Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В

Предназначен для экспонирования металлизированных фотошаблонов (ФШ). Осуществляет формирование слоя ФШ за время, не зависящее от сложности его описания. Оснащен системой совмещения, позволяющей производить экспонирование в режиме двойного маскирования. Работает по принципу растровой развертки луча л...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:1998
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 1998
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140773
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 61. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862590873501433856
citation_txt Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 61. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Предназначен для экспонирования металлизированных фотошаблонов (ФШ). Осуществляет формирование слоя ФШ за время, не зависящее от сложности его описания. Оснащен системой совмещения, позволяющей производить экспонирование в режиме двойного маскирования. Работает по принципу растровой развертки луча лазера с помощью электрооптического устройства.
first_indexed 2025-11-27T05:49:12Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-140773
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-11-27T05:49:12Z
publishDate 1998
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling 2018-07-15T11:18:56Z
2018-07-15T11:18:56Z
1998
Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 61. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140773
Предназначен для экспонирования металлизированных фотошаблонов (ФШ). Осуществляет формирование слоя ФШ за время, не зависящее от сложности его описания. Оснащен системой совмещения, позволяющей производить экспонирование в режиме двойного маскирования. Работает по принципу растровой развертки луча лазера с помощью электрооптического устройства.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Научно-промышленные центры СНГ
Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
Article
published earlier
spellingShingle Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
Научно-промышленные центры СНГ
title Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
title_full Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
title_fullStr Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
title_full_unstemmed Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
title_short Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
title_sort многоканальный лазерный генератор изображений эм-5089в
topic Научно-промышленные центры СНГ
topic_facet Научно-промышленные центры СНГ
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140773