СНГ
publishDate 1998
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
description Предназначен для экспонирования металлизированных фотошаблонов (ФШ). Осуществляет формирование слоя ФШ за время, не зависящее от сложности его описания. Оснащен системой совмещения, позволяющей производить экспонирование в режиме двойного маскирования. Работает по принципу растровой развертки луча лазера с помощью электрооптического устройства.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140773
citation_txt Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 61. — рос.
first_indexed 2025-11-27T05:49:12Z
last_indexed 2025-11-27T05:49:12Z
_version_ 1850803300182523904
fulltext 123456789012345678901234567890121234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789 123456789012345678901234567890121234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789 123456789012345678901234567890121234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÄËß ÊÎÌÏÎÍÅÍÒΠÒåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1998, ¹ 3�4 61 Íà ðèñ. 3 ïîêàçàíî âëèÿíèå ïîð íà ñîïðîòèâëå- íèå äâóõ- è òðåõêîìïîíåíòíîãî ÑÊÌ (óâåëè÷åíèå äîëè ñòåêëà îáîçíà÷åíî ñòðåëêàìè). Îòñþäà âèäíî, ÷òî ïðè îäèíàêîâîé ïîðèñòîñòè áîëüøåé äîëå ñòåêëà (íèæíÿÿ âåòâü êðèâîé) ñîîòâåòñòâóåò ìåíüøàÿ âåëè- ÷èíà ñîïðîòèâëåíèÿ ÑÊÌ. Ïðîâåäåííûå èññëåäîâàíèÿ ïîêàçûâàþò, ÷òî ñî- ïðîòèâëåíèÿ ÷åòûðåõ ñîñòàâëÿþùèõ ÑÊÌ (ñòåêëà, íàïîëíèòåëÿ, êðèñòàëëè÷åñêîé ôàçû è ïîð) îùóòèìî îòëè÷àþòñÿ äðóã îò äðóãà, îñîáåííî ñîïðîòèâëå- íèÿ íîâîé ôàçû è ïîð � ïðèìåðíî â 109 ðàç. Ýòî îáúÿñíÿåò îñîáåííî ñèëüíóþ çàâèñèìîñòü ñîïðî- òèâëåíèÿ ρ3ï îò ñîäåðæàíèÿ ïîð. Âûïîëíåííàÿ ðàáîòà ïîêàçûâàåò ïóòü ðåøåíèÿ ïîñòàâëåííûõ çàäà÷, íàöåëåííûõ íà áîëüøèé îáúåì ðàñ÷åòîâ è ìåíüøèé îáúåì ýêñïåðèìåíòîâ. Ïîëó- ÷åííûå ðåçóëüòàòû ìîãóò áûòü ïîëåçíûìè ïðè ðàç- ðàáîòêå ïîäîáíûõ ÑÊÌ è àíàëîãè÷íûõ êîìïîçè- öèîííûõ ìàòåðèàëîâ, à òàêæå äëÿ âûïîëíåíèÿ ðàñ- ÷åòîâ ñâîéñòâ êîìïîçèòîâ ñëîæíîãî ñîñòàâà ñ ó÷å- òîì ñòðóêòóðíûõ ïàðàìåòðîâ. ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ 1. Shimada Y., Utsumi K. et al. Firing low tempera- ture multilayer glass-ceramic substrate // JEEE Transac- tions on components, hybrids and manufacturing tec- hnology.� 1983.� CHMT-6, N 4.� P. 382�388. 2. Äìèòðèåâ Ì. Â. Âëèÿíèå êîíöåíòðàöèè êîìïî- íåíòîâ è ïîð íà äèýëåêòðè÷åñêóþ ïðîíèöàåìîñòü ñòåê- ëîêåðàìèêè // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåê- òðîííîé àïïàðàòóðå.� 1997.� ¹ 4.� Ñ. 34�38. 3. Lichtenecker K., Rother K. Die herleitung des lo- garithmischen mischungsgesetzes des allgemeinen prinzi- pien der stationaren stromung // Physikalishe zeitschrift.