Features of special joints of grain boundaries in polysilicon films of equiaxial and dendritic structures
Comparative analysis of special grain boundary joints in polysilicon films with equiaxial and dendritic (undoped and phosphorus-doped) structure, prepared by low-pressure chemical vapor deposition, has been carried out using atomic force microscopy and transmission electron microscopy. The formation...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Functional Materials |
|---|---|
| Дата: | 2006 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2006
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/144374 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Features of special joints of grain boundaries in polysilicon films of equiaxial and dendritic structures / N.G. Nakhodkin, N.P. Kulish, P.M. Lytvyn, T.V. Rodionova // Functional Materials. — 2006. — Т. 13, № 2. — С. 305-309. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-144374 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Nakhodkin, N.G. Kulish, N.P. Lytvyn, P.M. Rodionova, T.V. 2018-12-20T20:15:13Z 2018-12-20T20:15:13Z 2006 Features of special joints of grain boundaries in polysilicon films of equiaxial and dendritic structures / N.G. Nakhodkin, N.P. Kulish, P.M. Lytvyn, T.V. Rodionova // Functional Materials. — 2006. — Т. 13, № 2. — С. 305-309. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. 1027-5495 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/144374 Comparative analysis of special grain boundary joints in polysilicon films with equiaxial and dendritic (undoped and phosphorus-doped) structure, prepared by low-pressure chemical vapor deposition, has been carried out using atomic force microscopy and transmission electron microscopy. The formation mechanisms of special grain boundary joints have been analyzed for different film structures. The effect of phosphorus on formation of grain boundary joints has been analyzed. Методами атомной силовой микроскопии и просвечивающей электронной микроскопии проведен сравнительный анализ специальных стыков границ зерен в поликристал-лических пленках кремния с равноосной и дендритной структурой (нелегированных и легированных фосфором), полученных методом химического осаждения из газовой фазы в реакторе пониженного давления. Рассмотрены механизмы формирования специальных стыков в пленках разных структурных модификаций. Проанализирована роль фосфора в формировании стыков границ зерен. Методами атомної силової мікроскопії та просвічуючої електронної мікроскопії проведено порівняльний аналіз спеціальних стиків границь зерен та поверхневих неоднорідностей у полікристалічних плівках кремнію з рівноосьовою та дендритною структурою (нелегованих і легованих фосфором), отриманих методом хімічного осадження з газової фази в реакторі зниженого тиску. Розглянуто механізми формування спеціальних стиків у плівках різних структурних модифікацій. Проаналізовано роль фосфору у формуванні стиків границь зерен. This research was supported in part by Ukrainian Ministry for Education and Science, grant M/240-2004, and by T. Shevchenko Kyiv National University (№ 01BF052-02). en НТК «Інститут монокристалів» НАН України Functional Materials Features of special joints of grain boundaries in polysilicon films of equiaxial and dendritic structures Особливості спеціальних стиків границь зерен в полікремнієвих плівках з рівноосьовою та дендритною структурою Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Features of special joints of grain boundaries in polysilicon films of equiaxial and dendritic structures |
| spellingShingle |
Features of special joints of grain boundaries in polysilicon films of equiaxial and dendritic structures Nakhodkin, N.G. Kulish, N.P. Lytvyn, P.M. Rodionova, T.V. |
| title_short |
Features of special joints of grain boundaries in polysilicon films of equiaxial and dendritic structures |
| title_full |
Features of special joints of grain boundaries in polysilicon films of equiaxial and dendritic structures |
| title_fullStr |
Features of special joints of grain boundaries in polysilicon films of equiaxial and dendritic structures |
| title_full_unstemmed |
Features of special joints of grain boundaries in polysilicon films of equiaxial and dendritic structures |
| title_sort |
features of special joints of grain boundaries in polysilicon films of equiaxial and dendritic structures |
| author |
Nakhodkin, N.G. Kulish, N.P. Lytvyn, P.M. Rodionova, T.V. |
| author_facet |
Nakhodkin, N.G. Kulish, N.P. Lytvyn, P.M. Rodionova, T.V. |
| publishDate |
2006 |
| language |
English |
| container_title |
Functional Materials |
| publisher |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Особливості спеціальних стиків границь зерен в полікремнієвих плівках з рівноосьовою та дендритною структурою |
| description |
Comparative analysis of special grain boundary joints in polysilicon films with equiaxial and dendritic (undoped and phosphorus-doped) structure, prepared by low-pressure chemical vapor deposition, has been carried out using atomic force microscopy and transmission electron microscopy. The formation mechanisms of special grain boundary joints have been analyzed for different film structures. The effect of phosphorus on formation of grain boundary joints has been analyzed.
Методами атомной силовой микроскопии и просвечивающей электронной микроскопии проведен сравнительный анализ специальных стыков границ зерен в поликристал-лических пленках кремния с равноосной и дендритной структурой (нелегированных и легированных фосфором), полученных методом химического осаждения из газовой фазы в реакторе пониженного давления. Рассмотрены механизмы формирования специальных стыков в пленках разных структурных модификаций. Проанализирована роль фосфора в формировании стыков границ зерен.
Методами атомної силової мікроскопії та просвічуючої електронної мікроскопії проведено порівняльний аналіз спеціальних стиків границь зерен та поверхневих неоднорідностей у полікристалічних плівках кремнію з рівноосьовою та дендритною структурою (нелегованих і легованих фосфором), отриманих методом хімічного осадження з газової фази в реакторі зниженого тиску. Розглянуто механізми формування спеціальних стиків у плівках різних структурних модифікацій. Проаналізовано роль фосфору у формуванні стиків границь зерен.
|
| issn |
1027-5495 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/144374 |
| citation_txt |
Features of special joints of grain boundaries in polysilicon films of equiaxial and dendritic structures / N.G. Nakhodkin, N.P. Kulish, P.M. Lytvyn, T.V. Rodionova // Functional Materials. — 2006. — Т. 13, № 2. — С. 305-309. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT nakhodkinng featuresofspecialjointsofgrainboundariesinpolysiliconfilmsofequiaxialanddendriticstructures AT kulishnp featuresofspecialjointsofgrainboundariesinpolysiliconfilmsofequiaxialanddendriticstructures AT lytvynpm featuresofspecialjointsofgrainboundariesinpolysiliconfilmsofequiaxialanddendriticstructures AT rodionovatv featuresofspecialjointsofgrainboundariesinpolysiliconfilmsofequiaxialanddendriticstructures AT nakhodkinng osoblivostíspecíalʹnihstikívgranicʹzerenvpolíkremníêvihplívkahzrívnoosʹovoûtadendritnoûstrukturoû AT kulishnp osoblivostíspecíalʹnihstikívgranicʹzerenvpolíkremníêvihplívkahzrívnoosʹovoûtadendritnoûstrukturoû AT lytvynpm osoblivostíspecíalʹnihstikívgranicʹzerenvpolíkremníêvihplívkahzrívnoosʹovoûtadendritnoûstrukturoû AT rodionovatv osoblivostíspecíalʹnihstikívgranicʹzerenvpolíkremníêvihplívkahzrívnoosʹovoûtadendritnoûstrukturoû |
| first_indexed |
2025-12-07T17:59:12Z |
| last_indexed |
2025-12-07T17:59:12Z |
| _version_ |
1850873324207341568 |