Миниатюрные полупроводниковые преобразователи для измерения импульсных давлений
Предложены способы повышения эффективности использования датчиков давления с чувствительными элементами из нитевидных кристаллов GaAs и Te. The effeciency increase techinques of use of pressure transducers with sensing elements from GaAs and Te whiskers have been proposed....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 1998 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1998
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140784 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Миниатюрные полупроводниковые преобразователи для измерения импульсных давлений / Р.И. Байцар, С.С. Варшава, В.Ф. Чекурин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 46-50. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-140784 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Байцар, Р.И. Варшава, С.С. Чекурин, В.Ф. 2018-07-15T11:39:41Z 2018-07-15T11:39:41Z 1998 Миниатюрные полупроводниковые преобразователи для измерения импульсных давлений / Р.И. Байцар, С.С. Варшава, В.Ф. Чекурин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 46-50. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140784 Предложены способы повышения эффективности использования датчиков давления с чувствительными элементами из нитевидных кристаллов GaAs и Te. The effeciency increase techinques of use of pressure transducers with sensing elements from GaAs and Te whiskers have been proposed. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Компоненты для электронной аппаратуры Миниатюрные полупроводниковые преобразователи для измерения импульсных давлений Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Миниатюрные полупроводниковые преобразователи для измерения импульсных давлений |
| spellingShingle |
Миниатюрные полупроводниковые преобразователи для измерения импульсных давлений Байцар, Р.И. Варшава, С.С. Чекурин, В.Ф. Компоненты для электронной аппаратуры |
| title_short |
Миниатюрные полупроводниковые преобразователи для измерения импульсных давлений |
| title_full |
Миниатюрные полупроводниковые преобразователи для измерения импульсных давлений |
| title_fullStr |
Миниатюрные полупроводниковые преобразователи для измерения импульсных давлений |
| title_full_unstemmed |
Миниатюрные полупроводниковые преобразователи для измерения импульсных давлений |
| title_sort |
миниатюрные полупроводниковые преобразователи для измерения импульсных давлений |
| author |
Байцар, Р.И. Варшава, С.С. Чекурин, В.Ф. |
| author_facet |
Байцар, Р.И. Варшава, С.С. Чекурин, В.Ф. |
| topic |
Компоненты для электронной аппаратуры |
| topic_facet |
Компоненты для электронной аппаратуры |
| publishDate |
1998 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| description |
Предложены способы повышения эффективности использования датчиков давления с чувствительными элементами из нитевидных кристаллов GaAs и Te.
The effeciency increase techinques of use of pressure transducers with sensing elements from GaAs and Te whiskers have been proposed.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140784 |
| citation_txt |
Миниатюрные полупроводниковые преобразователи для измерения импульсных давлений / Р.И. Байцар, С.С. Варшава, В.Ф. Чекурин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 46-50. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT baicarri miniatûrnyepoluprovodnikovyepreobrazovatelidlâizmereniâimpulʹsnyhdavlenii AT varšavass miniatûrnyepoluprovodnikovyepreobrazovatelidlâizmereniâimpulʹsnyhdavlenii AT čekurinvf miniatûrnyepoluprovodnikovyepreobrazovatelidlâizmereniâimpulʹsnyhdavlenii |
| first_indexed |
2025-11-27T01:37:12Z |
| last_indexed |
2025-11-27T01:37:12Z |
| _version_ |
1850791332896833536 |
| fulltext |
1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890
1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890
1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890ÊÎÌÏÎÍÅÍÒÛ ÄËß ÝËÅÊÒÐÎÍÍÎÉ ÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1998, ¹ 3�4
46
Ïðåäëîæåíû ñïîñîáû ïîâûøåíèÿ ýô-
ôåêòèâíîñòè èñïîëüçîâàíèÿ äàò÷èêîâ
äàâëåíèÿ ñ ÷óâñòâèòåëüíûìè ýëåìåí-
òàìè èç íèòåâèäíûõ êðèñòàëëîâ
GaAs è Te.
The effeciency increase techinques of use of
pressure transducers with sensing elements from
GaAs and Te whiskers have been proposed.
Èçâåñòíû äàò÷èêè ãèäðîñòàòè÷åñêîãî äàâëåíèÿ,
ôóíêöèîíèðîâàíèå êîòîðûõ îñíîâàíî íà îáúåìíîì
òåíçîðåçèñòèâíîì ýôôåêòå ïîëóïðîâîäíèêîâ Òå,
ÀlxGa1-xAs, GaAs1-xPx, GaSb è äðóãèõ [1�5]. ×óâ-
ñòâèòåëüíûå ýëåìåíòû (×Ý) òàêèõ äàò÷èêîâ èçãî-
òàâëèâàþòñÿ èç ìîíîêðèñòàëëîâ, òîíêèõ ïëåíîê èëè
íèòåâèäíûõ êðèñòàëëîâ (ÍÊ). ×Ý äàò÷èêîâ íà îñ-
íîâå ÍÊ îáû÷íî èìåþò äèàìåòð íåñêîëüêî äåñÿò-
êîâ ìèêðîí, à äëèíó � äî íåñêîëüêèõ ìèëëèìåò-
ðîâ. Îäíàêî, ââèäó äîâîëüíî íèçêîé ÷óâñòâèòåëü-
íîñòè ê âñåñòîðîííåìó ñæàòèþ, äàò÷èêè òàêîãî
òèïà íå íàøëè øèðîêîãî ïðèìåíåíèÿ äëÿ èçìåðå-
íèÿ äàâëåíèé, ìåíüøèõ 108 Ïà. Ê ïðèìåðó, êîýô-
ôèöèåíò ãèäðîñòàòè÷åñêîãî äàâëåíèÿ (ÊÃÄ) Sp
ïëåíî÷íîãî äàò÷èêà èç GaAs ïðè êîíöåíòðàöèè íî-
ñèòåëåé 3�1018 ñì�3 ñîñòàâëÿåò 2,5�10�10 Ïà�1 [5].
(Sp=∆R/R0∆p, ãäå ∆R � ïðèðàùåíèå ñîïðîòèâëåíèÿ;
R0 � íà÷àëüíîå ñîïðîòèâëåíèå; ∆p �êîýôôèöèåíò èç-
ìåíåíèÿ ñîïðîòèâëåíèÿ íà åäèíèöó äàâëåíèÿ.)
