Cover Image

Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния

В статье описывается методика приготовления полирующих суспензий на основе наноразмерных частиц пирогенного кремнезема, приводятся их основные технологические характеристики, а также даются рекомендации по их использованию в химико-механической полировке полупроводниковых пластин монокристаллическог...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Поверхность
Date:2008
Main Authors: Гайшун, В.Е., Косенок, Я.А., Тюленкова, О.И., Туров, В.В., Гунько, В.М.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України 2008
Subjects:
Наноматериалы и нанотехнологии
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147497
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния / В.Е. Гайшун, Я.А. Косенок, О.И. Тюленкова, В.В. Туров, В.М. Гунько // Поверхность. — 2008. — Вип. 14. — С. 423-428. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items