Высокотемпературные стабильные растворы химического меднения и травления в производстве печатных плат

Предлагаемые трилонатные растворы с добавлением глицина позволяют значительно улучшить качество покрытий и снизить количество производственных отходов. The proposed threelonat solutions with adding of glytsine allow conciderably to improvement quality of coating and to lower production wastes....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:1998
Main Author: Гилене, О.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 1998
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140780
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Высокотемпературные стабильные растворы химического меднения и травления в производстве печатных плат / О. Гилене // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 28-30. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-140780
record_format dspace
spelling Гилене, О.
2018-07-15T11:33:19Z
2018-07-15T11:33:19Z
1998
Высокотемпературные стабильные растворы химического меднения и травления в производстве печатных плат / О. Гилене // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 28-30. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140780
Предлагаемые трилонатные растворы с добавлением глицина позволяют значительно улучшить качество покрытий и снизить количество производственных отходов.
The proposed threelonat solutions with adding of glytsine allow conciderably to improvement quality of coating and to lower production wastes.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технологические процессы
Высокотемпературные стабильные растворы химического меднения и травления в производстве печатных плат
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Высокотемпературные стабильные растворы химического меднения и травления в производстве печатных плат
spellingShingle Высокотемпературные стабильные растворы химического меднения и травления в производстве печатных плат
Гилене, О.
Технологические процессы
title_short Высокотемпературные стабильные растворы химического меднения и травления в производстве печатных плат
