Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN

Для вакуумно-дуговых многослойных Mo₂N/CrN-систем с нанометровой толщиной слоев проведено комплексное исследование влияния технологических параметров, ответственных за энергетическое состояние осаждаемых частиц, на элементный и структурно-фазовый составы, твердость и трибологические характеристики ф...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2016
Автори:	Береснев, В.М., Клименко, С.А., Соболь, О.В., Гранкин, С.С., Столбовой, В.А., Турбин, П.В., Новиков, В.Ю., Мейлехов, А.А., Литовченко, С.В., Маликов, Л.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2016
Назва видання:	Сверхтвердые материалы
Теми:	Получение, структура, свойства
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/143833
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN / В.М. Береснев, С.А. Клименко, О.В. Соболь, С.С. Гранкин, В.А. Столбовой, П.В. Турбин, В.Ю. Новиков, А.А. Мейлехов, С.В. Литовченко, Л.В. Маликов // Сверхтвердые материалы. — 2016. — № 2. — С. 55-64. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-143833
record_format	dspace
spelling	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1438332025-02-09T13:31:19Z Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN Береснев, В.М. Клименко, С.А. Соболь, О.В. Гранкин, С.С. Столбовой, В.А. Турбин, П.В. Новиков, В.Ю. Мейлехов, А.А. Литовченко, С.В. Маликов, Л.В. Получение, структура, свойства Для вакуумно-дуговых многослойных Mo₂N/CrN-систем с нанометровой толщиной слоев проведено комплексное исследование влияния технологических параметров, ответственных за энергетическое состояние осаждаемых частиц, на элементный и структурно-фазовый составы, твердость и трибологические характеристики формируемых покрытий. Установлено образование двух структурно-фазовых типов в совмещенных нитридных слоях: γ-Mo₂N/CrN с изоструктурными кубическими кристаллическими решетками и γ-Mo₂N/β-Cr₂N с неизоструктурными кубической и гексагональной решетками. Для вакуумно-дугових багатошарових Mo₂N/CrM-систем з нанометровою товщиною шарів проведено комплексне дослідження впливу технологічних параметрів, відповідальних за енергетичний стан частинок, що осаджували, на елементний і структурно-фазовий склади, твердість і трибологічні характеристики формованих покриттів. Встановлено утворення двох структурно-фазових типів в суміщених нітридних шарах: γ-Mo₂N/CrN з ізоструктурними кубічними кристалічними ґратками і γ-Mo₂N/β-Cr₂N з неізоструктурними кубічною і гексагональною ґратками. A complex study has been performed of the effect of the technological parameters, which are responsible for the energy states of deposited particles, on the elemental, phase and structure compositions, hardness, and tribological characteristics of formed vacuum–arc multilayer Mo₂N/CrN systems with a nanometric thickness. The formation of two phase and structure types has been defined in combined nitride layers: γ-Mo₂N/CrN with the isostructural cubic crystalline lattices and γ-Mo₂N/CrN with non-isostructural cubic and hexagonal lattices. 2016 Article Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN / В.М. Береснев, С.А. Клименко, О.В. Соболь, С.С. Гранкин, В.А. Столбовой, П.В. Турбин, В.Ю. Новиков, А.А. Мейлехов, С.В. Литовченко, Л.В. Маликов // Сверхтвердые материалы. — 2016. — № 2. — С. 55-64. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 0203-3119 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/143833 621.793: 539.61: 669.018: 620.1 ru Сверхтвердые материалы application/pdf Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Получение, структура, свойства Получение, структура, свойства
spellingShingle	Получение, структура, свойства Получение, структура, свойства Береснев, В.М. Клименко, С.А. Соболь, О.В. Гранкин, С.С. Столбовой, В.А. Турбин, П.В. Новиков, В.Ю. Мейлехов, А.А. Литовченко, С.В. Маликов, Л.В. Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN Сверхтвердые материалы
description	Для вакуумно-дуговых многослойных Mo₂N/CrN-систем с нанометровой толщиной слоев проведено комплексное исследование влияния технологических параметров, ответственных за энергетическое состояние осаждаемых частиц, на элементный и структурно-фазовый составы, твердость и трибологические характеристики формируемых покрытий. Установлено образование двух структурно-фазовых типов в совмещенных нитридных слоях: γ-Mo₂N/CrN с изоструктурными кубическими кристаллическими решетками и γ-Mo₂N/β-Cr₂N с неизоструктурными кубической и гексагональной решетками.
format	Article
author	Береснев, В.М. Клименко, С.А. Соболь, О.В. Гранкин, С.С. Столбовой, В.А. Турбин, П.В. Новиков, В.Ю. Мейлехов, А.А. Литовченко, С.В. Маликов, Л.В.
