Cover Image

Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала

Досліджено структуру поруватого кремнію методами скануючої електронної мікроскопії (СЕМ) та атомної силової мікроскопії (АСМ) в залежності від режимів електрохімічного процесу розчинення монокристалічного кремнію р-типу. Встановлено, що при анодному розчиненні можливе утворення двохшарової нанопорув...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Поверхность
Date:2004
Main Authors: Горбанюк, Т.І., Солнцев, В.С.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України 2004
Subjects:
Хімія поверхні кремнезему
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/146376
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала / Т.І. Горбанюк, В.С. Солнцев // Поверхность. — 2004. — Вип. 10. — С. 65-68. — Бібліогр.: 4 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items