title_full Высокотемпературные стабильные растворы химического меднения и травления в производстве печатных плат
title_fullStr Высокотемпературные стабильные растворы химического меднения и травления в производстве печатных плат
title_full_unstemmed Высокотемпературные стабильные растворы химического меднения и травления в производстве печатных плат
title_sort высокотемпературные стабильные растворы химического меднения и травления в производстве печатных плат
author Гилене, О.
author_facet Гилене, О.
topic Технологические процессы
topic_facet Технологические процессы
publishDate 1998
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
description Предлагаемые трилонатные растворы с добавлением глицина позволяют значительно улучшить качество покрытий и снизить количество производственных отходов. The proposed threelonat solutions with adding of glytsine allow conciderably to improvement quality of coating and to lower production wastes.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140780
citation_txt Высокотемпературные стабильные растворы химического меднения и травления в производстве печатных плат / О. Гилене // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 28-30. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT gileneo vysokotemperaturnyestabilʹnyerastvoryhimičeskogomedneniâitravleniâvproizvodstvepečatnyhplat
first_indexed 2025-11-25T22:01:35Z
last_indexed 2025-11-25T22:01:35Z
_version_ 1850560602593820672
fulltext 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1998, ¹ 3�4 28 Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ 11.06 1998 ã. Îïïîíåíòû À. Ì. ÄÎÁÐÎÂÎËÜÑÊÈÉ, Ì. Ã. ÂÅÒ×ÈÍÊÈÍÀ Ïðåäëàãàåìûå òðèëîíàòíûå ðàñòâîðû ñ äîáàâëåíèåì ãëèöèíà ïîçâîëÿþò çíà- ÷èòåëüíî óëó÷øèòü êà÷åñòâî ïîêðû- òèé è ñíèçèòü êîëè÷åñòâî ïðîèçâîä- ñòâåííûõ îòõîäîâ. The proposed threelonat solutions with adding of glytsine allow conciderably to improvement quality of coating and to lower production wastes. Õèìè÷åñêîå ìåäíåíèå øèðîêî èñïîëüçóåòñÿ â ïðîèçâîäñòâå ïå÷àòíûõ ïëàò äëÿ ìåòàëëèçàöèè ñêâîç- íûõ îòâåðñòèé. Ïðè ýòîì îáðàçóåòñÿ ìíîãî òðóäíî- îáåçâðåæèâàåìûõ îòõîäîâ, ÷òî äåëàåò òàêîå ïðîèç- âîäñòâî îäíèì èç íàèáîëåå