APA (7th ed.) Citation

Вакив, Н., Погорилко, Я., & Шпотюк, О. (1998). Получение высокоомных тонкопленочных конденсатов методом ионно-плазменного распыления. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Вакив, Н.М, Я.Р Погорилко, and О.И Шпотюк. Получение высокоомных тонкопленочных конденсатов методом ионно-плазменного распыления. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 1998.

MLA (8th ed.) Citation

Вакив, Н.М, et al. Получение высокоомных тонкопленочных конденсатов методом ионно-плазменного распыления. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 1998.