Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала
Досліджено структуру поруватого кремнію методами скануючої електронної мікроскопії (СЕМ) та атомної силової мікроскопії (АСМ) в залежності від режимів електрохімічного процесу розчинення монокристалічного кремнію р-типу. Встановлено, що при анодному розчиненні можливе утворення двохшарової нанопорув...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Поверхность |
|---|---|
| Дата: | 2004 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України
2004
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/146376 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала / Т.І. Горбанюк, В.С. Солнцев // Поверхность. — 2004. — Вип. 10. — С. 65-68. — Бібліогр.: 4 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862743918915878912 |
|---|---|
| author | Горбанюк, Т.І. Солнцев, В.С. |
| author_facet | Горбанюк, Т.І. Солнцев, В.С. |
| citation_txt | Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала / Т.І. Горбанюк, В.С. Солнцев // Поверхность. — 2004. — Вип. 10. — С. 65-68. — Бібліогр.: 4 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Поверхность |
| description | Досліджено структуру поруватого кремнію методами скануючої електронної мікроскопії (СЕМ) та атомної силової мікроскопії (АСМ) в залежності від режимів електрохімічного процесу розчинення монокристалічного кремнію р-типу. Встановлено, що при анодному розчиненні можливе утворення двохшарової нанопоруватої полімерної плівки кремнію, мікропоруватого шару з включеннями аморфного кремнію або полірованої поверхні кремнію.
The structure of porous Si has been studied by scanning electron microscopy (SEM) and atomic force microscopy (AFM) as dependent on the conditions of electrochemical dissolution of single-crystal p–type silicon. The formation has been found of two-layer nanoporous silicon polymer film, of microporous layer with incorporated amorphous silicon particles, or of polished silicon surface.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:32:50Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-146376 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2617-5975 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:32:50Z |
| publishDate | 2004 |
| publisher | Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Горбанюк, Т.І. Солнцев, В.С. 2019-02-09T10:05:48Z 2019-02-09T10:05:48Z 2004 Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала / Т.І. Горбанюк, В.С. Солнцев // Поверхность. — 2004. — Вип. 10. — С. 65-68. — Бібліогр.: 4 назв. — укр. 2617-5975 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/146376 535.36.37+537.2+539.219 Досліджено структуру поруватого кремнію методами скануючої електронної мікроскопії (СЕМ) та атомної силової мікроскопії (АСМ) в залежності від режимів електрохімічного процесу розчинення монокристалічного кремнію р-типу. Встановлено, що при анодному розчиненні можливе утворення двохшарової нанопоруватої полімерної плівки кремнію, мікропоруватого шару з включеннями аморфного кремнію або полірованої поверхні кремнію. The structure of porous Si has been studied by scanning electron microscopy (SEM) and atomic force microscopy (AFM) as dependent on the conditions of electrochemical dissolution of single-crystal p–type silicon. The formation has been found of two-layer nanoporous silicon polymer film, of microporous layer with incorporated amorphous silicon particles, or of polished silicon surface. Роботу виконано при частковій підтримці Державного Фонду фундаментальнихдосліджень (проект Ф7/274-2001). uk Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України Поверхность Хімія поверхні кремнезему Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала Structure and properties of porous silicon prepared at monocrystal electrochemical dissolution Article published earlier |
| spellingShingle | Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала Горбанюк, Т.І. Солнцев, В.С. Хімія поверхні кремнезему |
| title | Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала |
| title_alt | Structure and properties of porous silicon prepared at monocrystal electrochemical dissolution |
| title_full | Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала |
| title_fullStr | Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала |
| title_full_unstemmed | Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала |
| title_short | Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала |
| title_sort | структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала |
| topic | Хімія поверхні кремнезему |
| topic_facet | Хімія поверхні кремнезему |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/146376 |
| work_keys_str_mv | AT gorbanûktí strukturatavlastivostíporuvatogokremníûŝoutvorûêtʹsâprielektrohímíčnomurozčinennímonokristala AT solncevvs strukturatavlastivostíporuvatogokremníûŝoutvorûêtʹsâprielektrohímíčnomurozčinennímonokristala AT gorbanûktí structureandpropertiesofporoussiliconpreparedatmonocrystalelectrochemicaldissolution AT solncevvs structureandpropertiesofporoussiliconpreparedatmonocrystalelectrochemicaldissolution |