Зображення обкладинки

Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings

To obtain micrometric gratings with a high aspect ratio by lithographic technique, it is proposed to use a proton beam focused in a line and electromagnetic scanning in the transverse direction to irradiate the resistive material. Numerical modeling is carried out to optimize the parameters of the...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2018
Автори:	Ponomarev, A.G., Kolinko, S.V., Rebrov, V.A., Kolomiets, V.N., Kravchenko, S.N.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2018
Теми:	Приложения и технологии
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147662
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings / A.G. Ponomarev, S.V. Kolinko, V.A. Rebrov, V.N. Kolomiets, S.N. Kravchenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 4. — С. 285-288. — Бібліогр.: 13 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Proton Beam Writing Device Based on Electrostatic Accelerator for 3D Micro- and Nano-Structure Fabrication
за авторством: A. G. Ponomarev, та інші
Опубліковано: (2019)

Probe formation in proton beam writing facility at IAP NASU
за авторством: Lapin, O.S., та інші
Опубліковано: (2015)

Proton beam writing: world experience and prospectives in Ukraine
за авторством: H. Y. Polozhii, та інші
Опубліковано: (2023)

Observation of parametric X-ray radiation excited by 50 GeV protons and identification of background radiation origin
за авторством: Afonin, A.G., та інші
Опубліковано: (2013)

Nanofabrication with Using of Proton Beam Writing: State of the Art and Prospects of Development
за авторством: V. E. Storizhko, та інші
Опубліковано: (2012)

Permissible technological limitations of quadrupole lenses used in parameter multiplets for ion microprobe forming
за авторством: Melnik, K.I., та інші
Опубліковано: (2003)

Ion microbeam formation for study of radiationinduced segregation at grain boundaries in construction materials
за авторством: Romanenko, A.V., та інші
Опубліковано: (2015)

A conceptual design of a MeV-energy ion microprobe with an immersion probe-forming system
за авторством: Ponomarev, A.G., та інші
Опубліковано: (2003)

Aluminum surface coating of copper using highcurrent electron beam
за авторством: Donets, S.E., та інші
Опубліковано: (2015)

Fabrication of silicon grating structures using interference lithography and chalcogenide inorganic photoresist
за авторством: Min’ko, V.I., та інші
Опубліковано: (2007)

Анализ кремнёвых находок
за авторством: Чабай, B.П.
Опубліковано: (2015)

Результаты оптико-эмиссионной спектрографии стекла
за авторством: Егорьков, А.Н.
Опубліковано: (2015)

Сведения об авторах
Опубліковано: (2015)

Болградский курганный могильник
за авторством: Субботин, Л.В., та інші
Опубліковано: (1970)

Каталог архитектурно-конструктивных деталей
за авторством: Кирилко, В.П.
Опубліковано: (2015)

Письменные источники
Опубліковано: (2015)

Литература
Опубліковано: (2015)

Некоторые свойства палеопочв и вопросы датировки курганов на юге Украины
за авторством: Золотун, В.П.
Опубліковано: (1970)

Список сокращений
Опубліковано: (2015)

Каталог изделий из металла и артефактов фаунистического происхождения
за авторством: Тесленко, И.Б., та інші
Опубліковано: (2015)

Каталог изделий из керамики и камня
за авторством: Игнатенко, О.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Каталог изделий из стекла
за авторством: Тесленко, И.Б., та інші
Опубліковано: (2015)

Текст Пространной правды по Синодальному списку
за авторством: Толочко, А.
Опубліковано: (2009)

Каталог находок из комплексов эпохи бронзы
за авторством: Тесленко, И.Б.
Опубліковано: (2015)

Краниологические материалы эпохи энеолита — ранней бронзы в Северо-Западном Причерноморье
за авторством: Зиневич, Г.П.
Опубліковано: (1970)

Курганы у села Огородное
за авторством: Субботин, Л.В., та інші
Опубліковано: (1970)

Power of ADS with low-energy accelerator and fissionable target
за авторством: Golovkina, A.G., та інші
Опубліковано: (2013)

Micro-nano zinc nitrate hexahydrate film fabricated by biomimetic mineralization
за авторством: Lu, F., та інші
Опубліковано: (2019)

Properties of SiGe/Si heterostructures fabricated by ion implantation technique
за авторством: Gomeniuk, Y.V., та інші
Опубліковано: (1999)

Works in the NSC KIPT on the creation and application of the CPA laser system
за авторством: Vasiliev, A.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Slow and fast surface electromagnetic waves in planar structures contained left-handed material
за авторством: Galaydych, V.K., та інші
Опубліковано: (2015)

Stand for RF gap breakdown strength study in magnetic field
за авторством: Demchenko, P.A., та інші
Опубліковано: (2013)

Acoustic fields generation by plasmoids in the wellbores
за авторством: Fedun, V.I., та інші
Опубліковано: (2013)

Dispersion of the surface magnetoplasmons
за авторством: Ivko, S.V., та інші
Опубліковано: (2010)

Plasma parameters in pig with metal-hydride cathode under different ways of hydrogen supply
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2015)

Precision doublet of magnetic quadrupole lenses for ion beam formation
за авторством: Ponomarev, A.G., та інші
Опубліковано: (2020)

Experimental study of secondary emission radioisotope current source prototype
за авторством: Kononenko, S.I., та інші
Опубліковано: (2008)

Impact of energy spread of electron beam on absorbed dose distribution
за авторством: Lazurik, V.T., та інші
Опубліковано: (2013)

Dynamics of macroparticles in a magnetic filter for a vacuum arc plasma sources
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2015)

High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe
за авторством: Ponomarev, A.G., та інші
Опубліковано: (2023)