author_facet	Береснев, В.М. Клименко, С.А. Соболь, О.В. Гранкин, С.С. Столбовой, В.А. Турбин, П.В. Новиков, В.Ю. Мейлехов, А.А. Литовченко, С.В. Маликов, Л.В.
author_sort	Береснев, В.М.
title	Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN
title_short	Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN
title_full	Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN
title_fullStr	Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN
title_full_unstemmed	Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN
title_sort	влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий mo₂n/crn
publisher	Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
publishDate	2016
topic_facet	Получение, структура, свойства
url	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/143833
citation_txt	Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN / В.М. Береснев, С.А. Клименко, О.В. Соболь, С.С. Гранкин, В.А. Столбовой, П.В. Турбин, В.Ю. Новиков, А.А. Мейлехов, С.В. Литовченко, Л.В. Маликов // Сверхтвердые материалы. — 2016. — № 2. — С. 55-64. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.
series	Сверхтвердые материалы
work_keys_str_mv	AT beresnevvm vliânierežimovosaždeniânafazovostrukturnoesostoânietverdostʹitribologičeskieharakteristikivakuumnodugovyhmnogoslojnyhpokrytijmo2ncrn AT klimenkosa vliânierežimovosaždeniânafazovostrukturnoesostoânietverdostʹitribologičeskieharakteristikivakuumnodugovyhmnogoslojnyhpokrytijmo2ncrn AT sobolʹov vliânierežimovosaždeniânafazovostrukturnoesostoânietverdostʹitribologičeskieharakteristikivakuumnodugovyhmnogoslojnyhpokrytijmo2ncrn AT grankinss vliânierežimovosaždeniânafazovostrukturnoesostoânietverdostʹitribologičeskieharakteristikivakuumnodugovyhmnogoslojnyhpokrytijmo2ncrn AT stolbovojva vliânierežimovosaždeniânafazovostrukturnoesostoânietverdostʹitribologičeskieharakteristikivakuumnodugovyhmnogoslojnyhpokrytijmo2ncrn AT turbinpv vliânierežimovosaždeniânafazovostrukturnoesostoânietverdostʹitribologičeskieharakteristikivakuumnodugovyhmnogoslojnyhpokrytijmo2ncrn AT novikovvû vliânierežimovosaždeniânafazovostrukturnoesostoânietverdostʹitribologičeskieharakteristikivakuumnodugovyhmnogoslojnyhpokrytijmo2ncrn AT mejlehovaa vliânierežimovosaždeniânafazovostrukturnoesostoânietverdostʹitribologičeskieharakteristikivakuumnodugovyhmnogoslojnyhpokrytijmo2ncrn AT litovčenkosv vliânierežimovosaždeniânafazovostrukturnoesostoânietverdostʹitribologičeskieharakteristikivakuumnodugovyhmnogoslojnyhpokrytijmo2ncrn AT malikovlv vliânierežimovosaždeniânafazovostrukturnoesostoânietverdostʹitribologičeskieharakteristikivakuumnodugovyhmnogoslojnyhpokrytijmo2ncrn
first_indexed	2025-11-26T05:05:43Z
last_indexed	2025-11-26T05:05:43Z
_version_	1849828100996595712
fulltext	ISSN 0203-3119. Сверхтвердые материалы, 2016, № 2 55 УДК 621.793: 539.61: 669.018: 620.1 В. М. Береснев1,, С. А. Клименко2, О. В. Соболь3, С. С. Гранкин1, В. А. Столбовой4, П. В. Турбин1, 5, В. Ю. Новиков6, А. А. Мейлехов3, С. В. Литовченко1, Л. В. Маликов1, 5 1Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина, г. Харьков, Украина 2Институт сверхтвердых материалов им. В. Н. Бакуля НАН Украины, г. Киев, Украина 3Национальный технический университет “Харьковский политехнический институт”, г. Харьков, Украина 4Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”, г. Харьков, Украина 5Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины, г. Харьков, Украина 6Белгородский государственный университет, г. Белгород, РФ beresnev-scpt@yandex.ru Влияние режимов осаждения на структурно- фазовое состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно- дуговых многослойных покрытий Mo2N/CrN Для вакуумно-дуговых многослойных Mo2N/CrN-систем с нано- метровой толщиной слоев проведено комплексное исследование влияния техно- логических параметров, ответственных за энергетическое состояние осаждае- мых частиц, на элементный и структурно-фазовый составы, твердость и три- бологические характеристики формируемых покрытий. Установлено образова- ние двух структурно-фазовых типов в совмещенных нитридных слоях: γ-Mo2N/CrN с изоструктурными кубическими кристаллическими решетками и γ-Mo2N/β-Cr2N с неизоструктурными кубической и гексагональной решетками. Ключевые слова: вакуумно-дуговой метод осаждения, много- слойные покрытия, трибологические характеристики. ВВЕДЕНИЕ Нитриды переходных металлов отличает высокие температу- ра плавления (2300–3400 °C), твердость и электропроводность. Основной недостаток – высокая хрупкость, значением которой можно