×Ý íà îñíîâå ÍÊ è òîíêèõ ïëåíîê, áëàãîäàðÿ
ìàëûì ðàçìåðàì è ñîâåðøåííîé êðèñòàëëè÷åñêîé
ñòðóêòóðå, îáëàäàþò âûñîêèìè äèíàìè÷åñêèìè ïà-
ðàìåòðàìè è ïîýòîìó ÿâëÿþòñÿ ïåðñïåêòèâíûìè äëÿ
ñîçäàíèÿ äàò÷èêîâ èìïóëüñíûõ äàâëåíèé. Îäíàêî
íèçêàÿ ÷óâñòâèòåëüíîñòü, íåëèíåéíîñòü è òåìïåðà-
òóðíàÿ çàâèñèìîñòü ñäåðæèâàþò èõ øèðîêîå ïðèìå-
íåíèå äëÿ ýòèõ öåëåé.  òî æå âðåìÿ äàò÷èêè íà
îñíîâå ÍÊ äîâîëüíî øèðîêî ïðèìåíÿþòñÿ äëÿ èç-
ìåðåíèÿ äèíàìè÷åñêèõ äåôîðìàöèé [6�8].
Öåëüþ íàøåé ðàáîòû ñòàë ïîèñê ïóòåé ïîâûøå-
íèÿ ÷óâñòâèòåëüíîñòè ê äàâëåíèþ ×Ý íà îñíîâå
ÍÊ GaAs è Te çà ñ÷åò ñïåöèàëüíîãî ëåãèðîâàíèÿ
êðèñòàëëîâ â ïðîöåññå èõ âûðàùèâàíèÿ, âûáîðà
îïòèìàëüíîé ãåîìåòðèè ×Ý, à òàêæå êîíñòðóêòèâ-
íûõ ðåøåíèé, ïîçâîëÿþùèõ ïîâûñèòü óðîâåíü ìå-
õàíè÷åñêèõ íàïðÿæåíèé, âîçíèêàþùèõ â ×Ý ïðè
âîçäåéñòâèè âíåøíåãî äàâëåíèÿ. Ñòàâèëàñü òàêæå
çàäà÷à óïðîùåíèÿ ìåòîäèêè äèíàìè÷åñêîé ãðàäóè-
ðîâêè äàò÷èêîâ. Âñå ýòî äîëæíî, ïî ìíåíèþ àâòî-
ðîâ, îáåñïå÷èòü ýôôåêòèâíîñòü ïðèìåíåíèÿ äàò÷èêîâ
íà îñíîâå ÍÊ äëÿ èçìåðåíèÿ èìïóëüñíûõ äàâëåíèé.
Íèòåâèäíûå êðèñòàëëû, ïðåäíàçíà÷åííûå äëÿ èç-
ãîòîâëåíèÿ ÷óâñòâèòåëüíûõ ýëåìåíòîâ, âûðàùèâà-
ëèñü èç ãàçîâîé ôàçû ìåòîäîì õèìè÷åñêèõ òðàí-
ñïîðòíûõ ðåàêöèé [9]. Ýòîò ìåòîä ïîçâîëÿåò ëåãèðî-
âàòü êðèñòàëëû ðàçëè÷íûìè ïðèìåñÿìè â øèðîêîì
äèàïàçîíå êîíöåíòðàöèé â ïðîöåññå âûðàùèâàíèÿ.
Ïîëó÷åííûå ñèëüíîëåãèðîâàííûå è êîìïåíñèðî-
âàííûå ÍÊ n-GaAs èìåëè íèòåâèäíóþ ôîðìó ñ îðè-
åíòàöèåé <111> èëè ôîðìó òîíêèõ ëåíò, îðèåíòè-
ðîâàííûõ âäîëü êðèñòàëëîãðàôè÷åñêîãî íàïðàâëå-
íèÿ <112> è îãðàíåííûõ ïëîñêîñòÿìè {111}. Ðàçìå-
ðû îáðàçöîâ � (0,01...0,03)×(0,1...0,2)×(1...2) ìì.
Ëåíòî÷íûå êðèñòàëëû n-òèïà, ëåãèðîâàííûå Si
è Zn, îáëàäàëè êîíöåíòðàöèåé ñâîáîäíûõ íîñè-
òåëåé ~3�1017 ñì-3, èõ ïîäâèæíîñòü ñîñòàâëÿëà
200 ñì2/(B.c), óäåëüíîå ñîïðîòèâëåíèå ~0,1 Îì.ñì.
Íîìèíàëû ñîïðîòèâëåíèé èçìåíÿëèñü ïðè ýòîì â
ïðåäåëàõ 30...150 Îì. Çàâèñèìîñòü ñîïðîòèâëåíèÿ
îò ïðèëîæåííîãî äàâëåíèÿ áëèçêà ê ýêñïîíåíöèàëü-
íîé (ðèñ. 1). Ñðåäíåå çíà÷åíèå ÊÃÄ â äèàïàçîíå
ÌÈÍÈÀÒÞÐÍÛÅ ÏÎËÓÏÐÎÂÎÄÍÈÊÎÂÛÅ
ÏÐÅÎÁÐÀÇÎÂÀÒÅËÈ ÄËß ÈÇÌÅÐÅÍÈß
ÈÌÏÓËÜÑÍÛÕ ÄÀÂËÅÍÈÉ
Ä. ò. í. Ð. È. ÁÀÉÖÀÐ, ä. ò. í. Ñ. Ñ. ÂÀÐØÀÂÀ,
ê. ô.-ì. í. Â. Ô. ×ÅÊÓÐÈÍ
Óêðàèíà, ã. Ëüâîâ, Ãîñ. óí-ò «Ëüâiâñüêà ïîëiòåõíiêà»
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
08.09 1997 ã.�10.02 1998 ã.
