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Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings

To obtain micrometric gratings with a high aspect ratio by lithographic technique, it is proposed to use a proton beam focused in a line and electromagnetic scanning in the transverse direction to irradiate the resistive material. Numerical modeling is carried out to optimize the parameters of the...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2018
Hauptverfasser:	Ponomarev, A.G., Kolinko, S.V., Rebrov, V.A., Kolomiets, V.N., Kravchenko, S.N.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2018
Schlagworte:	Приложения и технологии
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147662
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings / A.G. Ponomarev, S.V. Kolinko, V.A. Rebrov, V.N. Kolomiets, S.N. Kravchenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 4. — С. 285-288. — Бібліогр.: 13 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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