управлять за счет формирования у материала наноструктурного состояния [1–5]. Одним из наиболее перспективных направлений повышения рабочих ха- рактеристик нитридных покрытий является создание многослойных структур с нанометровой толщиной слоев. При этом чередованием двух или более слоев материала с различными физико-механическими характеристиками можно в значительной степени изменять свойства системы, включая напря- женно-деформированное состояние и условия распространения трещин, в результате чего повышается вязкость разрушения такого композита. © В. М. БЕРЕСНЕВ, С. А. КЛИМЕНКО, О. В. СОБОЛЬ, С. С. ГРАНКИН, В. А. СТОЛБОВОЙ, П. В. ТУРБИН, В. Ю. НОВИКОВ, А. А. МЕЙЛЕХОВ, С. В. ЛИТОВЧЕНКО, Л. В. МАЛИКОВ, 2016 www.ism.kiev.ua/stm 56 В монослойных покрытиях структурное состояние и свойства слоев Mo2N и CrN могут изменяться в широких пределах в зависимости от подаваемого потенциала на подложку и давления азотной среды при осаждении [6–9]. В этой связи можно ожидать значительной чувствительности к физико- техническим параметрам осаждения структурных состояний и свойств по- крытий, полученных на основе Mo2N и CrN как слоев многослойной системы. При этом наибольшие эффекты можно ожидать при нанометровом размере слоев, что обусловлено наиболее высокими механическими свойствами нит- ридов в этом размерном диапазоне [10–12]. ОБРАЗЦЫ И МЕТОДИ ИССЛЕДОВАНИЯ Образцы с покрытиями были получены вакуумно-дуговым методом на модернизированной установке Булат-6 [13]. Давление рабочей (азотной) сре- ды при осаждении составляло pN = 7·10–4 Торр и pN = 3·10–3 Торр, скорость осаждения – ~ 3 нм/с. Покрытие осаждали с использованием двух мишеней (Mo и Cr) при не- прерывном вращении закрепленных на подложках образцов со скоростью 8 об/мин, что позволяло, при осаждении в течение 1 ч, получать покрытие толщиной около 9 мкм при толщине отдельных слоев ∼ 10 нм с их общим числом 960 (480 бислойных периодов). В процессе осаждения на подложки подавался постоянный отрицательный потенциал смещения Uс = 20, 70, 150 и 300 В. Структурно-фазовый анализ проводили методом рентгеновской дифрак- тометрии в излучении CuKα. Разделение профилей на составляющие выпол- няли с использованием пакета программ NewProfile. Твердость измеряли методом микроиндентирования на приборе 402MVD фирмы “Instron Wolpert Wilson Instruments” с использованием алмазной пи- рамиды Виккерса при нагрузках 25, 50 и 100 г. Определение адгезионной и когезионной прочности, стойкости к царапа- нию и выяснение механизма разрушения покрытий проводили с применени- ем скретч-тестера Revetest (“CSM Instruments”). На поверхность покрытия алмазным сферическим индентором типа Роквелл C с радиусом закругления 200 мкм наносили царапины при непрерывно нарастающей нагрузке от 0 до 200 Н при разрешении не менее 3 мН. Одновременно регистрировали мощ- ность сигнала акустической эмиссии (АЭ), коэффициент трения, глубину проникновения индентора, а также нормальную нагрузку на инденторе. Для получения достоверных результатов на поверхность каждого образца с по- крытием наносили по три царапины. Испытания производили при следую- щих условиях: нагрузка на индентор изменялась от 0,9 до 70 Н, скорость перемещения индентора составляла 1 мм/мин, длина царапины – 10 мм, ско- рость приложения нагрузки – 6,91 Н/мин, частота дискретности сигнала – 60 Гц, мощность сигнала АЭ – 9 дБ. В результате испытаний были определе- ны минимальные (критические) нагрузки: Lк1, соответствующая началу про- никновения индентора в покрытие, Lк2 – появлению скоплений трещин, Lк3 – сколу покрытия или его пластическому истиранию до подложки. Трибологические испытания проводили на воздухе по схеме шарик-диск на машине трения Tribometer, “CSM Instruments”. Образцами служили диски из стали 45 (55 НRC), на полированную поверхность которых наносили по- крытия с шероховатостью поверхности Ra = 0,08 мкм. В качестве контртел использовали шарики диаметром 6,0 мм, изготовленные из спеченного сер- тифицированного оксида алюминия Al2O3. ISSN 0203-3119. Сверхтвердые материалы, 2016, № 2 57 В соответствии с международными стандартами ASTM G99-959, DIN50324 и ISO 20808 нагрузка при испытаниях составляла 3,0 Н, скорость скольжения – 10 см/с. Морфологию бороздок износа на покрытии и пятен износа на шариках изучали с использованием оптического инвертированного микроскопа Olympus GX 51 и растрового электронного микроскопа FEI Nova NanoSEM 450. Количественную оценку износостойкости образцов и контртел проводи- ли по фактору износа W, методика расчета которого приведена в [14]. РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБСУЖДЕНИЕ Анализ покрытий, проведенный энергодисперсионным методом, показал, что потенциал смещения определяющим образом влияет на изменение содержания азота (N) в покрытиях, полученных при меньшем (pN = 7·10–4 Торр) давлении (рис. 1, кривая 1). Причиной этого, по-видимому, является вторичное селектив- ное распыление с формируемой поверхности покрытия легких атомов N. В оп- ределяющей мере, в этом случае, сказывается сравнительно большая энергия пленкообразующих тяжелых металлических атомов Mo и Cr (потери энергии на столкновение при низком давлении в процессе осаждения минимизированы). 