Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния
В статье описывается методика приготовления полирующих суспензий на основе наноразмерных частиц пирогенного кремнезема, приводятся их основные технологические характеристики, а также даются рекомендации по их использованию в химико-механической полировке полупроводниковых пластин монокристаллическог...
Saved in:
| Published in: | Поверхность |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147497 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния / В.Е. Гайшун, Я.А. Косенок, О.И. Тюленкова, В.В. Туров, В.М. Гунько // Поверхность. — 2008. — Вип. 14. — С. 423-428. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862652791526260736 |
|---|---|
| author | Гайшун, В.Е. Косенок, Я.А. Тюленкова, О.И. Туров, В.В. Гунько, В.М. |
| author_facet | Гайшун, В.Е. Косенок, Я.А. Тюленкова, О.И. Туров, В.В. Гунько, В.М. |
| citation_txt | Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния / В.Е. Гайшун, Я.А. Косенок, О.И. Тюленкова, В.В. Туров, В.М. Гунько // Поверхность. — 2008. — Вип. 14. — С. 423-428. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Поверхность |
| description | В статье описывается методика приготовления полирующих суспензий на основе наноразмерных частиц пирогенного кремнезема, приводятся их основные технологические характеристики, а также даются рекомендации по их использованию в химико-механической полировке полупроводниковых пластин монокристаллического кремния.
This article describes a preparation technique of polishing suspensions based on pyrogenic silicon dioxide nanoparticles, determines their basic technical characteristics, and also the guidelines on their usage are given in the mechano-chemical polishing process of semiconductor wafers of single-crystalline silicon.
|
| first_indexed | 2025-12-01T21:59:19Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-147497 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2617-5975 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T21:59:19Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Гайшун, В.Е. Косенок, Я.А. Тюленкова, О.И. Туров, В.В. Гунько, В.М. 2019-02-14T20:18:57Z 2019-02-14T20:18:57Z 2008 Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния / В.Е. Гайшун, Я.А. Косенок, О.И. Тюленкова, В.В. Туров, В.М. Гунько // Поверхность. — 2008. — Вип. 14. — С. 423-428. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 2617-5975 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147497 546.28 В статье описывается методика приготовления полирующих суспензий на основе наноразмерных частиц пирогенного кремнезема, приводятся их основные технологические характеристики, а также даются рекомендации по их использованию в химико-механической полировке полупроводниковых пластин монокристаллического кремния. This article describes a preparation technique of polishing suspensions based on pyrogenic silicon dioxide nanoparticles, determines their basic technical characteristics, and also the guidelines on their usage are given in the mechano-chemical polishing process of semiconductor wafers of single-crystalline silicon. ru Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України Поверхность Наноматериалы и нанотехнологии Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния Usage of suspensions based on fumed silica for mechano-chemical polishing of single-crystalline silicon Article published earlier |
| spellingShingle | Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния Гайшун, В.Е. Косенок, Я.А. Тюленкова, О.И. Туров, В.В. Гунько, В.М. Наноматериалы и нанотехнологии |
| title | Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния |
| title_alt | Usage of suspensions based on fumed silica for mechano-chemical polishing of single-crystalline silicon |
| title_full | Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния |
| title_fullStr | Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния |
| title_full_unstemmed | Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния |
| title_short | Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния |
| title_sort | использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния |
| topic | Наноматериалы и нанотехнологии |
| topic_facet | Наноматериалы и нанотехнологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147497 |
| work_keys_str_mv | AT gaišunve ispolʹzovaniesuspenziinaosnovepirogennogokremnezemadlâhimikomehaničeskoipolirovkimonokristalličeskogokremniâ AT kosenokâa ispolʹzovaniesuspenziinaosnovepirogennogokremnezemadlâhimikomehaničeskoipolirovkimonokristalličeskogokremniâ AT tûlenkovaoi ispolʹzovaniesuspenziinaosnovepirogennogokremnezemadlâhimikomehaničeskoipolirovkimonokristalličeskogokremniâ AT turovvv ispolʹzovaniesuspenziinaosnovepirogennogokremnezemadlâhimikomehaničeskoipolirovkimonokristalličeskogokremniâ AT gunʹkovm ispolʹzovaniesuspenziinaosnovepirogennogokremnezemadlâhimikomehaničeskoipolirovkimonokristalličeskogokremniâ AT gaišunve usageofsuspensionsbasedonfumedsilicaformechanochemicalpolishingofsinglecrystallinesilicon AT kosenokâa usageofsuspensionsbasedonfumedsilicaformechanochemicalpolishingofsinglecrystallinesilicon AT tûlenkovaoi usageofsuspensionsbasedonfumedsilicaformechanochemicalpolishingofsinglecrystallinesilicon AT turovvv usageofsuspensionsbasedonfumedsilicaformechanochemicalpolishingofsinglecrystallinesilicon AT gunʹkovm usageofsuspensionsbasedonfumedsilicaformechanochemicalpolishingofsinglecrystallinesilicon |