Структура плівок ванадію на підкладинках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) та особливості їх термічного окиснення
Досліджено структуру тонких плівок ванадію на різних монокристалічних підкладинках V(25 нм)/SiO₂(001), V(25 нм)/MgO(100), V(25 нм)/Al₂O₃(0001), V(25 нм)/SrTiO₃(100) у вихідному стані та при відпалі до температури у 600°C у вакуумі 10⁻³ Па. Исследуется структура тонких плёнок ванадия на различных мон...
Saved in:
| Published in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Date: | 2018 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/146954 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Структура плівок ванадію на підкладинках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) та особливості їх термічного окиснення / А.К. Орлов, І.О. Круглов, С.М. Волошко, І.Є. Котенко, С.І. Сидоренко, Т. Ішикава // Металлофизика и новейшие технологии. — 2018. — Т. 40, № 6. — С. 777-794. — Бібліогр.: 47 назв. — укр. |