10 5 15 20 N, % (ат.) 2 1 50 100 150 200 250 U c , B0 Рис. 1. Изменение содержания азота в покрытии в зависимости от отрицательного потен- циала смещения Uс при давлении pN = 7·10–4 (1) и 3·10–3 (2) Торр. При более высоком давлении (pN = 3·10–3 Торр) с увеличением модуля по- тенциала смещения Uс до 150 В наблюдается небольшой рост содержания азота в покрытиях, что определяет повышение эффективности нитридообра- зования [4] и только при Uс = 300 В происходит снижение содержания N, связанное с селективным вторичным распылением. Структурно-фазовый анализ состояния покрытий, исходя из данных рент- гендифракционных спектров (рис. 2), показывает, что с увеличением потен- циала смещения при большем (pN = 3·10–3 Торр) давлении в тонких наномет- ровых слоях нитридов наблюдается согласованный переход от преимущест- венной ориентации с осью [111] к преимущественной ориентации с осью [100], что проявляется в относительном изменении интенсивности рефлексов (111) и (200) соответственно. При этом наблюдается согласование структуры наноразмерных нитрид- ных слоев (111)γ-Mo2N/(111)CrN и (200)γ-Mo2N/(200)CrN с кубическими (структурный тип NaCl, карточки JCPDS 11-0065 и JCPDS 25-1366 соответст- венно) кристаллическими решетками. Однако при наибольшем (Uс = 300 В) по модулю потенциале смещения в слоях нитрида хрома CrN, из-за уменьше- ния содержания азота, появляется фаза β-Cr2N с гексагональной кристалличе- www.ism.kiev.ua/stm 58 ской решеткой (карточка JCPDS 35-0803). Еще более выражено появление низшей по азоту фазы β-Cr2N имеет место при меньшем (pN = 7·10–4 Торр) давлении азота (см. рис. 2, спектр 3). В этом случае в слоях нитрида хрома CrN формируется текстура с осью [001]. 4000 1000 2000 5000 3000 30 40 50 60 2θ, град 0 И н те н си вн ос ть , у сл . е д. 5 4 3 2 1 (1 11 )C rN /( 11 1) γ� M o 2N (200)СrN/(200)γ�Mo 2 N (0 02 )β �M o 2N (1 11 )β �M o 2N Рис. 2. Участки дифракционных спектров покрытий, полученных при pN = 3·10–3 (1, 2, 4, 5) и 7·10–4 (3) Торр; отрицательный потенциал смещения Uс = 20 (1), 70 (2, 3), 150 (4), 300 (5) В. Широкий спектр структурных состояний покрытий определяет значитель- ные изменения в их механических характеристиках. Так, из представленной на рис. 3 зависимости твердости Н от потенциала смещения Uс видно, что наибольшее значение твердости достигается при наименьшем по модулю потенциале смещения Uс и большом давлении азота pN, обеспечивающих наибольшее содержание N. Снижение твердости при меньшем давлении можно связать с образованием вакансий в подрешетке азота из-за его значи- тельно меньшего содержания в покрытии по сравнению со стехиометриче- ским составом нитридов хрома CrN и молибдена Mo2N. 25 20 30 35 H, ГПа 2 1 50 100 150 200 250 U c , B0 15 10 Рис. 3. Зависимость твердости покрытий от приложенного отрицательного потенциала смещения Uс при pN = 7·10–4 (1), 3·10–3 (2) Торр. Причиной снижения твердости с увеличением модуля потенциала смеще- ния Uс является интенсификация перемешивания в приграничной области, которое в сравнительно тонких (около 10 нм) слоях покрытия приводит к увеличению доли перемешанной области с твердорастворным состоянием и уменьшенной, вследствие этого, твердостью. ISSN 0203-3119. Сверхтвердые материалы, 2016, № 2 59 Значения коэффициента трения μ, интенсивности изнашивания ν и пара- метра шероховатости поверхности Ra по результатам трибологических испы- таний для покрытий Mo2N/CrN, полученных при разных рабочих давлениях азота, приведены в табл. 1. Таблица 1. Трибологические характеристики покрытий Mo2N/CrN, полученных при отрицательном потенциале смещения Uс = 70 В и разных давлениях азота Коэффициент трения μ Интенсивность изнашива- ния ν, мм3⋅Н–1⋅м–1 Давление начальный при испытаниях контртело (Al2O3) покрытие Ra, мкм 7·10–4 Торр 0,381 0,586 0,25⋅10–7 13,45⋅10–7 0,47 3·10–3 Торр 0,535 0,579 0,86⋅10–7 6,36⋅10–7 0,28 Результаты