Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала
Разработана технология формирования тонкопленочных конденсаторов на основе базовых слоев β-тантала ионным распылением танталовой мишени при одновременном легировании элементами Iб, IIб, III, IV, Vа, VIа, VIIа, VIIIа Периодической системы. Такие тонкопленочные элементы конденсаторов могут быть исполь...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 1998 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1998
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140787 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала / Я.С. Буджак, С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 62. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862744582795558912 |
|---|---|
| author | Буджак, Я.С. Новосядлый, С.П. |
| author_facet | Буджак, Я.С. Новосядлый, С.П. |
| citation_txt | Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала / Я.С. Буджак, С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 62. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Разработана технология формирования тонкопленочных конденсаторов на основе базовых слоев β-тантала ионным распылением танталовой мишени при одновременном легировании элементами Iб, IIб, III, IV, Vа, VIа, VIIа, VIIIа Периодической системы. Такие тонкопленочные элементы конденсаторов могут быть использованы при формировании структур активных RC-фильтров и динамических оперативных запоминающих устройств произвольной выборки.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:36:45Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-140787 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:36:45Z |
| publishDate | 1998 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Буджак, Я.С. Новосядлый, С.П. 2018-07-15T11:48:25Z 2018-07-15T11:48:25Z 1998 Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала / Я.С. Буджак, С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 62. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140787 Разработана технология формирования тонкопленочных конденсаторов на основе базовых слоев β-тантала ионным распылением танталовой мишени при одновременном легировании элементами Iб, IIб, III, IV, Vа, VIа, VIIа, VIIIа Периодической системы. Такие тонкопленочные элементы конденсаторов могут быть использованы при формировании структур активных RC-фильтров и динамических оперативных запоминающих устройств произвольной выборки. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Депонированные рукописи Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала Article published earlier |
| spellingShingle | Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала Буджак, Я.С. Новосядлый, С.П. Депонированные рукописи |
| title | Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала |
| title_full | Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала |
| title_fullStr | Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала |
| title_full_unstemmed | Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала |
| title_short | Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала |
| title_sort | формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала |
| topic | Депонированные рукописи |
| topic_facet | Депонированные рукописи |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140787 |
| work_keys_str_mv | AT budžakâs formirovanietonkoplenočnogodiélektrikanaosnoveβtantala AT novosâdlyisp formirovanietonkoplenočnogodiélektrikanaosnoveβtantala |