Структура плівок ванадію на підкладинках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) та особливості їх термічного окиснення

• Published in: Металлофизика и новейшие технологии
• Date: 2018
• Main Authors: Орлов, А.К., Круглов, І.О., Волошко, С.М., Котенко, І.Є., Сидоренко, С.І., Ішикава, Т.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2018
• Subjects: Металлические поверхности и плёнки
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/146954
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Структура плівок ванадію на підкладинках SiO₂(001), MgO(100), Al₂O₃(0001), SrTiO₃(100) та особливості їх термічного окиснення / А.К. Орлов, І.О. Круглов, С.М. Волошко, І.Є. Котенко, С.І. Сидоренко, Т. Ішикава // Металлофизика и новейшие технологии. — 2018. — Т. 40, № 6. — С. 777-794. — Бібліогр.: 47 назв. — укр.

Досліджено структуру тонких плівок ванадію на різних монокристалічних підкладинках V(25 нм)/SiO₂(001), V(25 нм)/MgO(100), V(25 нм)/Al₂O₃(0001), V(25 нм)/SrTiO₃(100) у вихідному стані та при відпалі до температури у 600°C у вакуумі 10⁻³ Па. Исследуется структура тонких плёнок ванадия на различных мон...