исследования фрикционных характеристик при сухом трении покрытий с контртелом из Al2O3 (см. табл. 1) показывают значительное раз- личие интенсивностей изнашивания для покрытий, сформированных при различных давлениях азота. Для покрытий, полученных при высоком (pN = 3·10–3 Торр) давлении, характерны однофазные слои с одним типом кубиче- ской кристаллической решетки (см. рис. 3). Покрытия, осажденные при низ- ком (pN = 7·10–4 Торр) давлении, образуются слоями нитрида хрома CrN с низшей по азоту фазой с гексагональной кристаллической решеткой (см. рис. 3). При этом в слоях формируются разные типы кристаллических реше- ток с большим несоответствием по межфазным границам соприкосновения. Таким образом, из результатов табл. 1 следует, что при низком давлении, когда в слоях Mo2N и CrN происходит формирование разных по типу кри- сталлических решеток фаз, покрытие имеет повышенную хрупкость и изна- шивается интенсивнее по сравнению с контртелом. С увеличением давления и появлением сопряжения кубических решеток в слоях покрытия (при высо- ком давлении pN = 3·10–3 Торр), его износостойкость повышается. На рис. 4 и 5 приведены изображения исходных поверхностей покрытия, контактных участков контртела, дорожек износа на покрытии и их попереч- ных профилей. Как видно из приведенных изображений, а также данных табл. 1, при испы- тании покрытий Mo2N/CrN, полученных при давлении pN = 3·10–3 Торр, имеет место адгезионное изнашивание, обусловленное переносом материала с одной контактной поверхности на другую, которое проявляется в износе покрытия с профилем дорожки износа симметричной формы, подобной форме контртела (рис. 5, б–г). Согласно данным [15], в этом случае количество перенесенного материала зависит от прочности адгезионной связи, определяющееся электрон- ными структурами контртела из Al2O3 и покрытия Mo2N/CrN, их способностью образовывать твердые растворы или интерметаллидные соединения друг с дру- гом. В случае покрытия Mo2N/CrN, полученного при давлении pN = 7·10–4 Торр, при трибологических испытаниях реализуется механизм абразивного изнашива- ния (см. профиль дорожки трения, рис. 4, г). Это связано как с особенностями процесса формирования покрытий (наличием больших капель внутри и на по- верхности покрытий), так и с межфазным несоответствием двух разных по типу кристаллических решеток в нитридных слоях. www.ism.kiev.ua/stm 60 100 мкм а 100 мкм б 300 мкм 220.23 мкм в 1,0 0,5 1,5 0,50,4 0,6 h, мм 0,0 −0,5 −1,0 Ra, мкм −1,5 г Рис. 4. Исходная поверхность Mo2N/CrN-покрытия, полученного при pN = 7·10–4 Торр (а), контактный участок контртела (б), дорожка износа на покрытии (в) и поперечный профиль изношенной поверхности (г). Процесс разрушения покрытий в процессе скретч-теста при царапании алмазным индентором можно разделить на несколько стадий. В начале про- цесса происходит монотонное проникновение индентора в покрытие, при этом покрытие оказывает существенное сопротивление проникновению ин- дентора, коэффициент трения µ немонотонно увеличивается, характер сигна- ла АЭ сохраняется неизменным. Затем, при увеличении нагрузки, уровень амплитуды АЭ изменяться менее интенсивно, чем коэффициент трения. На рис. 6, а представлены усредненные значения коэффициента трения и амплитуды АЭ для Mo2N/CrN-покрытия, полученного при pN = 7·10–4 Торр и отрицательном потенциале смещения Uс = 70 В. Видно, что на среднем уча- стке дорожки износа, при значении коэффициента трения близкому к 0,42, АЭ, связанная с дефектностью структуры и, в частности, с хрупким разруше- нием материала, сохраняет скачкообразный вид. Сопоставление с параметра- ми дорожек износа в области нагрузок, отвечающих критическим точкам Lк1 и Lк2 (см. рис. 6, б, в), показывает, что скачкообразный вид зависимости обу- словливается хрупким разрушением покрытия и его сколом. В отличие от покрытий, полученных при низком давлении рабочей атмосферы, для покрытий, полученных при pN = 3·10–3 Торр, в процессе их формирования во всем диапазоне значений потенциала смещения Uс наблю- дается плавный ход кривой амплитуды АЭ (рис. 7). Значение критической нагрузки разрушения покрытия под индентором, при высоком давлении формирования покрытия, достигает 135 Н (см. рис. 7). ISSN 0203-3119. Сверхтвердые материалы, 2016, № 2 61 100 мкм а 100 мкм б 300 мкм 211.25 мкм в 1,0 0,25 0,35 0,30 h, мм 0,0 −1,0 Ra, мкм −2,0 г Рис. 5. Исходная поверхность Mo2N/CrN-покрытия, полученного при pN = 3·10–3 Торр (а), контактный участок контртела (б), дорожка износа на покрытии (в) и поперечный профиль изношенной