Формирование полированной поверхности монокристаллов твердых растворов ZnxCd₁-xTe травителями HNO₃–HBr–этиленгликоль

• Veröffentlicht in: Поверхность
• Datum: 2008
• Hauptverfasser: Томашик, В.Н., Окрепка, Г.М., Томашик, З.Ф., Моравец, П., Гешл, П.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України 2008
• Schlagworte: Физико-химия поверхностных явлений
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/146921
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Формирование полированной поверхности монокристаллов твердых растворов ZnxCd₁-xTe травителями HNO₃–HBr–этиленгликоль / В.Н. Томашик, Г.М. Окрепка, З.Ф. Томашик, П. Моравец, П. Гешл // Поверхность. — 2008. — Вип. 14. — С. 186-192. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Исследован процесс химического травления поверхности монокристаллов твердых растворов ZnxCd₁-xTe бромвыделяющими травителями HNO₃–HBr–этилен­гликоль. Изучены зависимости скоростей растворения кристаллов от состава травителей, скорости перемешивания и температуры, а также состояние поверх­ности после полирования методами металлографического и профилографического анализов. Определены концентрационные границы растворов для химико-динамического полирования рассмотренных полупроводников. Chemical etching of the ZnхCd₁-хTe solid solution single-crystals surfaces in the bromine emerging etchants based on HNO₃–HBr–С₃Н₆О₃ system has been studied. Crystal etching rate dependences has been studied on etchant composition, disc rotation speed and temperature as well as surface status after chemical polishing using metallography and profilography. The etchant optimum compositions have been found for the chemical-dynamic polishing of ZnхCd₁-хTe solid solutions.