Предложение о сотрудничестве
Редакционный комитет международного журнала "Проблемы машиностроения и автоматизации" предлагает сотрудничество на коммерческой основе.
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 1998 |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1998
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140790 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Предложение о сотрудничестве // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 27. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-140790 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
2018-07-15T11:51:07Z 2018-07-15T11:51:07Z 1998 Предложение о сотрудничестве // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 27. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140790 Редакционный комитет международного журнала "Проблемы машиностроения и автоматизации" предлагает сотрудничество на коммерческой основе. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Предложение о сотрудничестве Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Предложение о сотрудничестве |
| spellingShingle |
Предложение о сотрудничестве |
| title_short |
Предложение о сотрудничестве |
| title_full |
Предложение о сотрудничестве |
| title_fullStr |
Предложение о сотрудничестве |
| title_full_unstemmed |
Предложение о сотрудничестве |
| title_sort |
предложение о сотрудничестве |
| publishDate |
1998 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| description |
Редакционный комитет международного журнала "Проблемы машиностроения и автоматизации" предлагает сотрудничество на коммерческой основе.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140790 |
| fulltext |
123456789012345678901234567890121234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789
123456789012345678901234567890121234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789
123456789012345678901234567890121234567890123456789012345678901212345678901234567890123456789ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1998, ¹ 3�4
27
Äëÿ îáåñïå÷åíèÿ âûñîêîé ñòàáèëüíîñòè íàïûëåííûõ
ÒÏÊ ïðîâîäèëàñü èõ òåðìè÷åñêàÿ îáðàáîòêà íà âîçäó-
õå. Ïðè ýòîì ïðîèñõîäèëî óïîðÿäî÷åíèå ñòðóêòóðû êîí-
äåíñàòîâ çà ñ÷åò îáðàçîâàíèÿ ïîëèêðèñòàëëè÷åñêèõ ôàç
[6, ñ. 77]. Ðåæèìû òåðìîîáðàáîòêè îïðåäåëÿëèñü ýêñïå-
ðèìåíòàëüíî èñõîäÿ èç êðèòåðèÿ ïîëó÷åíèÿ îïòèìàëü-
íûõ âîñïðîèçâîäèìûõ ïàðàìåòðîâ ïëåíîê, â ÷àñòíîñòè,
ÒÊÑ è ñòàáèëüíîñòè ρS.
Òåõíîëîãè÷åñêèå ïàðàìåòðû ïîëó÷åíèÿ ðåçèñòèâ-
íûõ ïëåíîê è ïîëó÷åííûå ýëåêòðîôèçè÷åñêèå
ñâîéñòâà ÒÏÊ ïðåäñòàâëåíû â òàáëèöå. Òàêèå òîí-
êîïëåíî÷íûå êîíäåíñàòû âûñîêîîìíûõ ðåçèñòèâ-
íûõ ìàòåðèàëîâ ÑÒ5240 è ÑÒ5015 ìîãóò ïðèìå-
íÿòüñÿ äëÿ ôîðìèðîâàíèÿ òîïîëîãèè ÃÈÑ ïîñðåä-
ñòâîì ôîòîëèòîãðàôèè. Ýëåìåíòû òàêèõ ìèêðîñõåì
èìåþò õîðîøèå ýêñïëóàòàöèîííûå ïàðàìåòðû: âû-
ñîêîå óäåëüíîå ïîâåðõíîñòíîå ñîïðîòèâëåíèå, íèç-
êèå çíà÷åíèÿ ÒÊÑ, äîñòàòî÷íî ïðèåìëåìûé óðîâåíü
òåìïåðàòóðíî-âðåìåííîé ñòàáèëüíîñòè, íåáîëüøîé
ðàçáðîñ ρS ïî ïëîùàäè ïîäëîæêè.
Òàêèì îáðàçîì, îïèñàííàÿ òåõíîëîãèÿ îáåñïå÷è-
âàåò ïîëó÷åíèå âûñîêîêà÷åñòâåííîé ïðåöèçèîííîé
ïàññèâíîé ÷àñòè ìèêðîñõåì ñ ÒÏÊ êèëîîìíîãî äèà-
ïàçîíà ýëåêòðîñîïðîòèâëåíèÿ íà ñòàíäàðòíîì îáî-
ðóäîâàíèè èîííî-ïëàçìåííîãî ðàñïûëåíèÿ òèïà
ÓÂÍ-75Ð-3.
 çàêëþ÷åíèå îòìåòèì, ÷òî ïðåäëîæåííàÿ òåõíî-
ëîãèÿ ïðåäïîëàãàåò è ñóùåñòâåííîå óâåëè÷åíèå âû-
õîäà ãîäíûõ ñõåì çà ñ÷åò âîñïðîèçâîäèìîñòè ýëåê-
òðè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ ÒÏÊ è èõ ñòàáèëüíîñòè â ïðî-
öåññå ñåðèéíîãî ïðîèçâîäñòâà.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Äâîðèíà Ë. À. Íîâûå ìàòåðèàëû äëÿ ìèêðîýëåê-
òðîíèêè. � Êèåâ: ÈÏÌ ÍÀÍÓ, 1983.
2. ÎÑÒ 107.750.878.001�87. Ðåçèñòèâíûé ìàòåðèàë
ÑÒ5015.
3. À. ñ. ÑÑÑÐ 1279421. Ðåçèñòèâíûé ìàòåðèàë /
À. Ñ. Ìèíååâ, Ë. È. Õàëèçîâà., À. Ã. Èâàíîâ è äð. �
02.06 1983 ã.
