Buchumschlag

Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния

В статье описывается методика приготовления полирующих суспензий на основе наноразмерных частиц пирогенного кремнезема, приводятся их основные технологические характеристики, а также даются рекомендации по их использованию в химико-механической полировке полупроводниковых пластин монокристаллическог...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Поверхность
Datum:	2008
Hauptverfasser:	Гайшун, В.Е., Косенок, Я.А., Тюленкова, О.И., Туров, В.В., Гунько, В.М.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України 2008
Schlagworte:	Наноматериалы и нанотехнологии
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147497
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния / В.Е. Гайшун, Я.А. Косенок, О.И. Тюленкова, В.В. Туров, В.М. Гунько // Поверхность. — 2008. — Вип. 14. — С. 423-428. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

О влиянии кремнеземной матрицы на структуру оксида железа, полученного термолизом ацетилацетоната железа (III), в составе нанокомпозитов на основе пирогенного кремнезема
von: Оранская, Е.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Газофазное сольвато-стимулированное адсорбционное модифицирование наноразмерного кремнезёма нелетучими органическими соединениями
von: Воронин, Е.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Конструирование центров адсорбции ртути (II) на поверхности высокодисперсного кремнезема
von: Белякова, Л.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Выращивание вискеров кремния методом пар-жидкость-кристалл
von: Горбик, П.П., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Поверхностные явления в двумерных структурах макропористого кремния
von: Иванов, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Синтез, структура и свойства нанокомпозитов на основе высокодисперсного кремнезема, модифицированного оксидами циркония и церия
von: Сулим, И.Я., et al.
Veröffentlicht: (2009)

О связях Si–O–Fe в нанокомпозитах оксид железа – оксид кремния
von: Богатырев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Лазерно-десорбционная масс-спектрометрия нанокомпозитов эпоксидная смола - модифицированный диоксид кремния
von: Горелов, Б.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Масс-спектрометрическое изучение адсорбции гистамина и аргинина на различных видах поверхности пористого кремния методом лазерной десорбционной ионизации
von: Шмыголь, И.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Разработка методики получения и исследование свойств концентрированных водных дисперсий на основе наноразмерных частиц пирогенного кремнезёма с низкой удельной поверхностью
von: Гайшун, В.Е., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Моделирование костной ткани нанокомпозитными системами на основе гидроксиапатита−альбумина−желатина и их свойства
von: Головань, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Влияние морфологии кремнеземной матрицы на формирование наночастиц диоксида циркония
von: Сулим, И.Я., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Синтез, свойства и применение магнитоуправляемых адсорбентов
von: Туранская, С.П., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Электрофизические свойства углерод-неорганических нанокомпозитов C/MxOy/SiO₂
von: Махно, С. Н., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Процессы адсорбции в накоплении, разделении и применении редкоземельных элементов
von: Туранская, С.П., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике
von: Косенок, Я.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Склад TiHx в ізотермічних умовах ступінчастого нагрівання в повітрі
von: Гарбуз, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Получение и свойства фотокаталитически активной мембраны с иммобилизированным TiO₂ для очистки воды от фенола и его производных
von: Роля, Е.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние наночастиц оксида железа на термическую деструкцию адсорбированного на кремнеземе полиметилфенилсилоксана
von: Богатырев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Синтез наноразмерного гидроксида алюминия методом объемного электроискрового диспергирования
von: Маринин, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Матричный синтез и структурно-сорбционные свойства пористых полимерных материалов
von: Опанасенко, М.В.
Veröffentlicht: (2008)

Можливості застосування адсорбційного методу для визначення товщини наноблоків у терморозширеному графіті
von: Насєдкін, Д.Б., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Синтез, структура і магнітні характеристики однодоменних наночастинок твердих розчинів (Fe1-x Coх)Fe₂O₄
von: Горбик, П.П., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Магнітні характеристики нанокомпозитів складу вуглець-нікель
von: Абрамов, М.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Синтез і магнітні характеристики композитів типу вуглецеві нанотрубки/магнетит і активоване вугілля/магнетит
von: Міщенко, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Морфологія та оптичні константи нанокристалічних плівок Gе на поверхні Sі(001)
von: Козирєв, Ю.М., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Створення та фізико-хімічні властивості композитних систем «мезопориста неорганічна матриця/оксид цинку»
von: Кишеня, Я.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Вплив гідротермальної обробки на дисперсність і магнітні характеристики синтетичного магнетиту
von: Горбик, П.П., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Вольтамперометрическое определение биогенных аминов на электродах из углеродных нанотрубок, модифицированных полианилином
von: Загоровский, Г.М., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Синтез наноблоків терморозширеного графіту з гідрофільною поверхнею
von: Насєдкін, Д.Б., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Магніточутливі адсорбенти на основі активованого вугілля: синтез та властивості
von: Міщенко, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Свойства ансамблей наночастиц магнетита и магнитных жидкостей для применений в онкотерапии
von: Абрамов, Н.В., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Вплив хімічної природи носія на структурні характеристики вуглецевих нанотрубок, отриманих з етилену на Nі-, Co- та Fe-вмісних каталізаторах
von: Лемеш, Н.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Синтез и адсорбционные свойства кобальт-углеродного нанокомпозита на основе лузги подсолнечника
von: Богатырев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Каталазоподібна активність вуглецевих нанотрубок, декорованих нанооксидом церію
von: Бортник, Н.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Магнитные свойства наночастиц Fе3O4, полученных жидко- и твердофазным синтезом
von: Горбик, П.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Формирование полых наносфер магнетита
von: Горбик, П.П., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние содержания меди на текстурные и функциональные свойства медьцирконий-оксидных нанофазных катализаторов
von: Дейнега, И.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Структура та магнітні властивості нанокомпозитів магнетит/діоксид кремнію
von: Семко, Л.С., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Електро-та фотокаталітичні властивості електродів на основі мезопористих плівок TiO₂ – ZnO – Ag
von: Воробець, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2008)