Influence of N₂ partial pressure on the microstructure, hardness, and thermal stability of CrZrSiN nanocomposite coatings
The effects of N₂ partial pressure in the unbalanced magnetron sputtering process on the microstructure, hardness, and thermal stability of the CrZrSiN nanocomposite coating were investigated. A Досліджено вплив парціального тиску N₂ в процесі незбалансованого магнетронного розпилення на мікрострукт...
Saved in:
| Published in: | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Date: | 2016 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/143854 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Influence of N₂ partial pressure on the microstructure, hardness, and thermal stability of CrZrSiN nanocomposite coatings / K.S. Kim, H.K. Kim, J.H. La, K.B. Kim, S.Y. Lee // Сверхтвердые материалы. — 2016. — № 4. — С. 47-56. — Бібліогр.: 24 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Summary: | The effects of N₂ partial pressure in the unbalanced magnetron sputtering process on the microstructure, hardness, and thermal stability of the CrZrSiN nanocomposite coating were investigated. A
Досліджено вплив парціального тиску N₂ в процесі незбалансованого магнетронного розпилення на мікроструктуру, твердість і термостабільність нанокомпозитного покриття CrZrSiN.
Исследовано влияние парциального давления N₂ в процессе несбалансированного магнетронного распыления на микроструктуру, твердость и термостабильность нанокомпозитного покрытия CrZrSiN.
This research was supported by a grant from the Advanced Technology Center (ATC) Program funded by the Ministry of Trade, Industry& Energy of Korea.
|
|---|---|
| ISSN: | 0203-3119 |