Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния
В статье описывается методика приготовления полирующих суспензий на основе наноразмерных частиц пирогенного кремнезема, приводятся их основные технологические характеристики, а также даются рекомендации по их использованию в химико-механической полировке полупроводниковых пластин монокристаллическог...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Поверхность |
|---|---|
| Дата: | 2008 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147497 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния / В.Е. Гайшун, Я.А. Косенок, О.И. Тюленкова, В.В. Туров, В.М. Гунько // Поверхность. — 2008. — Вип. 14. — С. 423-428. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-147497 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Гайшун, В.Е. Косенок, Я.А. Тюленкова, О.И. Туров, В.В. Гунько, В.М. 2019-02-14T20:18:57Z 2019-02-14T20:18:57Z 2008 Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния / В.Е. Гайшун, Я.А. Косенок, О.И. Тюленкова, В.В. Туров, В.М. Гунько // Поверхность. — 2008. — Вип. 14. — С. 423-428. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 2617-5975 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147497 546.28 В статье описывается методика приготовления полирующих суспензий на основе наноразмерных частиц пирогенного кремнезема, приводятся их основные технологические характеристики, а также даются рекомендации по их использованию в химико-механической полировке полупроводниковых пластин монокристаллического кремния. This article describes a preparation technique of polishing suspensions based on pyrogenic silicon dioxide nanoparticles, determines their basic technical characteristics, and also the guidelines on their usage are given in the mechano-chemical polishing process of semiconductor wafers of single-crystalline silicon. ru Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України Поверхность Наноматериалы и нанотехнологии Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния Usage of suspensions based on fumed silica for mechano-chemical polishing of single-crystalline silicon Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния |
| spellingShingle |
Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния Гайшун, В.Е. Косенок, Я.А. Тюленкова, О.И. Туров, В.В. Гунько, В.М. Наноматериалы и нанотехнологии |
| title_short |
Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния |
| title_full |
Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния |
| title_fullStr |
Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния |
| title_full_unstemmed |
Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния |
| title_sort |
использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния |
| author |
Гайшун, В.Е. Косенок, Я.А. Тюленкова, О.И. Туров, В.В. Гунько, В.М. |
| author_facet |
Гайшун, В.Е. Косенок, Я.А. Тюленкова, О.И. Туров, В.В. Гунько, В.М. |
| topic |
Наноматериалы и нанотехнологии |
| topic_facet |
Наноматериалы и нанотехнологии |
| publishDate |
2008 |
| language |
Russian |
| container_title |
Поверхность |
| publisher |
Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Usage of suspensions based on fumed silica for mechano-chemical polishing of single-crystalline silicon |
| description |
В статье описывается методика приготовления полирующих суспензий на основе наноразмерных частиц пирогенного кремнезема, приводятся их основные технологические характеристики, а также даются рекомендации по их использованию в химико-механической полировке полупроводниковых пластин монокристаллического кремния.
This article describes a preparation technique of polishing suspensions based on pyrogenic silicon dioxide nanoparticles, determines their basic technical characteristics, and also the guidelines on their usage are given in the mechano-chemical polishing process of semiconductor wafers of single-crystalline silicon.
|
| issn |
2617-5975 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147497 |
| citation_txt |
Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния / В.Е. Гайшун, Я.А. Косенок, О.И. Тюленкова, В.В. Туров, В.М. Гунько // Поверхность. — 2008. — Вип. 14. — С. 423-428. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT gaišunve ispolʹzovaniesuspenziinaosnovepirogennogokremnezemadlâhimikomehaničeskoipolirovkimonokristalličeskogokremniâ AT kosenokâa ispolʹzovaniesuspenziinaosnovepirogennogokremnezemadlâhimikomehaničeskoipolirovkimonokristalličeskogokremniâ AT tûlenkovaoi ispolʹzovaniesuspenziinaosnovepirogennogokremnezemadlâhimikomehaničeskoipolirovkimonokristalličeskogokremniâ AT turovvv ispolʹzovaniesuspenziinaosnovepirogennogokremnezemadlâhimikomehaničeskoipolirovkimonokristalličeskogokremniâ AT gunʹkovm ispolʹzovaniesuspenziinaosnovepirogennogokremnezemadlâhimikomehaničeskoipolirovkimonokristalličeskogokremniâ AT gaišunve usageofsuspensionsbasedonfumedsilicaformechanochemicalpolishingofsinglecrystallinesilicon AT kosenokâa usageofsuspensionsbasedonfumedsilicaformechanochemicalpolishingofsinglecrystallinesilicon AT tûlenkovaoi usageofsuspensionsbasedonfumedsilicaformechanochemicalpolishingofsinglecrystallinesilicon AT turovvv usageofsuspensionsbasedonfumedsilicaformechanochemicalpolishingofsinglecrystallinesilicon AT gunʹkovm usageofsuspensionsbasedonfumedsilicaformechanochemicalpolishingofsinglecrystallinesilicon |
| first_indexed |
2025-12-01T21:59:19Z |
| last_indexed |
2025-12-01T21:59:19Z |
| _version_ |
1850861055251578880 |