Структура плівок ванадію на підкладинках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) та особливості їх термічного окиснення

Досліджено структуру тонких плівок ванадію на різних монокристалічних підкладинках V(25 нм)/SiO₂(001), V(25 нм)/MgO(100), V(25 нм)/Al₂O₃(0001), V(25 нм)/SrTiO₃(100) у вихідному стані та при відпалі до температури у 600°C у вакуумі 10⁻³ Па. Исследуется структура тонких плёнок ванадия на различных мон...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Металлофизика и новейшие технологии
Date:2018
Main Authors: Орлов, А.К., Круглов, І.О., Волошко, С.М., Котенко, І.Є., Сидоренко, С.І., Ішикава, Т.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2018
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/146954
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Структура плівок ванадію на підкладинках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) та особливості їх термічного окиснення / А.К. Орлов, І.О. Круглов, С.М. Волошко, І.Є. Котенко, С.І. Сидоренко, Т. Ішикава // Металлофизика и новейшие технологии. — 2018. — Т. 40, № 6. — С. 777-794. — Бібліогр.: 47 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-146954
record_format dspace
spelling Орлов, А.К.
Круглов, І.О.
Волошко, С.М.
Котенко, І.Є.
Сидоренко, С.І.
Ішикава, Т.
2019-02-12T16:29:04Z
2019-02-12T16:29:04Z
2018
Структура плівок ванадію на підкладинках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) та особливості їх термічного окиснення / А.К. Орлов, І.О. Круглов, С.М. Волошко, І.Є. Котенко, С.І. Сидоренко, Т. Ішикава // Металлофизика и новейшие технологии. — 2018. — Т. 40, № 6. — С. 777-794. — Бібліогр.: 47 назв. — укр.
1024-1809
PACS: 61.05.cf, 68.55.J-, 73.61.At, 81.16.Pr, 81.40.Ef, 81.65.Cf, 81.65.Mq
DOI: https://doi.org/10.15407/mfint.40.06.0777
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/146954
Досліджено структуру тонких плівок ванадію на різних монокристалічних підкладинках V(25 нм)/SiO₂(001), V(25 нм)/MgO(100), V(25 нм)/Al₂O₃(0001), V(25 нм)/SrTiO₃(100) у вихідному стані та при відпалі до температури у 600°C у вакуумі 10⁻³ Па.
Исследуется структура тонких плёнок ванадия на различных монокристаллических подложках V(25 нм)/SiO₂(001), V(25 нм)/MgO(100), V(25 нм)/Al₂O₃(0001), V(25 нм)/SrTiO₃(100) в исходном состоянии и при отжиге до температуры 600°C в вакууме 10⁻³ Па.
The structures of thin V(25 nm)/SiO₂(001), V(25 nm)/MgO(100), V(25 nm)/Al₂O₃(0001), V(25 nm)/SrTiO₃(100) films on different monocrystalline substrates are studied in the initial state and under annealing up to 600°C in vacuum of 10⁻³ Pa.
uk
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Металлофизика и новейшие технологии
Металлические поверхности и плёнки
Структура плівок ванадію на підкладинках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) та особливості їх термічного окиснення
Структура плёнок ванадия на подложках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) и особенности их термического окисления
Structure of Vanadium Films on SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) Substrates and Features of Their Thermal Oxidation
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Структура плівок ванадію на підкладинках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) та особливості їх термічного окиснення
spellingShingle Структура плівок ванадію на підкладинках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) та особливості їх термічного окиснення
Орлов, А.К.
Круглов, І.О.
Волошко, С.М.
Котенко, І.Є.
Сидоренко, С.І.
Ішикава, Т.
Металлические поверхности и плёнки
title_short Структура плівок ванадію на підкладинках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) та особливості їх термічного окиснення
title_full Структура плівок ванадію на підкладинках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) та особливості їх термічного окиснення
title_fullStr Структура плівок ванадію на підкладинках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) та особливості їх термічного окиснення
title_full_unstemmed Структура плівок ванадію на підкладинках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) та особливості їх термічного окиснення
title_sort структура плівок ванадію на підкладинках sio₂(001), mgo(100), al₂o₃(0001), srtio₃(100) та особливості їх термічного окиснення
author Орлов, А.К.
Круглов, І.О.
Волошко, С.М.
Котенко, І.Є.
Сидоренко, С.І.
Ішикава, Т.
author_facet Орлов, А.К.
Круглов, І.О.
Волошко, С.М.
Котенко, І.Є.
Сидоренко, С.І.