поверхности (г). Для покрытий с большей изначальной дефектностью, полученных при давлении pN = 7·10–4 Торр, растрескивание покрытия активно происходит даже при небольших нагрузках, что подтверждается характером сигналов АЭ (см. рис. 6, а) и микрофотоснимками, показывающими постепенно растущее поперечное растрескивание покрытия. При этом критическая нагрузка почти в 2,5 раза меньше и составляет 59 Н. Обобщенные значения критических нагрузок для точек Lк1, Lк2 и Lк3 для покрытий, полученных при разных отрицательных потенциалах смещения и давлениях, приведены в табл. 2. Видно, что с увеличением модуля потенциала смещения Uс, при котором в результате “atomic peening”-эффекта происходит уплотнение материала [2], наблюдается повышение критических нагрузок Lк. При этом сравнительный анализ полученных при высоком давлении конденсатов свидетельствует, что покрытия при царапании истираются, но не отслаиваются, т. е. разрушаются по когезионному механизму, связанному с пластической деформацией и об- разованием усталостных трещин в материале [16]. При низком давлении pN = 7·10–4 Торр, из-за меньшего содержания в покры- тии атомов азота в слоях нитрида хрома происходит формирование низшего нитрида β-Cr2N с гексагональной кристаллической решеткой. Это уменьшает когезионное взаимодействие между слоями в многослойном покрытии. Соответ- ственно критические напряжения, выдерживаемые таким покрытием, уменьша- ются, а разрушение носит характер хрупкого растрескивания. www.ism.kiev.ua/stm 62 2 0,48 0,42 0,30 0,24 0,18 0,12 0,06 0 90 80 70 60 50 40 20 10 0 30 l, мм10,8 171,09 9,6 152,18 8,4 133,27 7,2 114,36 6,0 95,45 4,8 76,54 3,6 57,63 2,4 38,72 1,2 19,81 0,0 0,90 Нагрузка, Н 1 0,54 0,36 АЭ, % μ а 25 мкм б 25 мкм в Рис. 6. Изменение амплитуды АЭ (спектр 1) и усредненных значений коэффициента тре- ния (спектр 2) в зависимости от нагрузки по длине дорожки износа l (а), изображение дорожки износа в области нагрузок, отвечающих критическим точкам Lк1 (б) и Lк2 (в), для покрытия Mo2N/CrN, полученного при давлении pN = 7·10–4 Торр и отрицательном потен- циале смещения Uс = 70 В. Таблица 2. Критические нагрузки Lк для покрытий при разных условиях осаждения Условия получения Критические нагрузки, Н Uс, В pN, Торр Lк1 Lк2 Lк3 20 3·10–3 11 40 71 70 3·10–3 12 50 145 70 7·10–4 10 33 59 150 3·10–3 8 53 159 150 7·10–4 9 31 56 300 3·10–3 13 46 137 ВЫВОДЫ С уменьшением рабочего давления азотной атмосферы от 3·10–3 до 7·10–4 Торр происходит обеднение покрытия Mo2N/CrN по азотной состав- ляющей. На сруктурно-фазовом уровне это приводит к переходу от двух по- добных кубических структур с широкой областью гомогенности в слоях нит- ридов молибдена и хрома к образованию низшей по азоту β-Cr2N-фазы с гек- сагональной кристаллической решеткой. ISSN 0203-3119. Сверхтвердые материалы, 2016, № 2 63 1,2 10 20 30 40 50 60 70 80 90 l, мм10,89,68,47,26,04,83,62,4 0 μ 0,48 0,42 0,30 0,24 0,18 0,12 0,06 0 AЭ, % 0 171,09152,18133,27114,3695,4576,5457,6338,72 19,81 0,90 Нагрузка, Н 0,54 0,36 2 1 а 25 мкм б 25 мкм в Рис. 7. Изменение амплитуды АЭ (спектр 1) и усредненных значений коэффициента тре- ния (спектр 2) в зависимости от нагрузки по длине дорожки износа l (а), изображение дорожки износа в области нагрузок, отвечающих критическим точкам Lк1 (б) и Lк2 (в), для покрытия Mo2N/CrN, полученного при давлении pN = 3·10–3 Торр и отрицательном потен- циале смещения Uс = 70 В. Твердость покрытий достигает 38 ГПа и снижается с уменьшением давле- ния при осаждении и подаче отрицательного потенциала смещения, стимули- рующего селективное вторичное распыление и обеднение покрытия по лег- ким атомам азота. Для покрытий, полученных при давлении 3·10–3 Торр, которые характери- зуются формированием нитридных изоструктурных (с кубической решеткой) слоев, изнашивание проходит по адгезионному типу со сравнимыми значения- ми износа покрытия и контртела. Для покрытий с неизоструктурными (гекса- гональной и кубической) типами кристаллических решеток в нитридных слоях, полученных при pN = 7·10–4 Торр, взаимодействие имеет признаки абразивного изнашивания и хрупкого разрушения, а износ покрытия существенно превы- шает износ контртела. Исследование адгезионных и прочностных характеристик методом скретч-теста показало, что при уменьшении давления pN изменяется характер разрушения покрытия от пластического истирания до хрупкого разрушения. Изменение модуля потенциала смещения Uс в интервале \|20–300\| В принци- пиально не влияет на тип разрушения покрытия. Наибольшей критической нагрузкой разрушения (145–159 Н) характери- зуются покрытия, осажденные при pN = 3·10–3 Торр и отрицательном потен- циале смещения Uс = 70–150 В. Для вакуумно-дугових багатошарових Mo2N/CrM-систем з нанометро- вою товщиною шарів проведено комплексне дослідження впливу технологічних парамет- www.ism.kiev.ua/stm 64 рів, відповідальних за енергетичний стан частинок, що осаджували, на елементний і структурно-фазовий склади, твердість і трибологічні характеристики формованих покриттів. Встановлено утворення двох структурно-фазових типів в суміщених нітрид- них шарах: γ-Mo2N/CrN з ізоструктурними кубічними кристалічними ґратками і γ- Mo2N/β-Cr2N з неізоструктурними кубічною і гексагональною ґратками. Ключові слова: вакуумно-дугового метод осадження, багатошарові покриття, трибологичні характеристики. A complex study has been performed of the effect of the technological pa- rameters, which are responsible for the energy states of deposited particles, on the elemental, phase and structure compositions, hardness, and tribological characteristics of formed vacuum– arc multilayer Mo2N/CrN systems with a nanometric thickness. The formation of two phase and structure types has been defined in combined nitride layers: γ-Mo2N/CrN with the isostructural cubic crystalline lattices and γ-Mo2N/CrN with non-isostructural cubic and hexagonal lattices. Keywords: vacuum–arc deposition, multilayer coatings, tribological char- acteristics. 1. Погребняк А. Д., Шпак А. П., Азаренков Н. А., Береснев В. М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий // УФН. – 2009. – 179, № 1. – С. 35–64. 2. Sobol’ O. V. Control of the structure and stress state of thin films and coatings in the process of their preparation by ion-plasma methods // Phys. Solid State. – 2011. – 53, N 7. – P. 1464–1473. 3. Lukaszkowicz K., Dobrzański L. A., Zarychta A., Cunha L. Mechanical properties of multilayer coatings deposited by PVD techniques onto the brass substrate // J. Achiev. Mater. Manuf. Eng. – 2006. – 15, N 1–2. – P. 47–52. 4. Sobol’ O. V., Andreev A. A., Grigoriev S. N. et al. Effect of high-voltage pulses on the structure and properties of titanium nitride vacuum-arc coatings // Metal Sci. Heat Treat. – 2012. – 54, N 3–4. – P. 195–203. 5. Samani M. K., Ding X. Z., Khosravian N. et al. Thermal conductivity of titanium ni- tride/titanium aluminum nitride multilayer coatings deposited by lateral rotating cathode arc // Thin Solid Films. – 2015. – 578. – P. 133–138. 6. Sobol’ O. V., Andreev A. A., Stolbovoi V. A., Fil’chikov V. E. Structural-phase and stressed state of vacuum-arc-deposited nanostructural Mo–N coatings controlled by substrate bias dur- ing deposition // Tech. Phys. Lett. – 2012. – 38, N 2. – P. 168–171. 7. Lackner J. M., Waldhauser W., Majo L., Kot M. Tribology and micromechanics of chromium nitride based multilayer coatings on soft and hard substrates // Coatings. – 2014. – 4. – P. 121–138. 8. Гугля А. Г., Неклюдов И. М. Покрытия на базе нитрида хрома. Опыт создания и исследо- вания // Успехи физики металлов. – 2005. – 6. – С. 197–232. 9. Gilewicz, A., Warcholinski B. Tribological properties of CrCN/CrN multilayer coatings // Tribol. Int. – 2014. – 80. – P. 34–40. 10. Ertas M., Onel A.C., Ekinci G. et al. Arslan investigation of VN/TiN multilayer coatings on AZ91D Mg alloys // Int. J. Chem., Nuclear, Mater. Metall. Eng. – 2015. – 9, N 1. – P. 53–57. 11. Xie Z. H., Hoffman M., Munroe P. et al. Microstructural response of TiN monolithic and multilayer coatings during microscratch testing // J. Mater. Res. – 2007. – 22, N 8. – P. 2312– 2318. 12. Погребняк А. Д., Пшик А. В., Береснев В. М., Жоллыбеков Б. Р. Защита образцов от трения и износа с помощью многокомпонентных нанокомпозитных покрытий на осно- ве титана // Трение и износ. – 2014. – 35, № 1. – С. 72–85. 13. Андреев А. А., Саблев Л. П., Григорьев С. Н. Вакуумно-дуговые покрытия. – Харьков: ННЦ ХФТИ, 2010. – 318 с. 14. Ибатуллин И. Д. Кинетика усталостной повреждаемости и разрушения поверхностных слоев: монография. – Самара: Самарский государственный технический ун-т, 2008. – 396 с. 15. Мышкин Н. К., Петроковец М. И. Трение, смазка, износ. Физические основы и техни- ческие приложения трибологии. – М.: Физматлит, 2007. – 368 с. 16. Grigoriev S. N., Sobol O. V., Beresnev V. M. et al. Tribological characteristics of (TiZrHfVNbTa)N coatings applied using the vacuum arc deposition method // J. Friction Wear. – 2014. – 35, N 5. – P. 359–364. Поступила 02.09.15 << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Warning /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Off /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.1000 /ColorConversionStrategy /LeaveColorUnchanged /DoThumbnails true /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams true /MaxSubsetPct 100 /Optimize false /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments false /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Remove /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages false /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth 8 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /FlateEncode /AutoFilterColorImages false /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages false /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth 8 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /FlateEncode /AutoFilterGrayImages false /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages false /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile (None) /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description << /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000500044004600206587686353ef901a8fc7684c976262535370673a548c002000700072006f006f00660065007200208fdb884c9ad88d2891cf62535370300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef653ef5728684c9762537088686a5f548c002000700072006f006f00660065007200204e0a73725f979ad854c18cea7684521753706548679c300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /DAN <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> /DEU <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> /ESP <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> /FRA <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> /ITA <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> /JPN <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> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b370c2a4d06cd0d10020d504b9b0d1300020bc0f0020ad50c815ae30c5d0c11c0020ace0d488c9c8b85c0020c778c1c4d560002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken voor kwaliteitsafdrukken op desktopprinters en proofers. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <FEFF004200720075006b00200064006900730073006500200069006e006e007300740069006c006c0069006e00670065006e0065002000740069006c002000e50020006f0070007000720065007400740065002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065007200200066006f00720020007500740073006b00720069006600740020006100760020006800f800790020006b00760061006c00690074006500740020007000e500200062006f007200640073006b0072006900760065007200200065006c006c00650072002000700072006f006f006600650072002e0020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065006e00650020006b0061006e002000e50070006e00650073002000690020004100630072006f00620061007400200065006c006c00650072002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200065006c006c00650072002000730065006e006500720065002e> /PTB <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> /SUO <FEFF004b00e40079007400e40020006e00e40069007400e4002000610073006500740075006b007300690061002c0020006b0075006e0020006c0075006f0074002000410064006f0062006500200050004400460020002d0064006f006b0075006d0065006e007400740065006a00610020006c0061006100640075006b006100730074006100200074007900f6007000f60079007400e400740075006c006f0073007400750073007400610020006a00610020007600650064006f007300740075007300740061002000760061007200740065006e002e00200020004c0075006f0064007500740020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740069007400200076006f0069006400610061006e0020006100760061007400610020004100630072006f0062006100740069006c006c00610020006a0061002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030003a006c006c00610020006a006100200075007500640065006d006d0069006c006c0061002e> /SVE <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> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents for quality printing on desktop printers and proofers. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) /RUS () >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /NoConversion /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /NA /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure true /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles true /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /NA /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /LeaveUntagged /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice

Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN

Репозитарії

Схожі ресурси