Buchumschlag

Тверді плазмохімічні a-SiCN-покриття

Аморфні SiCN-покриття було осаджено на кремнієві підкладки методом плазмохімічного осадження (PECVD) з використанням гексаметилдісилазану в якості основного прекурсора. Досліджено вплив температури осадження на структуру, хімічний склад і механічні властивості покриттів. Встановлено, що при температ...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Сверхтвердые материалы
Datum:	2016
Hauptverfasser:	Порада, О.К., Козак, А.О., Іващенко, В.І., Дуб, С.М., Толмачева, Г.М.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2016
Schlagworte:	Получение, структура, свойства
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/143855
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Тверді плазмохімічні a-SiCN-покриття / О.К. Порада, А.О. Козак, В.І. Іващенко, С.М. Дуб, Г.М. Толмачева // Сверхтвердые материалы. — 2016. — № 4. — С. 57-66. — Бібліогр.: 32 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Електричні та фотоелектричні властивості гетеропереходів a-SiCN/c-Si
von: Сукач, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Hard plasmachemical a-SiCN coatings
von: O. K. Porada, et al.
Veröffentlicht: (2016)

Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
von: Порада, А.К., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням
von: Козак, А.О., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Порівняльні дослідження плазмохемічних плівок SіCN, одержаних із різних прекурсорів
von: Іващенко, Л.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Electrical and photoelectrical properties of a-SICN/c-SI heterojunctions
von: A. V. Sukach, et al.
Veröffentlicht: (2013)

Фазовий склад твердосплавного електроіскрового покриття на підкладці з вуглецевої сталі
von: Данільченко, В.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2008)

ТВЕРДІ ПОБУТОВІ ВІДХОДИ ЯК ЕНЕРГЕТИЧНИЙ РЕСУРС
von: Карп, І.М., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Вплив умов осадження і відпалу на нанотвердість аморфних Si–C–N-плівок
von: Порада, О.К.
Veröffentlicht: (2015)

Исследование фазовых переходов в кремнии методами сканирующей туннельной спектроскопии и наноиндентирования
von: Лысенко, О.Г., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Вплив розміру включень SiC у структурі AlN–SiC на електрофізичні властивості композиту
von: Сербенюк, Т.Б., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Плазмохімічне устаткування для осадження нанокомпозитних наношаруватих плівок
von: Порада, О.К., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Механические свойства монокристаллов диборидов переходных металлов TMB₂ (TМ = Sc, Hf, Zr, Ti). Эксперимент и теория
von: Дуб, С.Н., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Сравнительное наноиндентирование монокристаллов твердых и сверхтвердых оксидов
von: Дуб, С.Н., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Методика множественного индентирования для определения параметров твердости структурно-неоднородных материалов
von: Кущ, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Механические свойства нитевидных кристаллов HfB₂
von: Дуб, С.Н., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Закономірності формування структури керамічних матеріалів на основі AlN–SiC
von: Пріхна, Т.О., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Зарождение пластического течения при нанодеформировании алюмоиттриевого граната Y₃Al₅O₁₂
von: Дуб, С.Н., et al.
Veröffentlicht: (2018)

ТВЕРДІ ПАСТИ З МІКРОПОРОШКАМИ СИНТЕТИЧНОГО АЛМАЗУ З ТЕРМОСТІЙКИМ ПОКРИТТЯМ
von: Полторацький, Володимир, et al.
Veröffentlicht: (2024)

Composites of the cBN–Si₃N₄ system reinforced by SiCw for turning tools
von: Osipov, A.S., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Кінетичні закономірності окиснення СО на оксидних каталізаторах, основою яких є 3d-метали, нанесених на β-SiC та нановолокна SiC
von: Іщенко, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Сравнительные исследования механических свойств монокристаллов стишовита и сапфира методом наноиндентирования
von: Дуб, С.Н., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Тверді сплави на полікарбідній основі, леговані дрібно- та нанодисперсним карбідом вольфраму
von: Бодрова, Л.Г., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Сверхтвердые покрытия систем (Zr–Ti–Si)N и (Ti–Hf–Si)N, полученные методом вакуумно-дугового осаждения из сепарированного потока
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Автоэмиссионные свойства острийных катодов на основе пленок графена на SiC
von: Конакова, Р.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Высокотемпературные лазерные покрытия системы ZrB₂–МоSi₂ на графите
von: Подчерняева, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Nb–Al–N-тонкие пленки: структурный переход от нанокристаллического твердого раствора nc-(Nb,Al)N к нанокомпозиту nc-(Nb, Al)N/a-AlN
von: Иващенко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Вплив добавки Y₂O₃ на структуроутворення та властивості композиційних матеріалів на основі AlN–SiC
von: Сербенюк, Т.Б., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Структурные особенности и физико-механические свойства аморфоподобных покрытий AlN–TiB₂–TiSi₂
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Оценка упруго-пластических свойств материалов по данным наноиндентирования и компьютерного моделирования. 1. Состояние проблемы (литературный обзор)
von: Кущ, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Оценка упруго-пластических свойств материалов по данным наноиндентирования и компьютерного моделирования. 2. Экспериментально-теоретическая методика
von: Кущ, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Comparative investigation of NbN and Nb–Si–N films: experiment and theory
von: Ivashchenko, V.I., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Кристалічна структура подвійного дифосфату натрію та індію і тверді розчини на його основі
von: Слободяник, М.С., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Facile and scalable synthesis of Ti₅Si₃ nanoparticles via solid-state route in an autoclave
von: Mao, W., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Исследование аэроабразивного износа горячепрессованных материалов системы B₄C–TiB₂
von: Ивженко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Критические комментарии к методике Оливера-Фара для измерения твердости и упругого модуля посредством инструментального индентирования и уточнение ее базисных соотношений
von: Галанов Б.А., Б.А., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Структура и закономерности изнашивания покрытий из композиционных металлокерамических материалов системы (SiC–Al₂O₃)–(Ni–Al)
von: Уманский, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
von: Дуб, С.Н., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Исследование механических свойств монокристалла LaB₆ методом наноиндентирования
von: Дуб, С.Н., et al.
Veröffentlicht: (2013)