Cover Image

Тверді плазмохімічні a-SiCN-покриття

Аморфні SiCN-покриття було осаджено на кремнієві підкладки методом плазмохімічного осадження (PECVD) з використанням гексаметилдісилазану в якості основного прекурсора. Досліджено вплив температури осадження на структуру, хімічний склад і механічні властивості покриттів. Встановлено, що при температ...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Сверхтвердые материалы
Date:2016
Main Authors: Порада, О.К., Козак, А.О., Іващенко, В.І., Дуб, С.М., Толмачева, Г.М.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2016
Subjects:
Получение, структура, свойства
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/143855
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Тверді плазмохімічні a-SiCN-покриття / О.К. Порада, А.О. Козак, В.І. Іващенко, С.М. Дуб, Г.М. Толмачева // Сверхтвердые материалы. — 2016. — № 4. — С. 57-66. — Бібліогр.: 32 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items