� 1931.� Bd 32, N 6.� S. 3255�3267. 4. Äìèòðèåâ Ì. Â. Âëèÿíèå êîíöåíòðàöèè êîìïî- íåíòîâ è ïîð íà ýëåêòðîñîïðîòèâëåíèå ñòåêëîêåðàìè- êè // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àï- ïàðàòóðå.� 1998.� ¹ 2.� Ñ. 43�47. 5. Áàëêåâè÷ Â. Ë. Òåõíè÷åñêàÿ êåðàìèêà.� Ì. : Ñòðîéèçäàò, 1984. Ðèñ. 3. Çàâèñèìîñòü ñîïðîòèâëåíèÿ äâóõ- (1) è òðåõ- êîìïîíåíòíîãî (2) ÑÊÌ îò îáúåìíîé äîëè ïîð ρ, Îì.ì 1011 1010 109 0 0,05 0,10 0,15 0,20 0,25 yï 1 2 Í À Ó × ÍÎ-ÏÐÎÌÛØËÅÍÍÛ Å Ö Å Í Ò Ð Û Ñ Í Ã ÌÍÎÃÎÊÀÍÀËÜÍÛÉ ËÀÇÅÐÍÛÉ ÃÅÍÅÐÀÒÎÐ ÈÇÎÁÐÀÆÅÍÈÉ ÝÌ-5089 Ïðåäíàçíà÷åí äëÿ ýêñïîíèðîâàíèÿ ìåòàëëèçèðîâàííûõ ôîòîøàáëîíîâ (ÔØ). Îñóùåñòâëÿåò ôîðìèðîâàíèå ñëîÿ ÔØ çà âðåìÿ, íå çàâèñÿùåå îò ñëîæíîñòè åãî îïèñàíèÿ. Îñíàùåí ñèñòåìîé ñîâìåùåíèÿ, ïîçâîëÿþùåé ïðîèçâî- äèòü ýêñïîíèðîâàíèå â ðåæèìå äâîéíîãî ìàñêèðîâàíèÿ. Ðàáîòàåò ïî ïðèíöèïó ðàñòðîâîé ðàçâåðòêè ëó÷à ëàçåðà ñ ïîìîùüþ ýëåêòðîîïòè÷åñêîãî óñòðîéñòâà. Ïîãðåøíîñòü ðàñïîëîæåíèÿ ýëåìåíòîâ Ðàçìåð ìèíèìàëüíîãî ýëåìåíòà Àäðåñíàÿ ñåòêà Íåðîâíîñòü êðàÿ: � ïðè äèñêðåòíîñòè àäðåñàöèè 25 íì � ïðè äèñêðåòíîñòè àäðåñàöèè 50 íì Ñîâìåùàåìîñòü êîìïëåêòà øàáëîíîâ (2) Âîñïðîèçâîäèìîñòü ðàçìåðîâ (3 ) Ïîãðåøíîñòü ðàçìåðîâ Âðåìÿ ýêñïîíèðîâàíèÿ ïëîùàäè ðàçìå- ðàìè 100×100 ìì: � ïðè äèñêðåòíîñòè àäðåñàöèè 25 íì � ïðè äèñêðåòíîñòè àäðåñàöèè 50 íì Ðàçìåðû îáëàñòè ýêñïîíèðîâàíèÿ 100 íì 800 íì 25 íì, 50 íì 50 íì 100 íì 100 íì 50 íì 50 íì 60 ìèí 30 ìèí 200×200 ìì ÊÁÒÝÌ-ÎÌÎ ÓÑÒÀÍÎÂÊÀ ÑÎÂÌÅÙÅÍÈß È ÝÊÑÏÎÍÈÐÎÂÀÍÈß ÝÌ-5026Á Ïðåäíàçíà÷åíà äëÿ ñîâìåùåíèÿ èçîáðàæåíèÿ ôîòîøàáëî- íà ñ èçîáðàæåíèåì íà íèæíåé ñòîðîíå ïîëóïðîâîäíèêîâîé ïëà- ñòèíû è ïåðåíîñà èçîáðàæåíèÿ ñ ôîòîøàáëîíà íà âåðõíþþ ñòîðîíó ïëàñòèíû êîíòàêòíûì ýêñïîíèðîâàíèåì ôîòîðåçèñ- òèâíîãî ñëîÿ ïëàñòèíû ïðè ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèõ ïðîöåññàõ èçãîòîâëåíèÿ èíòåãðàëüíûõ ìèêðîñõåì è ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ. Ïðîèçâîäèòåëüíîñòü (ïðè âðåìåíè ýê- ñïîíèðîâàíèÿ 20 ñ) Ïîãðåøíîñòü ñîâìåùåíèÿ ïî êîîðäèíàòàì Õ è Y Ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèé ïðåäåë ðàçðå- øåíèÿ Äèàïàçîíû ðàáî÷èõ äëèí âîëí Íåðàâíîìåðíîñòü îñâåùåííîñòè ðàáî- ÷åãî ïîëÿ äèàìåòðîì 100 ìì Ðàçìåðû îáðàáàòûâàåìûõ ïëàñòèí: äèàìåòð òîëùèíà Îòêëîíåíèå îò ïëîñêîñòíîñòè ðàáî- ÷åé ïîâåðõíîñòè ïðè âàêóóìíîì êðåïëåíèè Ðàçìåðû ôîòîøàáëîíîâ Òîëùèíà ôîòîøàáëîíîâ 10 ïëàñòèí/÷ ±2,0 ìêì 1,0 ìêì 225...260 íì 280...335 íì 350...450 íì 5% 76 ìì 0,3...0,65 ìì ≤4 ìêì 3×3" (76×76 ìì) 4×4" (102×102 ìì) 5×5" (127×127 ìì) 3 ìì Ýêñïîíèðîâàíèå êîíòàêòíîå, óñèëèå ñæàòèÿ ðåãóëèðóåòñÿ.

Similar Items