Îïïîíåíò ê. ô.-ì. í. Â. Ï. ÎÂÑßÍÍÈÊÎÂ
Ðèñ. 1. Çàâèñèìîñòü ñîïðîòèâëåíèÿ äàò÷èêîâ èç
ëåíòî÷íûõ êðèñòàëëîâ n-GaAs îò äàâëåíèÿ
1
R/R0 4
1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890
1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890
1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890
1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890
ÊÎÌÏÎÍÅÍÒÛ ÄËß ÝËÅÊÒÐÎÍÍÎÉ ÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1998, ¹ 3�4
47
0...500 ÌÏà ñîñòàâëÿåò 46.10-10 Ïà-1, ïðåâûøàÿ ïà-
ðàìåòðû èçâåñòíûõ äàò÷èêîâ (íàïðèìåð äëÿ GaAsP
Sp=30.10-10 Ïà-1 [2], à äëÿ äàò÷èêà íà îñíîâå òóí-
íåëüíîãî äèîäà Sp=(7...21).10-10 Ïà-1 [10]). Â èí-
òåðâàëå òåìïåðàòóð 213...373 Ê ñîïðîòèâëåíèå äàò-
÷èêîâ èçìåíÿåòñÿ â ïðåäåëàõ äâóõ ïðîöåíòîâ, èõ
ÒÊÑ â ýòîì äèàïàçîíå ñîñòàâëÿåò 6.10-4 Ê�1, ÷òî
ìåíüøå, ÷åì â ïëåíî÷íîì GaAs [5].
Ïîâûøåííàÿ ÷óâñòâèòåëüíîñòü ê äàâëåíèþ ëåí-
òî÷íûõ êðèñòàëëîâ n-GaAs<Si, Zn> äîñòèãàåòñÿ çà
ñ÷åò ñèëüíîãî ëåãèðîâàíèÿ è êîìïåíñàöèè (ñòåïåíü
êîìïåíñàöèè ïðåâûøàåò 0,95) è âëèÿíèÿ äàâëåíèÿ
íà ïîòåíöèàëüíûé ðåëüåô, îáðàçîâàííûé ëåãèðóþ-
ùèìè è êîìïåíñèðóþùèìè ïðèìåñÿìè. Ïîêàçàíî, ÷òî
èçìåíÿÿ ñòåïåíü êîìïåíñàöèè ìîæíî äîáèòüñÿ èçìå-
íåíèÿ ýëåêòðè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ êðèñòàëëîâ, â ÷àñ-
òíîñòè ÊÃÄ, â øèðîêèõ ïðåäåëàõ [11].
Íà ðèñ. 2 ïðèâåäåíû çàâèñèìîñòè ÊÃÄ îò óäåëü-
íîãî ñîïðîòèâëåíèÿ (êîòîðîå çàâèñèò îò óðîâíÿ
ëåãèðîâàíèÿ) n-GaAs äëÿ ðàçëè÷íûõ óñëîâèé ëåãè-
ðîâàíèÿ: ìåëêèå äîíîðíûå ïðèìåñè (1), ñïåöèàëüíî
íå ëåãèðîâàííûå îáðàçöû � îñíîâíàÿ ïðèìåñü Si
(2); îáðàçöû ñ ñàìîêîìïåíñàöèåé, ëåãèðîâàííûå
ñåðîé (3). Èç ðèñóíêà âèäíî, êàê çà ñ÷åò ëåãèðîâà-
íèÿ ìîæíî óïðàâëÿòü âåëè÷èíîé ÊÃÄ.
Íèòåâèäíûå êðèñòàëëû Òå, âûðàùåííûå èç ãà-
çîâîé ôàçû, îáëàäàþò áîëüøèì ðàçíîîáðàçèåì âíåø-
íèõ ôîðì è äîâîëüíî ñèëüíîé àíèçîòðîïèåé ýëåê-
òðîñîïðîòèâëåíèÿ è òåíçîñâîéñòâ. Ïðîâåäåííûå èñ-
ñëåäîâàíèÿ çàâèñèìîñòè ñîïðîòèâëåíèÿ îáðàçöîâ
ðàçëè÷íîé ãåîìåòðèè îò ïðèëîæåííîãî äàâëåíèÿ p
ïðèâåäåíû íà ðèñ. 3. Êðèâûå 1 è 2 ïðåäñòàâëÿþò
ðåçóëüòàòû èçìåðåíèé íà äëèííûõ (6...8 ìì) è êî-
ðîòêèõ (1...2 ìì) îáðàçöàõ, ñîîòâåòñòâåííî. Êðè-
âûå 3 è 4 ïîëó÷åíû äëÿ äàò÷èêîâ, èçãîòîâëåííûõ
èç ïëàñòèí÷àòîãî è òðóá÷àòîãî êðèñòàëëîâ, ñîîò-
âåòñòâåííî. Âëèÿíèå ãåîìåòðèè íà âåëè÷èíó ÊÃÄ
ïðîÿâëÿåòñÿ êàê ÷åðåç ñòðóêòóðó ÍÊ, òàê è ÷åðåç
àíèçîòðîïèþ ýëåêòðîñîïðîòèâëåíèÿ, ïðè ýòîì ìàê-
ñèìàëüíûå çíà÷åíèÿ ÊÃÄ äîñòèãàþò 40�10-10 Ïà-1
(∆p=20 ÌÏà).
Çíà÷èòåëüíàÿ àíèçîòðîïèÿ ýëåêòðè÷åñêèõ è òåí-
çîñâîéñòâ ÍÊ Òå ïîçâîëÿåò äîñòè÷ü ïîâûøåíèÿ
÷óâñòâèòåëüíîñòè ê âñåñòîðîííåìó ñæàòèþ ïóòåì
ôîðìèðîâàíèÿ ñëîæíîãî àíèçîòðîïíîãî íàïðÿæåí-
íîãî ñîñòîÿíèÿ ×Ý çà ñ÷åò èñïîëüçîâàíèÿ êîíöåí-
òðàòîðîâ íàïðÿæåíèé. Äëÿ ýòîé öåëè èñïîëüçîâà-
ëèñü ÍÊ Òå òðóá÷àòîé ôîðìû ñ ãåêñàãîíàëüíîé âíåø-
íåé îãðàíêîé, îðèåíòèðîâàííûå âäîëü êðèñòàë-
ëîãðàôè÷åñêîé îñè [0001]. ×Ý, èçãîòîâëåííûå èç
òàêèõ ÍÊ, ïðåäñòàâëÿþò ñîáîé òðóá÷àòûå êðèñòàë-
ëû äëèíîé îò 0,5 äî 2 ìì ñ âíåøíèì äèàìåòðîì
0,12...0,28 ìì è âíóòðåííèì äèàìåòðîì 0,07...0,18 ìì.
Îáðàçöû ãåðìåòèçèðîâàëèñü ñ òîðöîâ çàãëóøêàìè
èç ýëåêòðîèçîëèðóþùåãî ìàòåðèàëà. Òîêîâûâîäû
ñîçäàâàëèñü ïóòåì èìïóëüñíîé ïðèâàðêè çîëîòîé
ìèêðîïðîâîëîêè [12].
