Тверді плазмохімічні a-SiCN-покриття

• Published in: Сверхтвердые материалы
• Date: 2016
• Main Authors: Порада, О.К., Козак, А.О., Іващенко, В.І., Дуб, С.М., Толмачева, Г.М.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2016
• Subjects: Получение, структура, свойства
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/143855
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Тверді плазмохімічні a-SiCN-покриття / О.К. Порада, А.О. Козак, В.І. Іващенко, С.М. Дуб, Г.М. Толмачева // Сверхтвердые материалы. — 2016. — № 4. — С. 57-66. — Бібліогр.: 32 назв. — укр.

Аморфні SiCN-покриття було осаджено на кремнієві підкладки методом плазмохімічного осадження (PECVD) з використанням гексаметилдісилазану в якості основного прекурсора. Досліджено вплив температури осадження на структуру, хімічний склад і механічні властивості покриттів. Встановлено, що при температ...