Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий
Рассмотрен вопрос создания многокомпонентных газовых смесей, предназначенных для использования в
 плазменных установках. Предложен динамический метод получения смесей газов, основанный на сверхкритическом истечении газов из емкостей через калиброванные отверстия. Показано, что при соответств...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2018 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147716 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий / С.И. Планковский, О.В. Шипуль, С.А. Заклинский, О.В. Трифонов // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 5. — С. 121-125. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862709608368308224 |
|---|---|
| author | Планковский, С.И. Шипуль, О.В. Заклинский, С.А. Трифонов, О.В. |
| author_facet | Планковский, С.И. Шипуль, О.В. Заклинский, С.А. Трифонов, О.В. |
| citation_txt | Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий / С.И. Планковский, О.В. Шипуль, С.А. Заклинский, О.В. Трифонов // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 5. — С. 121-125. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Рассмотрен вопрос создания многокомпонентных газовых смесей, предназначенных для использования в
плазменных установках. Предложен динамический метод получения смесей газов, основанный на сверхкритическом истечении газов из емкостей через калиброванные отверстия. Показано, что при соответствующем
выборе объема емкостей и площадей критических отверстий может быть обеспечена высокая точность заданного состава смеси. В случае необходимости генерации газовой смеси из компонент, имеющих различные показатели адиабаты, предложено производить коррекцию начального давления газов в емкостях. Это
также позволит компенсировать погрешности, связанные с изготовлением конструктивных элементов генератора смеси. Приведен пример расчета генератора смеси на основе предложенного метода, который подтверждает возможность обеспечения ее компонентного состава с погрешностью порядка 0,01%.
Розглянуто питання створення багатокомпонентних газових сумішей, призначених для використання в
плазмових установках. Запропоновано динамічний метод отримання сумішей газів, що базується на надкритичному витіканні газів з ємностей через калібровані отвори. Показано, що при відповідному виборі об’єму
ємностей і площин критичних отворів може бути забезпечена висока точність заданого складу суміші. У разі
необхідності генерації газової суміші із компонент, що мають різні показники адіабати, і для компенсації
похибок, пов'язаних з виготовленням конструктивних елементів генератора суміші, запропоновано проводити корекцію початкового тиску газів в ємностях. Наведено приклад розрахунку генератора суміші на основі
запропонованого методу, який підтверджує можливість забезпечення її компонентного складу з похибкою
близько 0,01%.
The issue of creating multicomponent gas mixtures intended for use in plasma technologies is considered. A dynamic method for obtaining mixed gases based on supercritical outflow of gases from tanks through calibrated holes
is proposed. It is shown that, with an appropriate choice of the volume of capacities and areas of critical orifices,
high accuracy of the specified mixture composition can be ensured. If it is necessary to generate a gas mixture from
components having different adiabatic indices and to compensate for the errors associated with the fabrication of the
components of the mixture generator, it is suggested to correct the initial pressure of the gases in the tanks. An example of calculation of a mixture generator is given based on the proposed method, which confirms the possibility
of providing its component composition with an error of about 0.01%.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:19:02Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-147716 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:19:02Z |
| publishDate | 2018 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Планковский, С.И. Шипуль, О.В. Заклинский, С.А. Трифонов, О.В. 2019-02-15T18:29:39Z 2019-02-15T18:29:39Z 2018 Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий / С.И. Планковский, О.В. Шипуль, С.А. Заклинский, О.В. Трифонов // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 5. — С. 121-125. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147716 66.071.4:66.088 Рассмотрен вопрос создания многокомпонентных газовых смесей, предназначенных для использования в
 плазменных установках. Предложен динамический метод получения смесей газов, основанный на сверхкритическом истечении газов из емкостей через калиброванные отверстия. Показано, что при соответствующем
 выборе объема емкостей и площадей критических отверстий может быть обеспечена высокая точность заданного состава смеси. В случае необходимости генерации газовой смеси из компонент, имеющих различные показатели адиабаты, предложено производить коррекцию начального давления газов в емкостях. Это
 также позволит компенсировать погрешности, связанные с изготовлением конструктивных элементов генератора смеси. Приведен пример расчета генератора смеси на основе предложенного метода, который подтверждает возможность обеспечения ее компонентного состава с погрешностью порядка 0,01%. Розглянуто питання створення багатокомпонентних газових сумішей, призначених для використання в
 плазмових установках. Запропоновано динамічний метод отримання сумішей газів, що базується на надкритичному витіканні газів з ємностей через калібровані отвори. Показано, що при відповідному виборі об’єму
 ємностей і площин критичних отворів може бути забезпечена висока точність заданого складу суміші. У разі
 необхідності генерації газової суміші із компонент, що мають різні показники адіабати, і для компенсації
 похибок, пов'язаних з виготовленням конструктивних елементів генератора суміші, запропоновано проводити корекцію початкового тиску газів в ємностях. Наведено приклад розрахунку генератора суміші на основі
 запропонованого методу, який підтверджує можливість забезпечення її компонентного складу з похибкою
 близько 0,01%. The issue of creating multicomponent gas mixtures intended for use in plasma technologies is considered. A dynamic method for obtaining mixed gases based on supercritical outflow of gases from tanks through calibrated holes
 is proposed. It is shown that, with an appropriate choice of the volume of capacities and areas of critical orifices,
 high accuracy of the specified mixture composition can be ensured. If it is necessary to generate a gas mixture from
 components having different adiabatic indices and to compensate for the errors associated with the fabrication of the
 components of the mixture generator, it is suggested to correct the initial pressure of the gases in the tanks. An example of calculation of a mixture generator is given based on the proposed method, which confirms the possibility
 of providing its component composition with an error of about 0.01%. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий Динамічний метод створення газових сумішей для плазмових технологій Тhe dynamic method of gas mixtures generation for plasma technologies Article published earlier |
| spellingShingle | Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий Планковский, С.И. Шипуль, О.В. Заклинский, С.А. Трифонов, О.В. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий |
| title_alt | Динамічний метод створення газових сумішей для плазмових технологій Тhe dynamic method of gas mixtures generation for plasma technologies |
| title_full | Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий |
| title_fullStr | Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий |
| title_full_unstemmed | Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий |
| title_short | Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий |
| title_sort | динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147716 |
| work_keys_str_mv | AT plankovskiisi dinamičeskiimetodsozdaniâgazovyhsmeseidlâplazmennyhtehnologii AT šipulʹov dinamičeskiimetodsozdaniâgazovyhsmeseidlâplazmennyhtehnologii AT zaklinskiisa dinamičeskiimetodsozdaniâgazovyhsmeseidlâplazmennyhtehnologii AT trifonovov dinamičeskiimetodsozdaniâgazovyhsmeseidlâplazmennyhtehnologii AT plankovskiisi dinamíčniimetodstvorennâgazovihsumíšeidlâplazmovihtehnologíi AT šipulʹov dinamíčniimetodstvorennâgazovihsumíšeidlâplazmovihtehnologíi AT zaklinskiisa dinamíčniimetodstvorennâgazovihsumíšeidlâplazmovihtehnologíi AT trifonovov dinamíčniimetodstvorennâgazovihsumíšeidlâplazmovihtehnologíi AT plankovskiisi thedynamicmethodofgasmixturesgenerationforplasmatechnologies AT šipulʹov thedynamicmethodofgasmixturesgenerationforplasmatechnologies AT zaklinskiisa thedynamicmethodofgasmixturesgenerationforplasmatechnologies AT trifonovov thedynamicmethodofgasmixturesgenerationforplasmatechnologies |