Îáðàçîâàííàÿ â ðåçóëüòàòå ãåðìåòèçàöèè ×Ý
çàêðûòàÿ ïîëîñòü, ÿâëÿÿñü êîíöåíòðàòîðîì íàïðÿ-
æåíèé, îáóñëîâëèâàåò íåîäíîðîäíîå ñëîæíî-íàïðÿ-
æåííîå ñîñòîÿíèå ×Ý â óñëîâèÿõ âîçäåéñòâèÿ íà
åãî ïîâåðõíîñòü îäíîðîäíîãî èçîòðîïíîãî äàâëå-
íèÿ p. Ïîñêîëüêó ìàòåðèàë îáëàäàåò çíà÷èòåëüíîé
àíèçîòðîïèåé òåíçîñâîéñòâ, ÷óâñòâèòåëüíîñòü äàò÷è-
Ðèñ. 3. Çàâèñèìîñòü îòíîñèòåëüíîãî èçìåíåíèÿ ñîïðî-
òèâëåíèÿ ÍÊ Òå ðàçëè÷íîé ìîðôîëîãèè:
1 � äëèííûé ÍÊ; 2 � êîðîòêèé ÍÊ; 3 � òðóá÷àòûé ÍÊ;
4 � ïëàñòèí÷àòûé ÍÊ
Ðèñ. 2. Çàâèñèìîñòü êîýôôèöèåíòà ãèäðîñòàòè÷åñêîãî
äàâëåíèÿ îò óäåëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ÍÊ GaAs:
1 � ÍÊ, ëåãèðîâàííûå ìåëêèìè äîíîðíûìè ïðèìåñÿìè;
2 � ñïåöèàëüíî íå ëåãèðîâàííûå ÍÊ; 3 � ÍÊ, ëåãèðîâàí-
íûå ñåðîé
1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890
1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890
1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890ÊÎÌÏÎÍÅÍÒÛ ÄËß ÝËÅÊÒÐÎÍÍÎÉ ÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1998, ¹ 3�4
48
êîâ ê äàâëåíèþ ïîâûøàåòñÿ â íåñêîëüêî ðàç (äî 10).
Íà ðèñ. 4 ïîêàçàíû ãðàäóèðîâî÷íûå õàðàêòåðèñòè-
êè òàêîãî äàò÷èêà áåç ãåðìåòèçàöèè (êðèâàÿ 1) è ñ
ãåðìåòèçàöèåé (êðèâàÿ 2).
Äàò÷èê ïîçâîëÿåò èçìåðÿòü ñðàâíèòåëüíî íåâû-
ñîêèå äàâëåíèÿ (2...15 ÌÏà). Äëÿ îïòèìèçàöèè
ãåîìåòðèè è îáåñïå÷åíèÿ íàäåæíîé ðàáîòû â äèàïà-
çîíå èçìåðÿåìûõ äàâëåíèé ×Ý èñïîëüçîâàëèñü ñî-
îòíîøåíèÿ
(1)
Èñïîëüçîâàíèå ÍÊ Si, îáëàäàþùèõ âûñîêèì ïðî-
äîëüíûì òåíçîýôôåêòîì, â êà÷åñòâå ñòðóíû âèáðî-
÷àñòîòíîãî ïðåîáðàçîâàòåëÿ ïîçâîëÿåò ñîçäàâàòü
âûñîêî÷óâñòâèòåëüíûå ìåìáðàííûå äàò÷èêè äàâëå-
íèÿ äëÿ äèàïàçîíà 0...3 ÌÏà. Äëèíà ñòðóíû òàêîãî
äàò÷èêà ðàâíà 3 ìì, à äèàìåòð � 15 ìêì. ×àñòîòà
ñîáñòâåííûõ êîëåáàíèé ñîñòàâëÿåò îêîëî 50 êÃö [13].
Ñòàòè÷åñêàÿ ãðàäóèðîâêà äàò÷èêîâ îñóùåñòâëÿ-
ëàñü â óñòàíîâêå âûñîêîãî äàâëåíèÿ ÓÂÄ-15000.
Èçìåðåííûå ãðàäóèðîâî÷íûå õàðàêòåðèñòèêè ïðåä-
ñòàâëÿëèñü â âèäå çàâèñèìîñòåé
(2)
Çäåñü ∆R=R�R0 � ïðèðàùåíèå ñîïðîòèâëåíèÿ
×Ý, îáóñëîâëåííîå äàâëåíèåì p.
Ñòàòè÷åñêàÿ ãðàäóèðîâî÷íàÿ õàðàêòåðèñòèêà äàò-
÷èêà èç òðóá÷àòîãî ÍÊ òåëëóðà, ïîëó÷åííàÿ ïðè
òåìïåðàòóðå T0=300 K, ïîêàçàíà íà ðèñ. 4. Äëÿ äàò÷è-
êîâ ýòîãî òèïà â äèàïàçîíå òåìïåðàòóð 290...310 Ê
õàðàêòåðèñòèêè ñ òî÷íîñòüþ äî 1,5 % àïïðîêñèìè-
ðóþòñÿ ôóíêöèÿìè
(3)
ãäå α � òåìïåðàòóðíûé êîýôôèöèåíò.
Èçìåðåííàÿ çàâèñèìîñòü α(p), ïîêàçàííàÿ íà
ðèñ. 4, àïïðîêñèìèðóåòñÿ ïðÿìîé
α(p)=ap+b, (4)
ãäå a=�5,516�10�10 (K.Ïà)�1, b=0,0172 K�1.
Âàæíûì ìîìåíòîì â ñîçäàíèè äàò÷èêîâ äëÿ èç-
ìåðåíèÿ äèíàìè÷åñêèõ äàâëåíèé ÿâëÿåòñÿ óñòàíîâ-
ëåíèå èõ äèíàìè÷åñêèõ ãðàäóèðîâî÷íûõ õàðàêòåðèñ-
òèê. Ðåàëèçàöèÿ ýòîãî îñëîæíÿåòñÿ òåì, ÷òî ïðè
äèíàìè÷åñêîì íàãðóæåíèè âûõîäíîé ñèãíàë äàò÷è-
êà â êàæäûé ìîìåíò âðåìåíè t îïðåäåëÿåòñÿ íå
òîëüêî àêòóàëüíûì çíà÷åíèåì äàâëåíèÿ p(t), íî è
õîäîì åãî èçìåíåíèÿ. Ýòî áóäåò ïðîÿâëÿòüñÿ â çà-
âèñèìîñòè âûõîäíîãî ñèãíàëà îò ñêîðîñòè èçìåíå-
íèÿ äàâëåíèÿ p..