çàãðÿçíÿþùèõ îêðóæà- þùóþ ñðåäó. Íàèáîëåå øèðîêî èñïîëüçóþò ðàñòâîðû õèìè- ÷åñêîãî ìåäíåíèÿ, êîòîðûå â áîëüøèíñòâå ñëó÷àåâ îáåñïå÷èâàþò íàíåñåíèå ëèøü òîíêèõ (0,1�0,5 ìêì) òîêîïðîâîäÿùèõ ñëîåâ, òðåáóþùèõ äàëüíåéøåãî ýëåêòðîõèìè÷åñêîãî óòîëùåíèÿ. Äëÿ íàíåñåíèÿ îòíîñèòåëüíî òîëñòûõ (äî 5 ìêì) ñëîåâ â òå÷åíèå êîðîòêîãî âðåìåíè èçâåñòíûå òðè- ëîíàòíûå ðàñòâîðû íå ïðèãîäíû, ò. ê. ââîäèìûå â íèõ ñòàáèëèçàòîðû ñèëüíî çàìåäëÿþò ïðîöåññ àâòî- êàòàëèòè÷åñêîãî âîññòàíîâëåíèÿ ìåäè è ñíèæàþò ïðîèçâîäèòåëüíîñòü ðàñòâîðà. Íàñòîÿùàÿ ðàáîòà ïîñâÿùåíà ïîëó÷åíèþ ðàñòâî- ðà, ñâîáîäíîãî îò óêàçàííûõ íåäîñòàòêîâ. Íàèáîëåå ïåðñïåêòèâíûìè äëÿ îñàæäåíèÿ îòíî- ñèòåëüíî òîëñòûõ ïîêðûòèé ÿâëÿþòñÿ òðèëîíàòíûå (ÝÄÒÀ) ðàñòâîðû, ñîäåðæàùèå ãëèöèí, êîòîðûé ñòàáèëèçèðóåò ðàñòâîðû è çíà÷èòåëüíî óëó÷øàåò êà÷åñòâî (ïëàñòè÷íîñòü) ïîêðûòèé [1]. Äåéñòâèå ãëèöèíà oáúÿñíÿåòñÿ åãî ñïîñîáíîñòüþ ñâÿçûâàòü ôîðìàëüäåãèä â ñîåäèíåíèå, äèññîöèàöèÿ êîòîðîãî ñèëüíî çàâèñèò îò òåìïåðàòóðû, ïîýòîìó õèìè÷åñ- êîå îñàæäåíèå ìåäè â ðàñòâîðàõ ñ ãëèöèíîì ïðîâî- äÿò ëèøü ïðè ïîâûøåííûõ òåìïåðàòóðàõ. Ïðèñóò- ñòâèå ãëèöèíà ñíèæàåò ñêîðîñòü íåïðîäóêòèâíîãî ðàçëîæåíèÿ ôîðìàëüäåãèäà â ùåëî÷íûõ ðàñòâîðàõ (ðåàêöèÿ Êàííèööàðî). Âëèÿíèå ãëèöèíà íà ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ ïîêðû- òèé çàâèñèò îò ñîñòàâà ðàñòâîðà, è îñîáåííî îò íà- ëè÷èÿ äðóãèõ ñòàáèëèçèðóþùèõ äîáàâîê.  èõ îò- ñóòñòâèå ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ ñíèæàåòcÿ, îñîáåííî êîãäà êîíöåíòðàöèÿ ãëèöèíà ïðåâûøàåò êîíöåíòðà- öèþ ôîðìàëüäåãèäà (òàáë.1). Ñòàáèëèçèðóþùèå äîáàâêè, òàêèå êàê äèýòèëäèòèîêàðáàìàò íàòðèÿ è êàëèé æåëåçèñòîñèíåðîäèñòûé, ñíèæàþò òîðìîçÿ- ùåå äåéñòâèå ãëèöèíà, à ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ ìåäè îñòàåòñÿ äîñòàòî÷íî âûñîêîé äàæå ïðè áîëüøèõ (0,24 ìîëü/ë) êîíöåíòðàöèÿõ ãëèöèíà. Ê. õ. í. Î. ÃÈËÅÍÅ Ëèòâà, ã. Âèëüíþñ, Èíñòèòóò õèìèè ÂÛÑÎÊÎÒÅÌÏÅÐÀÒÓÐÍÛÅ ÑÒÀÁÈËÜÍÛÅ ÐÀÑÒÂÎÐÛ ÕÈÌÈ×ÅÑÊÎÃÎ ÌÅÄÍÅÍÈß È ÒÐÀÂËÅÍÈß Â ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÅ ÏÅ×ÀÒÍÛÕ ÏËÀÒ Âëèÿíèå ðÍ íà ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ ïîêðûòèé â ðàñòâîðàõ ñ ãëèöèíîì îñòàåòñÿ ïðèìåðíî òàêèì æå, êàê è â òðèëîíàòíûõ ðàñòâîðàõ áåç ãëèöèíà: ñêî- ðîñòü ìàêñèìàëüíà ïðè ðÍ≈12,5 è ñíèæàåòñÿ ïðè äàëüíåéøåì óâåëè÷åíèè èëè ñíèæåíèè ðÍ. Ñ ïîâûøåíèåì òåìïåðàòóðû äî 50°Ñ óâåëè÷èâà- åòñÿ ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ ìåäè, â èíòåðâàëå 50...80°Ñ îíà îñòàåòñÿ ïîñòîÿííîé è ñíèæàåòñÿ ïðè äàëüíåé- øåì óâåëè÷åíèè òåìïåðàòóðû äî 90°Ñ. Êà÷åñòâî ïîêðûòèé â áîëüøîé ñòåïåíè çàâèñèò îò ñêîðîñòè èõ îñàæäåíèÿ: ïðè ñêîðîñòè îñàæäåíèÿ 5�7 ìêì/÷ ïîêðûòèÿ ïîëó÷àþòñÿ ñâåòëûìè è ãèáêè- ìè, ïðè áîëåå âûñîêèõ � ñòàíîâÿòñÿ ñåðûìè è äàæå ÷åðíûìè. Ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ, ìêì/÷ Êîí- öåíòðà- öèÿ ãëèöèíà, ììîëü/ë pH Òåìïå- ðàòóðà, °Ñ Ðàñòâîð áåç äîáàâîê Ðàñòâîð ñ 0,5 ìã/ë äèýòèëäèòèî- êàðáàìàòà è 2 ìã/ë K4FeCN6 0 12,5 50 14,6 12,0 30 12,5 50 13,0 12,0 60 12,5 50 12,0 10,6 120 12,5 50 4,7 9,3 240 12,5 50 0,1 9,3 60 12,5 30 0 3,3 60 12,5 60 12,1 10,0 60 12,5 70 12,0 10,6 60 12,5 80 14,6 11,3 60 12,5 90 10,6 9,3 60 12,0 50 0,1 3,3 60 12,2 50 2,5 4,8 60 12,3 50 8,6 6,2 60 12,8 50 4,3 8,7 60 13,0 50 3,2 7,3 Òàáëèöà 1 Ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ ìåäè èç ðàñòâîðîâ, ñîäåðæàùèõ (ìîëü/ë) Cu(II) � 0,04, òðèëîí Á � 0,12, CH2O � 0,18 123456789012345678901234567890121234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789 123456789012345678901234567890121234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789 123456789012345678901234567890121234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1998, ¹ 3�4 29 Ðàñòâîðû, ñîäåðæàùèå ãëèöèí, âûñîêîñòàáèëü- íû. Äîïîëíèòåëüíûå ñòàáèëèçèðóþùèå äîáàâêè, íàçâàííûå âûøå, íóæíû ëèøü äëÿ îáëåã÷åíèÿ ýêñ- ïëóàòàöèè ðàñòâîðîâ � ïðîöåññ äîëüøå ïðîòåêàåò ñ ïîñòîÿííîé ñêîðîñòüþ, òåì ñàìûì îáåñïå÷èâàÿ ïîñòîÿííîå êà÷åñòâî ïîêðûòèé. Ðàñòâîðû ñ ãëèöèíîì îòëè÷àþòñÿ äëèòåëüíîñòüþ èñïîëüçîâàíèÿ. Ïðè äëèòåëüíîé êîððåêòèðîâêå îíè íàêàïëèâàþò çíà÷èòåëüíîå êîëè÷åñòâî ïîñòîðîííèõ ñîëåé � ñóëüôàòîâ è ôîðìèàòîâ, îäíàêî ýòî íå âûçûâàåò èçìåíåíèÿ ñêîðîñòè îñàæäåíèÿ (òàáë. 2) è êà÷åñòâà ïîêðûòèé. Ðàñõîä ôîðìàëüäåãèäà â ýòèõ ðàñòâîðàõ âûøå, ÷åì òåîðåòè÷åñêè òðåáóåòñÿ äëÿ îñàæäåíèÿ ìåäè. Î÷åâèäíî, êîíöåíòðàöèÿ ãëèöèíà, íåäîñòàòî÷íàÿ ïî ñðàâíåíèþ ñ êîíöåíòðàöèåé