Зображення обкладинки

Тверді плазмохімічні a-SiCN-покриття

Аморфні SiCN-покриття було осаджено на кремнієві підкладки методом плазмохімічного осадження (PECVD) з використанням гексаметилдісилазану в якості основного прекурсора. Досліджено вплив температури осадження на структуру, хімічний склад і механічні властивості покриттів. Встановлено, що при температ...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Сверхтвердые материалы
Дата:	2016
Автори:	Порада, О.К., Козак, А.О., Іващенко, В.І., Дуб, С.М., Толмачева, Г.М.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2016
Теми:	Получение, структура, свойства
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/143855
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Тверді плазмохімічні a-SiCN-покриття / О.К. Порада, А.О. Козак, В.І. Іващенко, С.М. Дуб, Г.М. Толмачева // Сверхтвердые материалы. — 2016. — № 4. — С. 57-66. — Бібліогр.: 32 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Електричні та фотоелектричні властивості гетеропереходів a-SiCN/c-Si
за авторством: Сукач, А.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Hard plasmachemical a-SiCN coatings
за авторством: O. K. Porada, та інші
Опубліковано: (2016)

Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
за авторством: Порада, А.К., та інші
Опубліковано: (2010)

Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням
за авторством: Козак, А.О., та інші
Опубліковано: (2015)

Порівняльні дослідження плазмохемічних плівок SіCN, одержаних із різних прекурсорів
за авторством: Іващенко, Л.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Electrical and photoelectrical properties of a-SICN/c-SI heterojunctions
за авторством: A. V. Sukach, та інші
Опубліковано: (2013)

Фазовий склад твердосплавного електроіскрового покриття на підкладці з вуглецевої сталі
за авторством: Данільченко, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)

ТВЕРДІ ПОБУТОВІ ВІДХОДИ ЯК ЕНЕРГЕТИЧНИЙ РЕСУРС
за авторством: Карп, І.М., та інші
Опубліковано: (2019)

Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Вплив розміру включень SiC у структурі AlN–SiC на електрофізичні властивості композиту
за авторством: Сербенюк, Т.Б., та інші
Опубліковано: (2016)

Плазмохімічне устаткування для осадження нанокомпозитних наношаруватих плівок
за авторством: Порада, О.К., та інші
Опубліковано: (2019)

Сравнительное наноиндентирование монокристаллов твердых и сверхтвердых оксидов
за авторством: Дуб, С.Н., та інші
Опубліковано: (2014)

Механические свойства нитевидных кристаллов HfB₂
за авторством: Дуб, С.Н., та інші
Опубліковано: (2013)

Методика множественного индентирования для определения параметров твердости структурно-неоднородных материалов
за авторством: Кущ, В.И., та інші
Опубліковано: (2015)

Закономірності формування структури керамічних матеріалів на основі AlN–SiC
за авторством: Пріхна, Т.О., та інші
Опубліковано: (2015)

Кінетичні закономірності окиснення СО на оксидних каталізаторах, основою яких є 3d-метали, нанесених на β-SiC та нановолокна SiC
за авторством: Іщенко, О.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Composites of the cBN–Si₃N₄ system reinforced by SiCw for turning tools
за авторством: Osipov, A.S., та інші
Опубліковано: (2016)

ТВЕРДІ ПАСТИ З МІКРОПОРОШКАМИ СИНТЕТИЧНОГО АЛМАЗУ З ТЕРМОСТІЙКИМ ПОКРИТТЯМ
за авторством: Полторацький, Володимир, та інші
Опубліковано: (2024)

Сравнительные исследования механических свойств монокристаллов стишовита и сапфира методом наноиндентирования
за авторством: Дуб, С.Н., та інші
Опубліковано: (2010)

Тверді сплави на полікарбідній основі, леговані дрібно- та нанодисперсним карбідом вольфраму
за авторством: Бодрова, Л.Г., та інші
Опубліковано: (2011)

Автоэмиссионные свойства острийных катодов на основе пленок графена на SiC
за авторством: Конакова, Р.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Высокотемпературные лазерные покрытия системы ZrB₂–МоSi₂ на графите
за авторством: Подчерняева, И.А., та інші
Опубліковано: (2016)

Nb–Al–N-тонкие пленки: структурный переход от нанокристаллического твердого раствора nc-(Nb,Al)N к нанокомпозиту nc-(Nb, Al)N/a-AlN
за авторством: Иващенко, В.И., та інші
Опубліковано: (2016)

Структурные особенности и физико-механические свойства аморфоподобных покрытий AlN–TiB₂–TiSi₂
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2015)

Оценка упруго-пластических свойств материалов по данным наноиндентирования и компьютерного моделирования. 1. Состояние проблемы (литературный обзор)
за авторством: Кущ, В.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Оценка упруго-пластических свойств материалов по данным наноиндентирования и компьютерного моделирования. 2. Экспериментально-теоретическая методика
за авторством: Кущ, В.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Comparative investigation of NbN and Nb–Si–N films: experiment and theory
за авторством: Ivashchenko, V.I., та інші
Опубліковано: (2014)

Кристалічна структура подвійного дифосфату натрію та індію і тверді розчини на його основі
за авторством: Слободяник, М.С., та інші
Опубліковано: (2006)

Facile and scalable synthesis of Ti₅Si₃ nanoparticles via solid-state route in an autoclave
за авторством: Mao, W., та інші
Опубліковано: (2017)

Критические комментарии к методике Оливера-Фара для измерения твердости и упругого модуля посредством инструментального индентирования и уточнение ее базисных соотношений
за авторством: Галанов Б.А., Б.А., та інші
Опубліковано: (2017)

Структура и закономерности изнашивания покрытий из композиционных металлокерамических материалов системы (SiC–Al₂O₃)–(Ni–Al)
за авторством: Уманский, А.П., та інші
Опубліковано: (2012)

Дослідження керамічного матеріалу, одержаного вільним спіканням з порошкової композиції AlN–Y₂O₃–(SiC–C), за допомогою електронної мікроскопії, раманівської спектроскопії і вимірювання теплопровідності та поглинання мікрохвильового випромінювання
за авторством: Фесенко, І.П., та інші
Опубліковано: (2015)

Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
за авторством: Дуб, С.Н., та інші
Опубліковано: (2009)

Исследование механических свойств монокристалла LaB₆ методом наноиндентирования
за авторством: Дуб, С.Н., та інші
Опубліковано: (2013)

Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из Мо/(Ti + 6 % (по массе) Si)N
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2017)

Superhard pcBN tool materials with Ti₃SiC₂ MAX-phase binder: structure, properties, application
за авторством: Kolabylina, T., та інші
Опубліковано: (2017)

Структура и свойства композита алмаз–WC–6Co, легированной 1,5 % (по массе) CrSi₂
за авторством: Лисовский, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2016)

Nano periodic structure forma-tion in 4H–SiC crystal using femtosecond laser double-pulses
за авторством: Kim, E., та інші
Опубліковано: (2018)

Теплопроводность, физико-механические свойства и их взаимосвязь со структурой свободноспеченных композитов, полученных из нанодисперсной системы Si₃N₄–Al₂O₃–Y₂O₃ (–ZrO₂)
за авторством: Кайдаш, О.Н., та інші
Опубліковано: (2014)

Зарождение пластического течения в карбиде бора при наноиндентировании
за авторством: Дуб, С.Н., та інші
Опубліковано: (2015)