(5)
Òåìïåðàòóðà ×Ý òàêæå çàâèñèò îò ñêîðîñòè íà-
ãðóæåíèÿ äàò÷èêà âñëåäñòâèå ìåõàíîêàëîðè÷åñêîãî
ýôôåêòà � T=T(p,p.;t).
Òàêèì îáðàçîì, äëÿ óñòàíîâëåíèÿ ãðàäóèðîâî÷-
íîé õàðàêòåðèñòèêè âèäà (5) íåîáõîäèìî âûïîë-
íèòü èçìåðåíèÿ ïðè ðàçëè÷íûõ ñêîðîñòÿõ èçìåíå-
íèÿ âíåøíåãî äàâëåíèÿ. Ïðè ýòîì ðåçêî âîçðàñòà-
þò òðåáîâàíèÿ ê àïïàðàòóðå, êîòîðàÿ äîëæíà îáëà-
äàòü ñîîòâåñòâóþùèìè âîçìîæíîñòÿìè çàäàíèÿ íå-
ñòàöèîíàðíûõ äàâëåíèé â øèðîêèõ äèàïàçîíàõ èõ
àáñîëþòíûõ çíà÷åíèé è ñêîðîñòåé èçìåíåíèÿ. Âñå
ýòî ñóùåñòâåííî ïîâûøàåò ñòîèìîñòü äèíàìè÷åñêîé
ãðàäóèðîâêè äàò÷èêîâ äàâëåíèÿ, ñëåäîâàòåëüíî, è
ñàìèõ äàò÷èêîâ.
Ñòîèìîñòü äèíàìè÷åñêîé ãðàäóèðîâêè ìîæíî
áûëî áû ñóùåñòâåííî ñíèçèòü, åñëè áû óäàëîñü êà-
êèì-ëèáî îáðàçîì ïîëó÷èòü ãðàäóèðîâî÷íóþ õàðàê-
òåðèñòèêó (5) èñõîäÿ ëèøü èç ðåçóëüòàòîâ ñòàòè-
÷åñêîé ãðàäóèðîâêè èëè õîòÿ áû îãðàíè÷èòü êîëè-
÷åñòâî ãðàäóèðîâî÷íûõ öèêëîâ, âûïîëíÿåìûõ ïðè
ðàçëè÷íûõ ñêîðîñòÿõ íàãðóæåíèÿ, îäíèì�äâóìÿ.
Ïðåäëàãàåìûé ìåòîä ñîñòîèò â òîì, ÷òîáû èñ-
ïîëüçîâàòü ðåçóëüòàòû ñòàòè÷åñêîé ãðàäóèðîâêè
ñîâìåñòíî ñ ìàòåìàòè÷åñêîé ìîäåëüþ äåôîðìèðîâà-
íèÿ ×Ý, êîòîðàÿ ó÷èòûâàåò êàê ðàçëè÷íûå ðåæèìû
åãî íàãðóæåíèÿ, òàê è èçìåíåíèÿ òåìïåðàòóðû ïðè
äèíàìè÷åñêîì äåôîðìèðîâàíèè ×Ý.
Îòíîñèòåëüíîå èçìåíåíèå ñîïðîòèâëåíèÿ íàãðó-
æåííîãî äàò÷èêà ìîæíî ïðåäñòàâèòü â âèäå èíòåã-
ðàëà:
(6)
âíóòðåííèé è âíåøíèé ðàäèóñû òðóáêè;
ïðåäåë ïðî÷íîñòè ìàòåðèàëà ×Ý;
çàäàííûé âåðõíèé ïðåäåë èçìåðÿåìîãî
äàâëåíèÿ.
ãäå r1 è r2 �
[σ] �
pm �
Ðèñ. 4. Ãðàäóèðîâî÷íûå õàðàêòåðèñòèêè äàò÷èêîâ
ãèäðîñòàòè÷åñêîãî äàâëåíèÿ èç ÍÊ Te:
1 � òðóá÷àòûé êðèñòàëë; 2 � òðóá÷àòûé êðèñòàëë, ãåðìåòè-
çèðîâàííûé ñ òîðöîâ; 3 � çàâèñèìîñòü òåìïåðàòóðíîãî
êîýôôèöèåíòà α îò äàâëåíèÿ
∆R/R0, %
ãäå Ïijkl è σkl �
gij �
êîìïîíåíòû òåíçîðîâ ïüåçîñîïðîòèâëå-
íèÿ è ìåõàíè÷åñêèõ íàïðÿæåíèé, ñîîò-
âåòñòâåííî;
ôóíêöèè êîîðäèíàò, ó÷èòûâàþùèå ãåîìåò-
ðèþ ×Ý, ðàñïîëîæåíèå ýëåêòðîäîâ è ò. ï.
r
r
p
p
m
m
1
2
≤ −
+
[ ]
[ ]
,
σ
σ
∆R
R
f p Ts
0
= ( , ).
f p T f p T p T Ts s( , ) ( , )( ( )( )),= + −0 01 α
( ).,,
0
Tppf
R
R
d &=∆
,
3
1,,,0
dVg
R
R
V lkji
klijklij∫∫∫ ∑
=
σ=∆
Ï
1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890
1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890
1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890
1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890
ÊÎÌÏÎÍÅÍÒÛ ÄËß ÝËÅÊÒÐÎÍÍÎÉ ÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1998, ¹ 3�4
49
Èíòåãðèðîâàíèå â ôîðìóëå (6) ðàñïðîñòðàíÿåò-
ñÿ íà îáëàñòü ïðîñòðàíñòâà V, çàíÿòóþ ×Ý. Íåëè-
íåéíîñòü è òåìïåðàòóðíóþ çàâèñèìîñòü ãðàäóèðî-
âî÷íîé õàðàêòåðèñòèêè ó÷èòûâàåì, ïðèíèìàÿ â ôîð-
ìóëå (6) Ïijkl=Ïijkl(σmn,T).