ôîð- ìàëüäåãèäà, íå èñêëþ÷àåò ðåàêöèè Êàííèööàðî. Ïî- âûøåíèå êîíöåíòðàöèè ãëèöèíà çíà÷èòåëüíî ñíèæà- åò ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ ìåäè, íà ðàñõîä æå ôîð- ìàëüäåãèäà ïðàêòè÷åñêè íå âëèÿåò. Ýòî, âèäèìî, ñâÿçàíî ñ ðàçëîæåíèåì ôîðìàëüäåãèäà íà ïîâåðõ- íîñòè ìåäè ïðè ïîâûøåííûõ òåìïåðàòóðàõ [2]. Âîçìîæíîñòü âûäåëåíèÿ íàèáîëåå äîðîãîñòîÿùå- ãî êîìïîíåíòà ðàñòâîðîâ õèìè÷åñêîãî ìåäíåíèÿ � òðèëîíà (â âèäå Í4ÝÄÒÀ) � èçâåñòíà äàâíî [3]. Èñïîëüçîâàíèå îêñàëàòîâ â êà÷åñòâå îñàäèòåëÿ ìåäè ïîçâîëÿåò âîçâðàòèòü â ïðîèçâîäñòâî îñíîâíóþ ÷àñòü êàê ìåäè, òàê è òðèëîíà Á [4]. Ê îòðàáîòàííûì ðàñòâîðàì õèìè÷åñêîãî ìåäíåíèÿ äîáàâëÿþò ùàâå- ëåâóþ êèñëîòó (ïðèìåðíî 6 ã/ë) èëè îêñàëàò íà- òðèÿ è ñåðíóþ êèñëîòó äî ðÍ≈2. Ïðè ýòîì îáðàçó- åòñÿ íåðàñòâîðèìûé îñàäîê îêñàëàòà ìåäè è ìàëî- ðàñòâîðèìàÿ êèñëîòà H4ÝÄTA. Ðàñòâîðèìûé êîìï- ëåêñ òðèëîíàòà ìåäè âîçâðàùàåòñÿ â ïðîèçâîäñòâî äëÿ ïðèãîòîâëåíèÿ ñâåæåãî ðàñòâîðà õèìè÷åñêîãî ìåäíåíèÿ èëè äëÿ êîððåêòèðîâàíèÿ ðàáî÷åãî ðàñòâî- ðà, à ìàëîðàñòâîðèìûé îñàäîê îêñàëàòà íàòðèÿ èñ- ïîëüçóþò äëÿ ðåãåíåðàöèè îòðàáîòàííûõ ðàñòâîðîâ (ñì. ðèñóíîê). Ïðèìå÷àòåëüíî, ÷òî äàæå çíà÷èòåëü- íîå (îêîëî 2 ã/ë) êîëè÷åñòâî îêñàëàòà â ðàñòâîðå õèìè÷åñêîãî ìåäíåíèÿ íå âëèÿåò íè íà êà÷åñòâî ïîêðûòèé, íè íà ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ. Òàêèì îáðà- çîì, ïðè ïðèìåíåíèè îêñàëàòîâ è èçìåíåíèè ðÍ â Ñîñòàâ ðàñòâîðà, ììîëü/ë Ðàñõîä, ììîëü Cu(II) ÝÄÒÀ Ãëèöèí CH2O pH Ñðåäíÿÿ ñêîðîñòü îñàæäå- íèÿ, ìêì/÷ Cu(II) CH2O CH2O:Cu (ìîëü: ìîëü) 40 100 60 260 12,4 6,1 350 1240 3,2 40 100 60 180 12,4 5,3 420 1280 3,0 60 120 60 260 12,5 8,2 370 1360 3,6 60 120 60 320 12,4 8,2 310 1220 3,9 60 120 60 140 12,5 7,1 350 1150 3,3 60 150 60 180 12,5 8,0 425 1440 3,4 Òàáëèöà 2 Ðàñõîä âåùåñòâ ïðè äëèòåëüíîì èñïîëüçîâàíèè ðàñòâîðîâ õèìè÷åñêîãî ìåäíåíèÿ, ñîäåðæàùèõ 0,5 ìã/ë äèýòèëäèòèîêàðáàìàòà íàòðèÿ Ñõåìà ðåãåíåðàöèè îòðàáîòàííûõ ðàñòâîðîâ õèìè÷åñêîãî ìåäíåíèÿ 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890 1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1998, ¹ 3�4 30 ïðîèçâîäñòâî ìîæåò áûòü âîçâðàùåíî îêîëî 99,5% ìåäè è 95% òðèëîíà Á. Ïðè õèìè÷åñêîì îñàæäåíèè îòíîñèòåëüíî