4. À. ñ. ÑÑÑÐ 1331339. Ðåçèñòèâíûé ìàòåðèàë /
À. Ñ. Ìèíååâ, Í. Ì. Êîíäðàòîâ, Ë. È. Õàëèçîâà è äð.
� 09.01 1985 ã.
5. ÎÑÒ 4ÃÎ.054.238. Ìèêðîñáîðêè. Ïëàòû òîíêî-
ïëåíî÷íûå. Òèïîâûå òåõíîëîãè÷åñêèå ïðîöåññû.
6. Êîìíèê Þ. Ô. Ôèçèêà ìåòàëëè÷åñêèõ ïëåíîê. Ðàç-
ìåðíûå è ñòðóêòóðíûå ýôôåêòû. � Ì.: Àòîìèçäàò, 1979.
ÓÂÀÆÀÅÌÛÅ ÃÎÑÏÎÄÀ!
Ðåäàêöèîííûé êîìèòåò ìåæäóíàðîäíîãî æóðíàëà �ÏÐÎÁËÅÌÛ ÌÀØÈÍÎÑÒÐÎÅÍÈß È
ÀÂÒÎÌÀÒÈÇÀÖÈÈ� ïðåäëàãàåò ñîòðóäíè÷åñòâî íà êîììåð÷åñêîé îñíîâå â ñëåäóþùèõ
íàïðàâëåíèÿõ:
♦ Âûïóñê ñïåöèàëüíûõ òåìàòè÷åñêèõ
íîìåðîâ æóðíàëà íà îñíîâå Âàøèõ ìà-
òåðèàëîâ (îáçîðîâ, ñòàòåé, ñîîáùåíèé,
èíôîðìàöèè è ðåêëàìû).
♦ Ïóáëèêàöèÿ òåìàòè÷åñêèõ ðàçäåëîâ
íà îñíîâå Âàøèõ ìàòåðèàëîâ â òåêó-
ùèõ íîìåðàõ æóðíàëà.
♦ Ïóáëèêàöèÿ èíôîðìàöèè î íîâûõ
èññëåäîâàíèÿõ, ðàçðàáîòêàõ, òåõíîëîãè-
ÿõ, ìàòåðèàëàõ è óñëóãàõ.
Àäðåñ äëÿ ïåðåïèñêè
Ðîññèÿ, 125252, Ìîñêâà, óë. Êóóñèíåíà, 21 á,
Ìåæäóíàðîäíûé öåíòð íàó÷íîé è òåõíè÷åñ-
êîé èíôîðìàöèè (ÌÖÍÒÈ),
Ñåêòîð îðãàíèçàöèè, ïîäãîòîâêè è ðàñïðîñ-
òðàíåíèÿ èçäàíèé.
Ôàêñ: (095) 943 00 89
Êîíòàêòíûé òåëåôîí: (095) 198 72 10
Êîñòèí Àíàòîëèé Ìèõàéëîâè÷
(îòâ. ñåêðåòàðü æóðíàëà).
♦ Ïóáëèêàöèÿ îòäåëüíûõ ñòàòåé è ñî-
îáùåíèé.
♦ Ïóáëèêàöèÿ ðåêëàìû â æóðíàëå.
♦ Ïóáëèêàöèÿ ðåêëàìû â âåíãåðñêèõ
æóðíàëàõ �ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÌÀØÈÍÎÑÒÐÎ-
ÅÍÈß� (GEPGYARTASTECHNOLOGIA) È
�ÝÊÎÍÎÌÈÊÀ � ÊÓËÜÒÓÐÀ � ÍÀÓÊÀ ÑÅ-
ÂÅÐÍÎÉ ÂÅÍÃÐÈÈ� (ESZAK �
MAGYARORSZAGI GAZDASAG � KYLTURA
� TUDOMANY).
Ìàòåðèàëû äëÿ ïóáëèêàöèè ïðèíèìà-
þòñÿ íà ðóññêîì èëè àíãëèéñêîì ÿçûêàõ.
Îïëàòà ïî äîãîâîðåííîñòè. ÍÄÑ íå îá-
ëàãàåòñÿ.
Ñ îðãàíèçàöèÿìè, çàèíòåðåñîâàííûìè
â äîëãîâðåìåííûõ êîíòàêòàõ, ðåäàêöèÿ
ãîòîâà ðàññìîòðåòü ðàçëè÷íûå íàïðàâëå-
íèÿ ñîòðóäíè÷åñòâà íà äîãîâîðíîé îñíî-
âå, âêëþ÷àÿ ó÷àñòèå èõ ïðåäñòàâèòåëåé â
ðàáîòå ðåäàêöèîííîé êîëëåãèè æóðíàëà.
♦ ♦ ♦
Ðåæèìû òåðìîîáðàáîòêè Ïàðàìåòðû ÒÏÊ
Ìàòåðèàë
ìèøåíè Òåìïåðàòóðà, Ê
Âðåìÿ
âûäåðæêè, ÷
ñS, êÎì/ ÒÊÑ, 105 Ê�1
Ñòàáèëüíîñòü ñS
ïðè âûäåðæêå 1000 ÷
ïðè 398 Ê, %
ÑÒ5240 973 0,1—0,16 0,1—6,0 ±5 0,5
ÑÒ5015 823 3—5 5—50 (±5)…(±10) 0,5
4*
|
| citation_txt |
Предложение о сотрудничестве // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 27. — рос. |
| first_indexed |
2025-11-25T01:41:57Z |
| last_indexed |
2025-11-25T01:41:57Z |
| _version_ |
1850501019469873152 |