Ішикава, Т.
topic Металлические поверхности и плёнки
topic_facet Металлические поверхности и плёнки
publishDate 2018
language Ukrainian
container_title Металлофизика и новейшие технологии
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
format Article
title_alt Структура плёнок ванадия на подложках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) и особенности их термического окисления
Structure of Vanadium Films on SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) Substrates and Features of Their Thermal Oxidation
description Досліджено структуру тонких плівок ванадію на різних монокристалічних підкладинках V(25 нм)/SiO₂(001), V(25 нм)/MgO(100), V(25 нм)/Al₂O₃(0001), V(25 нм)/SrTiO₃(100) у вихідному стані та при відпалі до температури у 600°C у вакуумі 10⁻³ Па. Исследуется структура тонких плёнок ванадия на различных монокристаллических подложках V(25 нм)/SiO₂(001), V(25 нм)/MgO(100), V(25 нм)/Al₂O₃(0001), V(25 нм)/SrTiO₃(100) в исходном состоянии и при отжиге до температуры 600°C в вакууме 10⁻³ Па. The structures of thin V(25 nm)/SiO₂(001), V(25 nm)/MgO(100), V(25 nm)/Al₂O₃(0001), V(25 nm)/SrTiO₃(100) films on different monocrystalline substrates are studied in the initial state and under annealing up to 600°C in vacuum of 10⁻³ Pa.
issn 1024-1809
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/146954
citation_txt Структура плівок ванадію на підкладинках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) та особливості їх термічного окиснення / А.К. Орлов, І.О. Круглов, С.М. Волошко, І.Є. Котенко, С.І. Сидоренко, Т. Ішикава // Металлофизика и новейшие технологии. — 2018. — Т. 40, № 6. — С. 777-794. — Бібліогр.: 47 назв. — укр.
work_keys_str_mv AT orlovak strukturaplívokvanadíûnapídkladinkahsio2001mgo100al2o30001srtio3100taosoblivostííhtermíčnogookisnennâ
AT kruglovío strukturaplívokvanadíûnapídkladinkahsio2001mgo100al2o30001srtio3100taosoblivostííhtermíčnogookisnennâ
AT vološkosm strukturaplívokvanadíûnapídkladinkahsio2001mgo100al2o30001srtio3100taosoblivostííhtermíčnogookisnennâ
AT kotenkoíê strukturaplívokvanadíûnapídkladinkahsio2001mgo100al2o30001srtio3100taosoblivostííhtermíčnogookisnennâ
AT sidorenkosí strukturaplívokvanadíûnapídkladinkahsio2001mgo100al2o30001srtio3100taosoblivostííhtermíčnogookisnennâ
AT íšikavat strukturaplívokvanadíûnapídkladinkahsio2001mgo100al2o30001srtio3100taosoblivostííhtermíčnogookisnennâ
AT orlovak strukturaplenokvanadiânapodložkahsio2001mgo100al2o30001srtio3100iosobennostiihtermičeskogookisleniâ
AT kruglovío strukturaplenokvanadiânapodložkahsio2001mgo100al2o30001srtio3100iosobennostiihtermičeskogookisleniâ
AT vološkosm strukturaplenokvanadiânapodložkahsio2001mgo100al2o30001srtio3100iosobennostiihtermičeskogookisleniâ
AT kotenkoíê strukturaplenokvanadiânapodložkahsio2001mgo100al2o30001srtio3100iosobennostiihtermičeskogookisleniâ
AT sidorenkosí strukturaplenokvanadiânapodložkahsio2001mgo100al2o30001srtio3100iosobennostiihtermičeskogookisleniâ
AT íšikavat strukturaplenokvanadiânapodložkahsio2001mgo100al2o30001srtio3100iosobennostiihtermičeskogookisleniâ
AT orlovak structureofvanadiumfilmsonsio2001mgo100al2o30001srtio3100substratesandfeaturesoftheirthermaloxidation
AT kruglovío structureofvanadiumfilmsonsio2001mgo100al2o30001srtio3100substratesandfeaturesoftheirthermaloxidation
AT vološkosm structureofvanadiumfilmsonsio2001mgo100al2o30001srtio3100substratesandfeaturesoftheirthermaloxidation
AT kotenkoíê structureofvanadiumfilmsonsio2001mgo100al2o30001srtio3100substratesandfeaturesoftheirthermaloxidation
AT sidorenkosí structureofvanadiumfilmsonsio2001mgo100al2o30001srtio3100substratesandfeaturesoftheirthermaloxidation
AT íšikavat structureofvanadiumfilmsonsio2001mgo100al2o30001srtio3100substratesandfeaturesoftheirthermaloxidation
first_indexed 2025-12-07T15:15:14Z
last_indexed 2025-12-07T15:15:14Z
_version_ 1850863009037025280