Ïðåäïîëîæèì, ÷òî ôóíêöèè gij è çàâèñèìîñòü
Ïijkl(σmn,T) èçâåñòíû. Òîãäà, ðåøèâ ñîîòâåñòâóþ-
ùóþ êðàåâóþ çàäà÷ó ñòàòè÷åñêîé òåîðèè óïðóãîñòè
ïðè çàäàííîì ïîñòîÿííîì äàâëåíèè p è íàéäÿ òàêèì
îáðàçîì ðàñïðåäåëåíèå íàïðÿæåíèé σmn=σmn(p,r),
r∈V â îáúåìå ×Ý, ïî ôîðìóëå (6) ìîæíî âû÷èñ-
ëèòü ïðèðàùåíèå ñîïðîòèâëåíèå äàò÷èêà, îáóñëîâ-
ëåííîå ïðèëîæåííûì äàâëåíèåì p. Ïðîäåëàâ òî æå
ñàìîå äëÿ âñåõ çíà÷åíèé äàâëåíèÿ p è òåìïåðàòóðû
T èç íåêîòîðîãî äèàïàçîíà, ìîæíî ðàññ÷èòàòü ñòà-
òè÷åñêóþ ãðàäóèðîâî÷íóþ õàðàêòåðèñòèêó (2).
Ñ äðóãîé ñòîðîíû, åñëè èçâåñòíà ãðàäóèðîâî÷-
íàÿ õàðàêòåðèñòèêà fs(p,T), òî, èñïîëüçóÿ åå ñî-
âìåñòíî ñ ñîîòíîøåíèåì (6), ïðèõîäèì ê èíòåãðàëü-
íîìó óðàâíåíèþ
(7)
îòíîñèòåëüíî íåèçâåñòíûõ ôóíêöèé
 óñòàíîâëåííûõ òàêèì îáðàçîì çàâèñèìîñòÿõ
Skl(σmn, T) áóäóò ó÷òåíû èíòåãðàëüíî âîçìîæíûå
âàðèàöèè ôèçè÷åñêèõ è ãåîìåòðè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ
×Ý, îòêëîíåíèå ðåàëüíûõ óñëîâèé íàãðóæåíèÿ îò
ïðèíÿòîé ìîäåëè. Áëàãîäàðÿ ýòîìó áóäåò óìåíüøå-
íà ïîãðåøíîñòü ãðàäóèðîâêè ïî ñðàâíåíèþ ñî ñëó-
÷àåì, êîãäà çàâèñèìîñòè Ïijkl(σmn, T) îïðåäåëÿþòñÿ
ïóòåì ïðÿìûõ ôèçè÷åñêèõ èçìåðåíèé. Òàêèì îáðà-
çîì, êîýôôèöèåíòû Skl(σmn, T) ìîæíî ðàññìàòðè-
âàòü êàê íåêèå ïîäãîíî÷íûå ïàðàìåòðû, ïðèçâàí-
íûå ìèíèìèçèðîâàòü ðàçëè÷èå ìåæäó ìàòåìàòè÷åñ-
êîé ìîäåëüþ äàò÷èêà è åãî ðåàëüíûì ïîâåäåíèåì â
ñòàòèêå.
Ñîîòíîøåíèå (6) ñïðàâåäëèâî òàêæå è â ñëó÷àå
íåñòàöèîíàðíîãî íàãðóæåíèÿ, ñ òåì îòëè÷èåì, ÷òî â
ýòîì ñëó÷àå òåíçîð íàïðÿæåíèé ñòàíîâèòñÿ ôóíêöèåé
âðåìåíè σmn=σmn(p,p., r, t) è âîçíèêàåò îáóñëîâëåí-
íîå äèíàìè÷åñêèì ñæàòèåì íåîäíîðîäíîå íåñòàöèî-
íàðíîå òåìïåðàòóðíîå ïîëå. Ñ ó÷åòîì ýòîãî ïîëó÷à-
åì ñëåäóþùåå èíòåãðàëüíîå ñîîòíîøåíèå ìåæäó èç-
ìåðÿåìûì âûõîäíûì ñèãíàëîì äàò÷èêà è ïðèëîæåí-
íûì äàâëåíèåì p=p(t):
(8)
Ôóíêöèè Skl(σmn, T) â (8) ìîãóò áûòü óñòàíîâëå-
íû èñõîäÿ èç ðåçóëüòàòîâ ñòàòè÷åñêîé ãðàäóèðîâêè
ïóòåì ðåøåíèÿ èíòåãðàëüíîãî óðàâíåíèÿ (7), à ôóí-
êöèè σmn(p,p.,r,t) è T(p,p.,r,t) ìîæíî íàéòè, ðåøàÿ
ñîîòâåñòâóþùóþ äèíàìè÷åñêóþ çàäà÷ó òåðìîóïðó-
ãîñòè ïðè çàäàííîì çàêîíå íàãðóæåíèÿ p(t), ñëåäî-
âàòåëüíî, ôîðìóëà (8) ïîçâîëÿåò ðàññ÷èòàòü äèíà-
ìè÷åñêóþ ãðàäóèðîâî÷íóþ õàðàêòåðèñòèêó.
Ðàññìîòðèì ïðèìåð ïðèìåíåíèÿ ðàçðàáîòàííîãî
ìåòîäà ãðàäóèðîâêè äëÿ ïðîñòåéøåãî ñëó÷àÿ êâà-
çèñòàòè÷åñêîãî íàãðóæåíèÿ, êîãäà çàâèñèìîñòü òåí-
çîðà íàïðÿæåíèé îò âðåìåíè è êîîðäèíàò ïðåäñòàâ-
ëÿåòñÿ êàê σmn=σmn(p(t),r). Ýòîò ñëó÷àé ðåàëèçóåò-
ñÿ, åñëè ñïåêòð ñîáñòâåííûõ ÷àñòîò ìåõàíè÷åñêèõ
êîëåáàíèé äàò÷èêà íàõîäèòñÿ âûøå ïî øêàëå ÷àñ-
òîò ÷àñòîòíîãî ñïåêòðà èìïóëüñà äàâëåíèÿ p(t). Òîã-
äà, ïîëàãàÿ âàðèàöèè òåìïåðàòóðû ×Ý, îáóñëîâëåí-
íûå åãî äèíàìè÷åñêîé äåôîðìàöèåé, äîñòàòî÷íî
ìàëûìè, ïðåäñòàâèì ïðàâóþ ÷àñòü (5) â âèäå ðàçëî-
æåíèÿ ïî T â îêðåñòíîñòè òåìïåðàòóðû ñðåäû Tc0 â
ìîìåíò âðåìåíè, ïðåäøåñòâóþùèé âîçäåéñòâèþ èì-
ïóëüñà äàâëåíèÿ, è îãðàíè÷èìñÿ ëèíåéíûì ÷ëåíîì
(9)
Èíòåãðèðóÿ äèôôåðåíöèàëüíîå óðàâíåíèå òåïëî-
îáìåíà [14] â ñèñòåìå «×Ý�ñðåäà» ïðè íà÷àëüíûõ
óñëîâèÿõ T=Tc0, ïîëó÷àåì
(10)
Ñ ó÷åòîì (10), ôîðìóëà (9) ïðèîáðåòàåò îêîí-
÷àòåëüíûé âèä:
(11)
ãäå τ=c/h, λ=(q/cα0)
�1, α0=α(p0).
