Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN

• Datum: 2016
• Hauptverfasser: Береснев, В.М., Клименко, С.А., Соболь, О.В., Гранкин, С.С., Столбовой, В.А., Турбин, П.В., Новиков, В.Ю., Мейлехов, А.А., Литовченко, С.В., Маликов, Л.В.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2016
• Schriftenreihe: Сверхтвердые материалы
• Schlagworte: Получение, структура, свойства
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/143833
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN / В.М. Береснев, С.А. Клименко, О.В. Соболь, С.С. Гранкин, В.А. Столбовой, П.В. Турбин, В.Ю. Новиков, А.А. Мейлехов, С.В. Литовченко, Л.В. Маликов // Сверхтвердые материалы. — 2016. — № 2. — С. 55-64. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Для вакуумно-дуговых многослойных Mo₂N/CrN-систем с нанометровой толщиной слоев проведено комплексное исследование влияния технологических параметров, ответственных за энергетическое состояние осаждаемых частиц, на элементный и структурно-фазовый составы, твердость и трибологические характеристики ф...