òîë- ñòûõ ñëîåâ ìåäè ðàñõîäóåòñÿ áîëüøåå êîëè÷åñòâî ñîëåé ìåäè. Äëÿ ðàñòâîðîâ õèìè÷åñêîãî ìåäíåíèÿ ïîäõîäèò ñóëüôàò ìåäè, ïîëó÷åííûé ïðè òðàâëåíèè ïå÷àòíûõ ïëàò ïåðåêèñüþ âîäîðîäà â ñåðíîêèñëûõ ðàñòâîðàõ. Ïðåèìóùåñòâî òàêèõ ðàñòâîðîâ � âû- ñîêàÿ ñêîðîñòü òðàâëåíèÿ è ïðîñòîòà îáîðóäîâàíèÿ (ëþáàÿ òåðìîñòîéêàÿ åìêîñòü, â êîòîðóþ ìîãóò áûòü ïîãðóæåíû ïëàòû). Òðàâëåíèå ïå÷àòíûõ ïëàò ïðî- èñõîäèò ïðè ïîâûøåííûõ (40�60°Ñ) òåìïåðàòóðàõ. Ïîñëå êîððåêòèðîâêè ïî êèñëîòå è ïîñëå îõëàæäå- íèÿ èç ðàñòâîðîâ îñàæäàþòñÿ êðèñòàëëû ñóëüôàòà ìåäè âûñîêîé ÷èñòîòû [5]. Ïåðåêèñü âîäîðîäà ëåãêî ðàçëàãàåòñÿ â ïðèñóò- ñòâèè ìåòàëëîâ, â ò. ÷. è èîíîâ ìåäè, îñîáåííî ïðè ïîâûøåííûõ òåìïåðàòóðàõ [6]. Ïîýòîìó òàêèå ðà- ñòâîðû íåîáõîäèìî ñòàáèëèçèðîâàòü. Íàäåæíûìè ñòàáèëèçàòîðàìè ÿâëÿþòñÿ îðãàíè÷åñêèå êðàñèòåëè, òàêèå êàê ìåòèëîâûé îðàíæåâûé, ìåòèëîâûé êðàñ- íûé è äð., öâåò êîòîðûõ îòëè÷àåòñÿ îò ñèíåãî öâå- òà ñóëüôàòà ìåäè.  òàêèõ ñëó÷àÿõ èõ êîíöåíòðà- öèþ ìîæíî êîððåêòèðîâàòü ïî öâåòó ðàñòâîðà [6]. Ñàìîðàçëîæåíèå ïåðåêèñè âîäîðîäà ïðåêðàùàåòñÿ íà äëèòåëüíîå âðåìÿ (τ), ÷òî îñîáåííî âàæíî ïðè õðàíåíèè ðàñòâîðîâ â íåðàáî÷åå âðåìÿ (òàáë. 3). Ïîäáîð îïòèìàëüíûõ êîíöåíòðàöèé êîìïîíåíòîâ ðàñòâîðà òðàâëåíèÿ è ïîääåðæàíèå èõ ïîñòîÿííûìè âî âðåìÿ ïðîöåññà òðàâëåíèÿ ïîçâîëÿåò äîñòè÷ü ïðàêòè÷åñêè ïîëíîãî èñïîëüçîâàíèÿ ïåðåêèñè âîäî- ðîäà (òàáë. 4). Ðàñõîä ñòàáèëèçàòîðà çíà÷èòåëüíî óâåëè÷èâàåòñÿ ñ ïîâûøåíèåì òåìïåðàòóðû. Òàê êàê ðàñòâîðåíèå ìåäè ïðîòåêàåò ñ âûäåëåíè- åì òåïëîòû, à ïëàòû ïîãðóæàþòñÿ â ñòàöèîíàðíûå åìêîñòè, ïðîöåññ òðàâëåíèÿ íåîáõîäèìî âåñòè ïðè ïîñòîÿííîì îõëàæäåíèè ðàñòâîðà äî 40�50°Ñ. Ñ äðóãîé ñòîðîíû, ñ ïîâûøåíèåì òåìïåðàòóðû çíà÷è- òåëüíî óâåëè÷èâàåòñÿ ñêîðîñòü òðàâëåíèÿ. Îïòèìàëü- íûé ðåæèì òðàâëåíèÿ ïå÷àòíûõ ïëàò çàâèñèò â îñ- íîâíîì îò ïðîèçâîäñòâåííûõ ïîòðåáíîñòåé. Òàêèì îáðàçîì, ïðåäëàãàåìûå ðàñòâîðû ïîçâî- ëÿþò ïðèìåíèòü ïðîöåññ õèìè÷åñêîãî ìåäíåíèÿ äëÿ îñàæäåíèÿ ñðàâíèòåëüíî òîëñòûõ ïîêðûòèé. Âîç- ìîæíîñòü äëèòåëüíîé êîððåêòèðîâêè è ðåãåíåðàöèè òàêèõ ðàñòâîðîâ çíà÷èòåëüíî ñíèæàåò êîëè÷åñòâî ïðîèçâîäñòâåííûõ îòõîäîâ. Ýòè ðàñòâîðû ïðèãîä- íû òàêæå äëÿ ïîäòðàâëèâàíèÿ ïå÷àòíûõ ïëàò ïåðåä õèìè÷åñêèì ìåäíåíèåì. Îáðàçóþùèéñÿ ïðè òðàâëå- íèè ïå÷àòíûõ ïëàò ñóëüôàò ìåäè íå âðåäèò íè ñòà- áèëüíîé ðàáîòå ðàñòâîðîâ, íè êà÷åñòâó ïîêðûòèé. Êðîìå òîãî, ñóëüôàò ìåäè ÿâëÿåòñÿ äîñòàòî÷íî ÷è- ñòûì è ìîæåò áûòü ïðèìåíåí äëÿ äðóãèõ öåëåé, íàïðèìåð êàê ïåñòèöèä. ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ 1. Mizumoto S., Nawafune H., Kawasaki M. et al. Mechanical properties of copper films deposited from electroless plating baths containing glycine // J. Metal finish soc. Japan.� 1986.� Vol. 36, N 2.� P. 64�69. 2. Êàçåíàéòå Í., Ãèëåíå Î., Âàøêÿëèñ À. Êàòàëèòè- ÷åñêîå îêèñëåíèå ôîðìàëüäåãèäà íà ìåäè â ùåëî÷íûõ ðàñòâîðàõ // Çàùèòà ìåòàëëîâ.� 1989.� Ò. 25, ¹ 6.� Ñ. 979�981. 3. Honma H., Matsui H., Kahara N. Recovery and reuse of EDTA from electroless copper plating solutions // J. Metal finish soc. Japan.� 1976.� Vol. 27, N 4.� P. 195�196. 4. Gyliene O, Salkauskas M. Metal recovey from electroless plating solutions by oxalate precipitation // Plating and surfase finishing.� 1995.� N 10.� P. 61�63. 5. Keating K., Gouch M. Peroxide/sulfuric acid etching for PC boards // Plating and surface finishing.� 1986.� Vol. 73, N 8.� P. 106�109. 6. Ïàò. 2010034 Ðîññèè. Ðàñòâîð äëÿ òðàâëåíèÿ ìåäè è åå ñïëàâîâ / Î. Ãèëåíå, Ì. Øàëêàóñêàñ, Ì. Øàðèïîâ. Îïóáë. â Á. È., 1994, ¹ 6. Îñòàòîê H2O2, % ìàñ. Ñòàáèëèçàòîð Êîíöåíòðàöèÿ ñòàáèëèçàòîðà, ã/ë Òåìïåðà- òóðà, °Ñ τ=4 ÷ τ=8 ÷ τ=24 ÷ τ=72 ÷ Áåç ñòàáèëèçàòîðà − 60 50 20 − − Ìåòèëîâûé êðàñíûé 2 60 99,8 98 80 50 0,1 60 100 98 85 79Ìåòèëîâûé îðàíæåâûé 0,0005 20 100 − 85 73 2 90 100 83,4 − − 0,1 40 100 93,6 − −Èíäèêàòîð ÏÀÍ 0,1 20 100 100 100 100 Òàáëèöà 3 Ñàìîðàçëîæåíèå ïåðåêèñè âîäîðîäà â ïðîöåññå èñïîëüçîâàíèÿ èëè õðàíåíèÿ ðàñòâîðà, ñîäåðæàùåãî (ã/ë) H2SO4 � 9, H2O2 � 44, Cu(II) � 11 Ðàñõîä, ã/ë Ñòàáèëè- çàòîð Òåìïå- ðàòóðà, ºÑ Êîëè- ÷åñòâî ðàñò- âîðåí- íîãî ìåòàë- ëà, ã/ë H2O2 Còà- áè- ëèçà- òîð H2O2: (Ñu+Zn) (ìîëü: ìîëü) 40 210 110 2,3 1:1 50 600 320 6,2 1:1 Ìåòèëî- âûé êðàñíûé 90 320 170 5,8 1:1 Ìåòèëî- âûé îðàíæå- âûé 50 640 340 0,4 1:1 Èíäèêà- òîð ÏÀÍ 50 120 60 0,5 1:1 Òàáëèöà 4 Ðàñõîä ïåðåêèñè âîäîðîäà è ñòàáèëèçàòîðà ïðè òðàâëåíèè ìåäè è ëàòóíè â ðàñòâîðå, ñîäåðæàùåì (ã/ë) H2SO4 � 180, H2O2 � 30