Ñîãëàñíî (11), îòêëîíåíèå ãðàäóèðîâî÷íîé õà-
ðàêòåðèñòèêè fd(p,p.,Tc0) îò ñòàòè÷åñêîé õàðàêòåðèñ-
òèêè fs(p,Tc0) îïðåäåëÿåòñÿ ôóíêöèåé α(p) è äâóìÿ
ïàðàìåòðàìè � τ, λ. Ôóíêöèÿ α(p), êàê è fs(p,Tc0),
îïðåäåëÿåòñÿ èñõîäÿ èç äàííûõ ñòàòè÷åñêîé ãðàäó-
èðîâêè äàò÷èêà ïðè íåñêîëüêèõ òåìïåðàòóðàõ. Ïîñ-
òîÿííóþ âðåìåíè òåïëîâîé ðåëàêñàöèè τ, à òàêæå
òåïëîåìêîñòü c ìîæíî îïðåäåëèòü ýêñïåðèìåíòàëü-
íî, èñïîëüçóÿ èçâåñòíûå ìåòîäèêè òåïëîôèçè÷åñ-
êèõ èçìåðåíèé. ×òî êàñàåòñÿ ïàðàìåòðà q, òî åãî
ìîæíî ðàññ÷èòàòü èñõîäÿ èç òåðìîäèíàìè÷åñêèõ
ñâîéñòâ ìàòåðèàëà [14, ñ. 87]. Ñëåäîâàòåëüíî, ïàðà-
ìåòðû τ, λ ìîæíî óñòàíîâèòü, íå ïðèáåãàÿ ê äèíà-
ìè÷åñêîé ãðàäóèðîâêå. Îäíàêî äëÿ ïîâûøåíèÿ òî÷-
íîñòè èçìåðåíèé ïàðàìåòðû τ, λ ìîæíî îïðåäåëèòü
ãäå c �
h �
q �
òåïëîåìêîñòü äàò÷èêà;
êîýôôèöèåíò òåïëîîáìåíà ×Ý ñ âíåøíåé ñðå-
äîé;
ïàðàìåòð, ó÷èòûâàþùèé ìåõàíîêàëîðè÷åñêèé
ýôôåêò, âîçíèêàþùèé ïðè äèíàìè÷åñêîì äå-
ôîðìèðîâàíèè ×Ý.
7�169
∫∫∫ ∑
=
σσ=
=
V lkji
klmnijklij
s
dVpTpg
Tpf
3
1,,,
),()),,((
),(
rrÏ
S T g Tkl mn ij ijkl mn
i j
( , ) ( , ).
,
σ σ= ∑ Ï
3
∫∫∫∑
=
σσ=
=
V kl
klmnkl
d
dVtpptppTtppS
Tppf
3
1
.),,,()),,,(),,,,((
),,(
rrr &&&
&
( ) ( )( )( ).,)(1),(,, 00 ccsd TppTpTpfTppf −α+= &&
( ) ,expexp,
0
0
−=− ∫
t
c dtt
c
h
p
c
q
t
c
h
TppT &&
,expexp
1)(
1),(),,(
00
00
τ
τ
−
τλα
α
+= ∫
t
cscd dt
t
p
tp
TpfTppf &&
1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890
1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890
1234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789012123456789012345678901234567890ÊÎÌÏÎÍÅÍÒÛ ÄËß ÝËÅÊÒÐÎÍÍÎÉ ÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1998, ¹ 3�4
50
òàê, ÷òîáû äîñòè÷ü ìèíèìàëüíîãî ðàçëè÷èÿ ìåæäó
èçìåðåííûì ñèãíàëîì è ôóíêöèåé (11) ïðè êàêîì-
ëèáî çàäàííîì çàêîíå äàâëåíèÿ p(t). Îïðåäåëåííûå
òàêèì îáðàçîì ïàðàìåòðû áóäóò êîìïåíñèðîâàòü
âîçìîæíûå îòêëîíåíèÿ ìàòåìàòè÷åñêîé ìîäåëè äàò-
÷èêà îò åãî ïîâåäåíèÿ â äèíàìèêå.
Íà ðèñ. 5 ïîêàçàíû çàâèñèìîñòè îòíîñèòåëüíî-
ãî èçìåíåíèÿ ñîïðîòèâëåíèÿ äàò÷èêà îò äàâëåíèÿ
ïðè ðàçëè÷íûõ ïîñòîÿííûõ ñêîðîñòÿõ íàðàñòàíèÿ
äàâëåíèÿ, ðàññ÷èòàííûå ïî ôîðìóëå (11). Êðèâûå
1�4 ñîîòâåòñòâóþò çíà÷åíèÿì p& /λ= 0; 0,2; 0,5; 0,8.
 ðàññìîòðåííîì ïðîñòîì ïðèìåðå íå ó÷èòûâà-
ëèñü íåîäíîðîäíîñòü òåìïåðàòóðû ×Ý, âàðèàöèè òåì-
ïåðàòóðû ñðåäû, âëèÿíèå äàâëåíèÿ íà êîýôôèöè-
åíò òåïëîîáìåíà. Ó÷åò âñåõ ýòèõ ôàêòîðîâ íå ñî-
ïðÿæåí ñ êàêèìè-ëèáî ïðèíöèïèàëüíûìè òðóäíîñ-
òÿìè è ïðèâåäåò ëèøü ê áîëåå ñëîæíîé, ïî ñðàâíå-
íèþ ñ (11), ôóíêöèîíàëüíîé çàâèñèìîñòè
fd(p, p& ,Tc0), êîòîðàÿ áóäåò ñîäåðæàòü, âìåñòå ñ êî-
ýôôèöèåíòàìè τ è λ, è äðóãèå ïàðàìåòðû.
