Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала

• Veröffentlicht in: Поверхность
• Datum: 2004
• Hauptverfasser: Горбанюк, Т.І., Солнцев, В.С.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainian
• Veröffentlicht: Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України 2004
• Schlagworte: Хімія поверхні кремнезему
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/146376
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала / Т.І. Горбанюк, В.С. Солнцев // Поверхность. — 2004. — Вип. 10. — С. 65-68. — Бібліогр.: 4 назв. — укр.

Досліджено структуру поруватого кремнію методами скануючої електронної мікроскопії (СЕМ) та атомної силової мікроскопії (АСМ) в залежності від режимів електрохімічного процесу розчинення монокристалічного кремнію р-типу. Встановлено, що при анодному розчиненні можливе утворення двохшарової нанопорув...