Òàêèì îáðàçîì, èñïîëüçóÿ ñèëüíîëåãèðîâàííûå
è êîìïåíñèðîâàííûå ÍÊ GaAs, à òàêæå ÍÊ òåëëóðà
ðàçëè÷íûõ ìîðôîëîãè÷åñêèõ ôîðì � èãîëü÷àòûå,
ïëàñòèí÷àòûå è ÍÊ òðóá÷àòîé ôîðìû, ìîæíî â íå-
ñêîëüêî ðàç (äî 10) ïîâûñèòü ÷óâñòâèòåëüíîñòü äàò-
÷èêîâ â îáëàñòè íèçêèõ äàâëåíèé. Ïðèìåíÿÿ ê ýòèì
äàò÷èêàì ðàçðàáîòàííóþ ìåòîäèêó, ìîæíî îãðàíè-
÷èòüñÿ èçìåðåíèÿìè â ñòàòèêå è îäíèì�äâóìÿ öèê-
ëàìè äèíàìè÷åñêîãî íàãðóæåíèÿ. Ýòî ïîçâîëÿåò
ïîâûñèòü ýôôåêòèâíîñòü èñïîëüçîâàíèÿ ïîëóïðî-
âîäíèêîâûõ äàò÷èêîâ íà îñíîâå ÍÊ äëÿ èçìåðåíèÿ
èìïóëüñíûõ äàâëåíèé.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Czaputowich Å. Electrooporowe mierniki wyookich
cisnien // Pomiary. Automatyka. Kontrola. � 1969.�
N 11.� Ð. 472.
2. Ïàò. 3270562 ÑØÀ. Solid state hydrostatic pressure
gauge / A. Ehrenreich, G. E. Fenner.� Îïóáë. 06.09.1966.
3. Áåðíîòàñ Ê. Ý., Êîëòàêîâ Â. Ê., Êóäðÿøîâ Ý. È.
è äð. Ïîëóïðîâîäíèêîâûå äàò÷èêè äàâëåíèÿ íà îñíîâå
êðèñòàëëîâ AlõGa1�õAs // Ï è ÑÓ.� 1988.� ¹ 11. �
Ñ. 24�26.
4. Ìàðüÿìîâà È. È., Ñûäèð Á. È., Åêèìîâ Þ. Ñ.
Ïîëóïðîâîäíèêîâûå äàò÷èêè íà îñíîâå àíòèìîíèäà ãàë-
ëèÿ äëÿ èçìåðåíèÿ áîëüøèõ äàâëåíèé // Ï è ÑÓ.�
1981.� ¹ 3. � Ñ. 35.
5. Vyas Ì. Ê. R. Gàllium arsenide pressure sensor //
High temperatures High pressures.� 1974.� Vol. 6.�
P. 237�240.
6. Àáðàì÷óê Ã. À., Àëåõèí Â. À., Äåðãà÷åâà Â. Ã.
Íèòåâèäíûé êðåìíèåâûé òåíçîðåçèñòîð äëÿ ðåãèñòðà-
öèè èìïóëüñíûõ ïðîöåññîâ // ÏÒÝ.� 1977. � ¹ 2.�
Ñ. 217�218.
7. Àáðàì÷óê Ã. À. Òåíçî÷óâñòâèòåëüíîñòü íèòå-
âèäíûõ êðåìíèåâûõ òåíçîðåçèñòîðîâ ê èìïóëüñíûì
óïðóãèì âîëíàì äåôîðìàöèè â èíòåðâàëå òåìïåðà-
òóð �50...110°Ñ // ÏÒÝ.� 1978.� ¹ 1.� Ñ. 181�182.
8. Àáðàì÷óê Ã. À., ×åêóðèí Â. Ô. ×óâñòâèòåëüíîñòü
íèòåâèäíûõ êðåìíèåâûõ òåíçîðåçèñòîðîâ ê ñêîðîñòè
äåôîðìàöèè â äèàïàçîíå 50...420 ñ�1 // Ïðîáëåìû ïðî-
÷íîñòè.� 1985.� ¹ 4.� Ñ. 119�120.
9. Ãèâàðãèçîâ Å. Í. Ðîñò íèòåâèäíûõ è ïëàñòèí÷à-
òûõ êðèñòàëëîâ èç ïàðà.� Ì. : Íàóêà, 1977.
10. Êîâðûæíûõ Í. À., Êðèâîðîòîâ Í. Ï., Ïåðåãóä
Â. È. è äð. Äàò÷èê ñ p�n-ïåðåõîäîì äëÿ èçìåðåíèÿ
ñòàòè÷åñêèõ è èìïóëüñíûõ äàâëåíèé // Âîïðîñû àòîì-
íîé íàóêè è òåõíèêè. Ýëåêòðîôèçè÷åñêàÿ àïïàðàòóðà.�
Ë. : 1985.� ¹ 22.� Ñ. 90�92
11. Âàðøàâà Ñ. Ñ., Ñûäèð Á. È. Âëèÿíèå ãèäðîñ-
òàòè÷åñêîãî äàâëåíèÿ íà ýëåêòðîñîïðîòèâëåíèå íèòå-
âèäíûõ êðèñòàëëîâ àðñåíèä ãàëëèÿ // ÔÒÏ. � 1981.�
¹ 11.� Ñ. 2247�2249.
12. À. ñ. 1273988 ÑÑÑÐ. Äàò÷èê ãèäðîñòàòè÷åñêîãî
äàâëåíèÿ / Ñ. Ñ. Âàðøàâà, Á. È. Ñûäèð, Â. Ô. ×åêó-
ðèí.� Îïóáë. â Á. È., 1986, ¹ 44.
13. Baitsar R., Voronin V., Krasnogenov E., Bogda-
nova N. Operation of monocrystaline resonator in a me-
asuring circuit // Sensors and actuators. A.� 1992.�
N 1�2.� P. 175�178.
14. Íîâàöêèé Â. Òåîðèÿ óïðóãîñòè.� Ì. : Ìèð, 1975.
Ðèñ. 5. Çàâèñèìîñòü îòíîñèòåëüíîãî èçìåíåíèÿ ñîïðî-
òèâëåíèÿ äàò÷èêà èç òðóá÷àòîãî ÍÊ Òå ïðè ðàçëè÷íûõ
ñêîðîñòÿõ èçìåíåíèÿ äàâëåíèÿ
|